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專輯導覽 

由工研院量測中心出版以提供最新量測科技訊息為主的【量測資訊】雙月刊,本期「精密微結構量測關鍵 技術」專輯中,挑選與微結構量測技術相關、讀者不易從坊間書本習得之內容,並搭配適合的產業與應用加以介紹,期望有助於讀 者了解精密微結構量測技術的要點。

 

本專輯邀請了國內半導體關鍵尺寸量測與疊對量測方面有相當成就,並與國內半導體廠以及國外設備大廠有密切合作,於近年屢獲研發大獎之技術團隊,為讀者介紹該方面之最新科技。

 

為了提升國內自動光學檢測設備品質,於專輯內聘請台北科技大學陳亮嘉教授為讀者詳盡介紹共焦顯微鏡之發展。

 

近年來努力協助產業界建立 3D AOI (3D Automatic Optical Inspection) 能量的量測中心白光干涉顯微鏡研發團隊,為了讓更多人了解該技術,在本專輯內解釋正確的相位解析方法,供業界與學界相關人士參考。

 

量測中心撓性奈米定位平台研發團隊,多年來與德國相關技術單位有密切合作,並有完整的量測校正設施,特闢專欄解說奈米定位平台的基礎設計方法,以落實該科技的新觀念。

 

自動光學顯微檢測設備逐漸成為國內之新興產業,吸引產學研各界相繼投入,其基礎技術可提昇產品精度與良品生產速度,對於協助國內精密光學、軟性電子、軟性顯示器、軟性電池、太陽能產業等主流產業必有所幫助。本專輯拋磚引玉,衷心希望產官學研先進與各方專家共同指導,並在未來共同參與。

 

量測資訊訂閱專線:03-5732265

 

目錄介紹

 

119

第 119 期
特別報導  
精密微結構量測發展趨勢 陳亮嘉

專輯: width=0 精密微結構量測關鍵技術  
精密微結構量測關鍵技術前言 戴鴻名
奈米移動平台定位技術 陳朝榮、劉惠中、戴鴻名、修芳仲
應用修正分支切割法於相移干涉技術 鄒永桐、童啟弘、陳金亮
光纖式全域微三維表面輪廓共焦量測技術之發展 陳亮嘉、黃志弘、陳昭男、戴鴻名
分析週期性光柵之臨界尺寸變異對疊對偏移量測之影響 董書屏、顧逸霞

計量儀器與技術  
FPD彩色濾光片色度檢測技術 張玉姍、楊富翔、吳智誠、羅偕益
LED全光通量量測技術介紹 吳貴能、陳政憲
應用 ISO 10012 實踐醫院腦波機(EEG)設備保證要求和診斷過程的管理 蕭富榮、郭士揚
氧化鈷-二氧化錫在一氧化碳感測技術上之研究 吳仁彰,吳志淦、蔡東剛、葉君棣
書法家行書身心狀態觀察 朱姍姍

品保/認證/驗證焦點 編輯室輯
最嚴苛安全防護的新ISO/IEC生物特徵識別方法整合之技術
改善三維表面形貌測量之量測精度

全球計量動向 編輯室輯
平面顯示器於2007-2008預估營收調高6%

新產品/新技術櫥窗 編輯室輯
南非國家度量衡標準實驗室業務移轉至NMISA
減少能源需求新的管控策略
節約能源 --下一世紀的要事
聲音量測的即時影像化
新型微對位雷射系統
新階段的精確3D線性掃描
通電接觸導線橫切面光學遙控檢測
NIST 擴建天線校正能量至 60 GHz ~ 100 GHz 頻段
Sensys提出新的交通管理技術
世上第一台X-ray自由電子雷射是一部生化工具
奈米級光源的未來

 

 
 
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