國家量測標準

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  圖:真空比較校正系統
           圖:真空比較校正系統

已建立真空比較校正系統,使用之標準真空計有旋轉子黏滯式真空計、熱陰極離子真空計及電容式真空計等,可提供各式真空計之校正。歷年來已建立自主追溯能力,滿足高科技產業,如半導體產業、光電產業、光學產業等之高潔淨度真空儀器之校正需求。包括:

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