長度
量室介紹
長度研究室已建立端點、尺寸、角度與幾何形狀等實體之量測標準，可提供長短塊規、角度塊規、線刻度、環規、塞規、多邊規、分度盤、真圓度、表面粗糙度、階高（探針式及光學式）、標準長尺、穩頻雷射、雷射干涉儀、線距/線寬標準片、薄膜厚度、經緯儀、電子測距儀、及 GPS 衛星接收儀等主要標準件及儀具之校正服務。本室發展重點包括飛秒雷射與光頻計量、奈米級 (10 -9 公尺)、微米級(10 -6 公尺)尺寸標準追溯及大地測量儀具校正與應用等領域。
校正與量測技術能量
自2004年起，本量室之校正與量測技術能量即登錄並公告於國際度量衡局（BIPM）的關鍵比對資料庫（KCDB），完整提供國內對於長度的各項標準校正需求，同時也代表我量測技術能力在國際間受到信賴與肯定。
工作重點
提供長度量測標準
- 碘穩頻紅光氦氖雷射長度原級標準之建立與維護
- 進行國際比對、國際相互認證，以確保與國際長度量標準一致
- 執行21項校正系統量測品保及改良，並提供校正服務
新擴建校正系統，增加校正能量。目前正著手
- 二維影像量測標準
- 半導體奈米級線距階高標準
- 半導體奈米級膜厚標準
研究發展計量新技術
- 飛秒雷射光梳頻率計量研究
- 半導體50奈米以下線寬標準研究
- 半導體晶圓表面微粒標準研究
- 平面顯示器關鍵參數標準研究
技術服務
- 長度量測校正及技術諮詢服務
- 長度量測校正實驗室規劃、建立及品保服務
- 飛秒鎖模光纖雷射製作
- 精密移動台定位檢測
- 客製化AOI影像標準件與階高標準件
- 大地空間定位 測量、重力量測及地理資訊建立應用
研究計畫
- 飛秒鎖模雷射頻率標準
- 奈米計量(Nanometrology)
- 薄膜結構與特性量測標準追溯
- 平面顯示器關鍵參數標準
- 絕對及相對重力儀校正及應用
圖：穩頻雷射校正系統 圖：橢圓偏光儀薄膜量測系統
