校正/驗證

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服務之儀器  (1) 離子真空計(Ionization Gauge)
(2) 旋轉轉子黏滯式真空計(Spinning Rotor Viscosity Gauge) 
校正範圍  (1) 5×10-6 Pa to 0.008 Pa
(2) 6×10-4 Pa to 1 Pa
不確定度  (1) 6.9 % to 7.4 % (相對)
(2) 2.9 % (相對) 
校正點數說明  原則上,每數量級校正3點,3個數量級共校正9點
校正費用  15,000元/9點 (每加1點加2,000元)
送校件須知  1. 請於送校前事先通知,以便安裝工作
2. 請於送校前先將送校之感測頭清潔乾淨
3. 控制器和感測頭須同時送校
4. 附操作手冊 

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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