校正/驗證

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服務之儀器  表面粗度標準片(Surface Roughness Standard) 
校正範圍  Ra:0.01 μm to 20 μm
不確定度 
Ra、Rq:[52+(13R)2]1/2 nm,Rmax、Rt、Rz:[202+(13R)2]1/2 nm
R:各項參數,以 μm為單位
校正點數說明  每個標準面於(4~8)個位置各量測二次,經統計分析後,計算其量測值 
校正費用  3,900元/件(單一量測面)
7,500元/件(量兩個量測面) 
送校件須知  1. 平板狀其長或寬度不能大於200 mm
2. 量測面必須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象,且應能承受以40 g 接觸力量測時不會產生變形或刮傷
3. 送校之表面粗度,應為送校單位之最高參考標準 

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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