校正/驗證

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服務之儀器  矽片電阻標準(Silicon Sheet Resistance Standards) 
校正範圍  0.15 Ω~4000 Ω 
不確定度  0.46 %(相對) 
校正點數說明   
校正費用  10,000元/片 
送校件須知  1. 送校晶片須為未經製程處理(如金屬鍍膜)之矽晶片
2. 請附送校矽片電阻標準晶片厚度值及校正值歷史資料
3. 送校晶片校正位置為晶片中心點1點
4. 送校晶片直徑須為3英吋或4英吋 

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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