| 服務之儀器 | 標準粒子、線距標準片 |
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| 校正範圍 | (1) 標準粒子之粒徑：10 nm to 60 nm (2) 線距標準片之線距：70 nm to 1000 nm |
| 不確定度 | (1) 1.5 nm to 5.4 nm (2) 0.29 nm to 2.9 nm |
| 校正點數說明 | (1) 粒子粒徑量測值為量測 100 顆粒子所得之粒徑平均值。 (2) 同一線距片不同標稱線距之待校線距區塊以及不同線距片，皆算不同件。 |
| 校正費用 | (1) 14,000元／件 (2) 14,000元／件 |
| 送校件須知 | 1. 若為初次送校，請隨附原廠報告；若為再校，則請附前次送校之工服編號。 2. 送校件為標準粒子時，應具良好分散為佳，其量測結果可信度愈高。 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等