【D18】雷射干涉儀校正系統

(1) 位移：0.1 m to 10 m，溫度：15 °C to 30 °C，相對濕度：40 % to 60 %，壓力：85 kPa to 105 kPa
(2a) 0 mm to 15 mm (解析度：0.2 μm)
(2b) 0 mm to 30 mm (解析度：0.1 μm)
(2c) 0 mm to 30 mm (解析度：1.0 μm)

(2d) 0 mm to 60 mm (解析度：0.1 μm)

(1) 位移 (加入環境感測器時)︰[62² + (120L)²]^1/2 nm

    L 為以 m 為單位之量測位移數值

    溫度 (空氣感測器)：0.1 ℃，溫度 (物質感測器)：0.1 ℃，

(2a) 0.34 μm

(2b) 0.46 μm

(2c) 0.73 μm

(2d) 0.81 μm

1. 位移校正：行程 10 m，每隔 1 m校正 1 點，去程回程共 20 點

2. 位移校正：行程及間隔另可依顧客需求而定

3. 環境感測器校正 (溫度、濕度、壓力)

(1) 位移校正 15,000 元，溫度校正 3 點 3,500 元，壓力校正 5 點 5,000 元，濕度校正 3 點 3,500 元 (溫度、壓力、濕度每加校正 1 點加收 1,000 元)

(2) 9,500 元／15 點 (每加 1 點加 500 元)