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階規校正系統評估報告

本文為國家度量衡標準實驗室階規(step gauge)校正系統的評估報告。本校正系統以雷射干涉儀作為標準件,整合高準確度之座標量測儀(coordinate measuring machine, CMM)的移動床台與測頭系統,以半自動的方式完成階規各端面距離之量測,完成校正工作。

系統之評估方法係參考國際標準組織(International Organization for Standardization,ISO)發行的ISO/IEC Guide 98-3:2008,分析各誤差源及標準不確定度後,計算系統之擴充不確定度。最後,訂出本校正系統的校正能量為:

校正項目:階規

量測範圍:10 mm至1010 mm

擴充不確定度(U)以方程式表示為:0.20 μm + 4.01 ×10-7 L

其中L為量測距離,單位為mm

信賴水準:95 %

涵蓋因子(k):1.96

本文件隸屬於階規校正系統。

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  • 網站最新更新日期 : 2022/05/20
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