校正/驗證

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服務之儀器  階高標準片(Step Height Standards) 
校正範圍 
(1) 光學式:0.01 µm to 100 µm
(2) 探針式:0.01 µm to 50 µm
不確定度 
(1) 光學式:(D ≤ 3 µm) :[32+(1.2D)2]1/2 nm
     光學式:(D > 3 µm) :[9.52+(3.6D)2]1/2 nm
(2)探針式:[52 + (3.2D)2]1/2 nm
    D:階高量測值,單位μm
校正點數說明  (1) 視待測面大小,於(1~4)個位置各量測2次,取其平均值為量測值
(2) 視樣本材質、圖案與高度之限制以決定使用光學式或探針式校正 
校正費用  (1) 單一階高:7,500元/片
(2) 兩個階高:15,000元/片  
送校件須知  1. 請隨附送校標準片說明書
2. 試片具長條形凹或凸槽,槽長須大於700 μm
3. 量測面須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象 

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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