校正/驗證

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服務之儀器  (1) 電容式真空計(Capacitance Diaphragm Gauge)
(2) 中低真空度真空計(Vacuum Gauge)  
校正範圍  0.1 Pa to 100 kPa
不確定度  1.8 % (相對) 
校正點數說明   原則上,每數量級校正3點,3個數量級共校正9點
校正費用  (1)15,000元/9點 (每加1點加2,000元)
(2) 6,500元 
送校件須知  1. 請於送校前事先通知,以便安裝工作
2. 請於送校前先將送校之感測頭清潔乾淨
3. 控制器和感測頭須同時送校
4. 附操作手冊 

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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