長度標準

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服務之儀器  (1) 雷射干涉儀(含環境感測器)(Laser Interferometer)
(2) 量錶校正器(Dial Indicator Calibrator) 
校正範圍 
(1) 位移:0 m to 10 m,溫度:15 °C to 30 °C,相對濕度:40 % to 60 %,壓力:85 kPa to 105 kPa
(2-1) 0 mm to 15 mm(解析度:0.2 μm)
(2-2) 0 mm to 30 mm(解析度:0.1 μm)
(2-3) 0 mm to 30 mm(解析度:1.0 μm)
(2-4) 0 mm to 60 mm(解析度:0.1 μm)
不確定度 
(1) 位移(加入環境感測器時)︰2.0 x [u2(Dt) + 62 + (5.6 x 10-8) x D2]1/2  nm
     位移(不加入環境感測器時)︰2.0 x [u2(Dt) + 62 + (2.9 x 10-8)2 x D2]1/2 nm
     D 為以m為單位之量測位移數值;u(Dt) 為待校件之重複性的標準不確定度
    溫度(空氣感測器):0.1 ℃,溫度(物質感測器):0.1 ℃,
    相對濕度:1.0 %,壓力:16 Pa
(2-1) 0.34 μm                                               
(2-2) 0.46 μm
(2-3) 0.73 μm                                              
(2-4) 0.81 μm
校正點數說明  1. 位移校正:行程10 m,每隔1 m校正1點,去程回程共20點
2. 位移校正:行程及間隔另可依顧客需求而定
3. 雷射波長校正(633 nm)
4. 環境感測器校正(溫度、濕度、壓力) 
校正費用 
(1)位移校正15,000元,波長校正每支15,000元,溫度校正3點3,500元,壓力校正5點5,000元,濕度校正3點3,500元(溫度、壓力、濕度每加校正1點加收1,000元)
(2) 9,500元/15點(每加1點加500元)
送校件須知 
1. 雷射干涉儀位移量測系統包含電腦(安裝有雷射讀值與環境感測器讀值)、雷射頭、電源線、干涉鏡組、角偶稜鏡、環境感測器及顯示器(含數據處理卡、量測軟體)等
2. 送校件必須能正常工作
3. 請隨附操作手冊及產品規格
4. 環境感測器須可由顯示器或量測軟體顯示

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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