新聞動態

*

:::

 

奈米計量標準 提升台灣3C產業競爭力

2014-10-02 經濟日報 曹松清

 

http://pgw.udn.com.tw/gw/photo.php?u=http://uc.udn.com.tw/photo/2014/10/02/2/243298.JPG&w=700&h=1000
「2014台灣國際奈米展」中,經濟部標準局獲「績優部會獎」、工研院量測中心獲「卓越貢獻獎」。標準檢驗局技正張力成(左起)、奈米計畫主持人傅尉恩、工研院量測中心主任段家瑞、標準檢驗局副組長張嶽峰、科長孫元平、量測中心組長張啟生、副理蔡佳玲。 曹松清/攝影

有鑑於LED或半導體產業對於量測精度的要求越來越高,表面粗度、半導體結構高度及薄膜厚度皆已到達(次)奈米級,必須建立(次)奈米級階高標準,以提供業界最精確的校正追溯。因此,國家度量衡標準實驗室透過「奈米技術計量標準計畫」研發完成線距、線寬、階高及奈米粒子尺寸的量測技術,提供業界最精確的校正追溯。

半導體相關的高科技產業,包括晶圓代工、DRAM、平面顯示器及能源應用產業(LED、薄膜太陽能等),對奈米級的檢測需求日益迫切。尤其晶圓代工對產品的尺寸要求非常嚴格,為了在一定單位面積下的空間內容納更多的電路,所以電子路徑的橫切寬度愈小愈好,透過奈米技術把電線的寬度做得更細。然而線寬若愈小,電路越細就愈容易斷,若晶片的電路有一處斷裂,將造成電路不通,導致晶片報廢。因此須藉由精確的奈米檢測技術以提升元件良率,進而降低廠商生產成本。

奈米檢測技術是促進半導體產業發展的關鍵,ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductors)於2013年發表的國際半導體技術藍圖指出,隨著半導體產業朝更高技術製程邁進,發展奈米級線寬檢測是必然趨勢,將可帶動整體半導體IC產業良率以及製程技術方面的大幅升級。

而國家度量衡標準實驗室的原子力顯微鏡經由量測技術研發,提供半導體廠商非破壞性檢測方法,且量測數據與國際等同,藉由高度量測準確性及精確度協助半導體廠商改善製程品質及良率,並持續往更小線寬及線距邁進以提升台灣3C產業競爭力。

 

http://pgw.udn.com.tw/gw/photo.php?u=http://uc.udn.com.tw/photo/2014/10/02/2/243299.JPG&w=700&h=1000
工程師何柏青介紹透過樂高積木組裝的「微型原子力顯微鏡(AFM)」,量測奈米結構下的形貌尺寸。 曹松清/攝影

此外,為了讓大眾能夠容易了解如何使用原子力顯微鏡量測奈米結構下的形貌尺寸,國家度量衡標準實驗室於「2014台灣國際奈米展」特別透過樂高積木組裝微型原子力顯微鏡,並以實機操作講解量測原理,藉由接觸掃描方式將線距、線寬、階高及奈米粒子模型表面的輪廓逐點描繪出來,可完成物品的三維形貌影像並進行尺寸分析,讓大眾對量測技術有進一步認識並深刻了解量測追溯的重要性,成功達到計量推廣目的。

新聞原文網址:http://money.udn.com/storypage.php?sub_id=5635&art_id=398937

:::

電子報訂閱/取消