| 服務之儀器 |
階高標準片(Step Height Standards)
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| 校正範圍 |
(1) 光學式：0.01 µm to 100 µm
(2) 探針式：0.01 µm to 50 µm
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| 不確定度 |
(1) 光學式 (h ≤ 3 µm)：[32 + (1.2h)2]1/2 nm
光學式 (h > 3 µm)：[9.52 + (3.6h)2]1/2 nm
(2) 探針式：[52 + (3.2h)2]1/2 nm
h 為以 μm 為單位之階高量測值
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| 校正點數說明 | (1) 視待測面大小，於 (1 ~ 4) 個位置各量測 2 次，取其平均值為量測值 (2) 視樣本材質、圖案與高度之限制以決定使用光學式或探針式校正 |
| 校正費用 | (1) 單一階高：7,500 元／片 (2) 兩個階高：15,000 元／片 |
| 送校件須知 | 1. 請隨附送校標準片說明書。 2. 試片具長條形凹或凸槽，槽長須大於 700 μm。 3. 量測面須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象。 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等