106年-論文發表

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項次論文名稱摘要會/刊/處所名稱發表日
1 高溫輻射溫度計之標準與量測 由於輻射溫度計的成功開發和普及應用,使得輻射溫度測量方法能夠更準確地測量熱輻射。從而引起更廣泛的溫度測量領域的應用和發展。根據1990年國際溫度規模,銀的冰點以上的溫度由輻射溫度法決定。這種輻射溫度測量技術的基本物理定律是普朗克的輻射定律,它顯示了熱輻射與溫度之間的關係。本文簡要介紹了高溫輻射溫度計測量原理和標準可追溯性以及黑體爐。 運輸與能源計量研討會 20171215
2 臺灣無人飛行載具小像幅攝影系統幾何校正之研究-以南崗校正場為例 無人飛行載具(UAV)已在全球航遙測界快速蓬勃發展,搭配小像幅攝影系統,以較低的航高進行空拍(小於500 m),應用製圖技術能夠滿足大比例尺成圖的精度要求,同時降低作業成本。然而,為確保測繪品質,建置地面南崗校正場,設置幾何校正標,以全球導航衛星系統(GNSS)定位儀觀測,經嚴密平差解算三維坐標(Nr, Er, hr)作為校正參考值;然後,實施無人飛行載具小像幅攝系統,依既定幾何校正作業程序,空拍校正場,經軟體處理量測校正標,其三維坐標(Nm, Em, hm)作為校正量測值。本文以經典數位航空攝影測量方法輔以近年來在計算機視覺領域興起的影像密匹配軟體處理,進行嚴密空中三角測量,分析校正標三維方向器差值(=校正量測值 – 校正參考值)及均方根誤差(RMSE),有關其不確定度亦一併探討。 運輸與能源計量研討會 20171215
3 雷射測距於三軸線性運動機構之垂直度評估 工具機與座標量測儀目前多為三軸的線性運動架構,即使為增加了兩軸旋轉自由度的五軸工具機,三軸的運動表現仍為機台性能的基本要素,此研究主要使用雷射測距儀器,對機台進行整機量測,並將量測到的位移值與機台控制值加以比較之後,進行三軸垂直度的評估,建立的方法將於未來實際應用於補償機台的定位表現。 運輸與能源計量研討會 20171215
4 晶圓載運車振動訊號記錄器之校正技術 為提高振動量測的便利性,近年來許多振動量測運用微機電型加速規作為振動監測技術,偵測或診斷晶圓運輸時動態訊號的記錄。為瞭解其使用之準確性,本文將針對其電壓靈敏度及解析度進行研究,確認組立之振動加速規量測精度及感測器動態頻寬。透過自行開發之程式,進行振動量測訊號記錄之解析,作為高單價晶圓產品於運送過程之損害及產品動態運輸檢測評估。 運輸與能源計量研討會 20171215
5 低風速微型風速計設計 本篇研究延續[1]之研究,設計兩型槳型微懸臂樑結構,兩者上層皆有一鎳鉻合金電阻,當有任一作用力施加於此懸臂樑結構時將使之產生形變,進而使懸臂樑結構上之鎳鉻合金阻值產生變化,利用此原理設計目標量測風速範圍為0 m/s至1 m/s且解析度為0.01 m/s之低風速微型風速計。設計上分為兩個部分,第一部分,建立因微懸臂樑形變使其上層鎳鉻合金阻值變化之數學模型,進而設計兩型出適合量測0 m/s至1 m/s風速範圍之微型懸臂梁結構,其中第一型對於量測0 m/s至1 m/s風速範圍較不靈敏但製作上較為簡易,第二型對於量測0 m/s至1 m/s風速範圍較第一型靈敏但製作上較為困難;第二部分,利用數值模擬分析探討當氣流通過此結構時,此微型懸臂樑結構外圍至保護邊框內緣鏤空範圍內,流場影響風速計量之特性。 運輸與能源計量研討會 20171215
6 以非線性熔融石英微共振腔實現100   GHz之被動鎖模光纖雷射 本文描述開發一種內含熔融石英微共振腔的100 GHz高重複率鎖模光纖雷射,通過調整雙光纖的耦合位置和偏振控制器產生10多條光梳,結果並展現了鎖模後之脈衝寬度為1.2 ps。 國際光學與光電研討會暨科技部光電學門成果發表會 20171208
7 非線性偏極演化全保偏與非保偏光纖飛秒雷射的雜訊表現 非線性偏極演化全保偏與非保偏光纖鎖模雷射的重複率的相位雜訊被量測與比較,全保偏非線性偏極演化鎖模光纖雷射有較高的低頻雜訊,詳細的研究在研討會中會討論。 Optics and Photonics   Taiwan, Internation Conference 20171207
8 自製高壓分壓器之比率校正方法與驗證 工研院量測中心高壓實驗室以自製的200 kV電阻式分壓器作為直流高壓校正系統之標準件,以提供國內相關產業如半導體廠、重電廠及醫療設備廠商對100 kV以上高電壓的校正需求。本文說明如何以一部已知分壓比率值的100 kV分壓器,經由內部校正方法將標準傳遞至該自製的200 kV電阻式分壓器。量測結果並與國外標準實驗室的校正結果進行比較驗證。經評估後,該自製200 kV電阻式分壓器規格的不確定度小於0.01 %。 三聯科技季刊 20171201
9 地震儀驗證技術探究 地震儀的工程應用範圍日益擴增,包含高架道路、鐵道安全、智慧建築、土坡監控、地震預警、橋墩傾斜及水位變化等,此類感測器肩負長期監控之要責,因而對於耐候、防水、抗干擾等設計條件皆要求甚高,加之本身造價高,替換成本昂貴,使用環境條件惡劣,物理特性易發生變化,因此唯有精確的驗證技術才能確保其物理特性的可靠;國內目前礙於較少研究及製造地震感測器之廠商,大部分的地震感測器都是歐、美、日直接進口,因此,地震儀相關的規格驗證的技術,目前仍仰賴國外母公司提供相關驗證的技術協助[1],筆者於工研院經常接觸不同類型地震儀檢測相關問題,因此統整目前最被廣泛使用的力平衡地震儀感測器的驗證技術,由逐一說明頻率響應、滿刻度範圍、靈敏度、動態範圍、線性度及橫向靈敏度等特性規格開始導入,並探討其相關的物理特性及檢校驗證的方法。 三聯技術雜誌 20171201
10 低風速微型風速計設計 本篇研究設計一槳型微懸臂梁結構及其上層有一鎳鉻合金電阻,當有任一作用力施加於此懸臂梁結構時將使之產生形變,進而使懸臂梁結構上之鎳鉻合金阻值產生變化,利用此原理試設計目標量測風速範圍為0 m/s至1 m/s且解析度為0.01 m/s之低風速微型風速計。設計上分為兩個部分,第一部分,建立因微懸臂梁形變使其上層鎳鉻合金阻值變化之數學模型,進而設計出適合量測0 m/s至1 m/s風速範圍之微型懸臂梁結構;第二部分,利用數值模擬分析探討當氣流通過此結構時,此微型懸臂梁結構外圍至保護邊框內緣簍空範圍內,流場是否不影響風速計量特性。 中國機械工程學會全國學術研討會論文集 20171201
11 電磁場強度的校正與不確定度評估 為了因應電磁耐受性國際測試法規的更新,國家度量衡標準實驗室電磁場強度量測標準於2016年開始逐步進行系統能量的擴充,將標準電磁場的強度提高至200   V/m,以滿足業界計量校正追溯之需求。本文說明該標準系統的量測原理、主要組成元件的特性以及其量測不確定度的評估。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20171130
12 掌上型熱管探針熱導率儀的校正與測試 傳統的熱探針法雖然適用於量測地質土壤、塑料或其它鬆軟材料的熱導率,但為了符合熱線法的假設,往往受限於其探針細長比的結構。然而,這種幾何結構常常導致熱探針機械強度的不足,當插入比預期更堅硬之固體材料時,則容易使探針彎曲或損傷,從而影響其準確性與適用性。為了擴大其未知的地質與塑料的適用性,有必要增強其探針的幾何結構,但這也導致與理想的基本幾何假設不同,因此必須藉由校正的方法與數據處理分析來修正。本文將發展一高強度與高導熱的熱管探針技術,其長度120 mm,直徑4 mm,不銹鋼管內包覆熱管、熱電偶與電熱絲並填充少量高導物質製作而成。透過改良式瞬態平面熱源法建立熱管探針的校正流程,以獲得熱管探針的校正曲線,其熱導率量測範圍則可達0.033 W/(m·K)至1.340 W/(m·K)之間,以符合現階段常用固態材料的量測。 中華民國力學學會全國力學會議 20171124
13 具三自由度光學式主軸誤差量測裝置 本文發表一套能整合物聯網及具三自由度低成本光學式量測裝置於主軸誤差量測。此量測裝置由非球面鏡、雷射二極體、分光鏡、四象限感測器等元件組成,並利用自動視準儀原理實現。具三自由度光學式主軸誤差量測裝置經校正後可得到1 μm殘餘誤差及0.1 μm解析能力;實驗結果顯示,量測結果因受標準球的表面粗糙度影響,會有10 μm振幅的雜訊,經雜訊濾除後,可觀察到主軸運動誤差,包含徑向、軸向、同步與非同步等誤差項。另外,此裝置亦可被應用在主軸熱膨脹量測上。 Sensors and Materials 20171124
14 以熔融石英微共振腔製作的被動鎖模光纖雷射應用於光通訊 我們展現了一種緊緻型的可攜式84 GHz被動鎖模光纖雷射,其中雙光纖耦合熔融石英微共振腔是用來作為腔內的光梳濾波器以及光學非線性材料,以利於光頻梳的產生。我們所提出的光纖雷射可以產生約八個波長同調的光。其20-dB頻寬大於588 GHz,雷射的脈衝半高寬為2.5 ps。我們利用產生的鎖模光纖雷射載入5-Gbit/s的開關鍵控(OOK)信號並傳輸超過20 km標準單模光纖(SMF)。由於可實現7%的前向誤差改正(FEC)要求,因此表示所提出的光纖雷射可以成為光纖無線應用的潛在候選者。 光電與通訊工程應用研討會 20171124
15 用於量測氣體折射率與絕對壓力之光學Fabry-Perot干涉儀 壓力是描述每單位面積施加在物體表面上力量的量。對於氣體壓力來說,這個力實際上是由隨機移動的氣體分子和物體表面之間的碰撞引起的。根據氣體動力學理論和理想氣體定律,壓力是氣體密度ρ和溫度T的函數,即p = rho kB T,其中kB是波茲曼常數。因此,可以通過測量氣體密度ρ和溫度來獲得氣壓p。本文介紹了一種基於法布里 - 珀羅干涉儀(FPI)的光折射儀的設計和製造,用於測量氣體的折射率。在設計中,兩道雷射將使用Pound-Drever-Hall技術獨立鎖頻到兩個FPI。一個FPI處於真空狀態,作為光學參考頻率,另一個浸入氣體中。氣體的折射率可以通過比較兩道雷射光的頻率來獲得。這是這個工具的基本原理。目前,兩個FPI腔是由一塊ULE玻璃製成的,以減少溫度波動引起的長度變化。表面拋光和鏡面結合正在進行中。FPI組裝後將進行更多的測試,初步結果將在研討會上提出。 Asia-Pacific   Symposium on Measurement of Mass, Force and Torque (APMF) 20171121
16 階規校正系統設計與發展 階規被廣泛應用在工具機或座標量測機床上進行校正,所發展之階規校正系統係由座標量測儀,及作為長度追溯用標準件之雷射干涉儀組合而成,其中座標量測儀利用其高重複性定位特性作為移動平台,而測距光路特別設計成雙路徑干涉來實現,以消除探針的阿貝誤差。 Journal of Applied   Mechanical Engineering 20171113
17 利用單一粒子感應耦合電漿質譜技術串聯氣體交換裝置應用於特殊氣體中微量元素汙染物分析 氨氣、三氟化氮和四氟甲烷之類的特殊氣體在半導體製程中被廣泛使用,在矽晶圓製程中使用氣體中的微量雜質會導致電阻率漂移,二極體導電性改變以及壽命降低等狀況,最終導致產品良率下降。也因此,半導體產業對於高純氣體的需求正在急劇增長。衝擊器是一種常用的粒子收集技術,用於捕集和預濃縮柱體中的微粒,爾後再以ICP-MS進行分析。然而研究指出,顆粒直徑小於微米的粒子收集效率低於20 %,除此之外,一些特殊氣體(例如氨氣)在收集過程中會溶解在水中,然而飽和的氨水溶液會造成顆粒沉澱以及導致電漿熄滅,分析程序中的稀釋步驟又會導致較差的偵測極限。單一粒子感應耦合電漿質譜技術(spICP-MS)最近被廣泛的應用於奈米粒子分析,許多研究針對奈米粒徑建立了一套計量量測標準,應用於定量各種類型的奈米粒子。在本研究中,spICP-MS被用來直接分析氣瓶中的金屬顆粒。為了防止電漿受到特殊氣體的干擾,我們應用了自主研發的氣體交換裝置以去除各種氣體基質。在優化氣體交換效率後,嘗試應用於電子級氨氣中顆粒雜質的粒徑量測及成份組成。GED方法的偵測極限比傳統方法低至少100倍,可應用於線上監測特殊氣體中的顆粒污染物,而不會消耗大量的氣體。 Asia-Pacific Winter   Conference on Plasma Spectrochemistry 20171113
18 利用軟X光反射儀發展薄膜量測系統 隨著下一個技術節點的到來,高精確且可靠之不同薄膜厚度的監測對於先進微電子設備中是相當重要的。在半導體工業中,為了提高性能,則高介電/金屬柵極厚度將必須縮小至幾個納米,且測量面積也將被限制至幾個微米以內。但是,光學測量已經不能提供足夠的分辨率和測量面積。因此,本研究將以軟X射線反射技術建立薄膜量測系統。 The Annual Conference on Engineering and Applied Science 20171107
19 絕對輻射溫度計之簡介 基於絕對輻射溫度計的成功發展,因而得以精確的量測到極為微小的熱及光輻射,致使溫度與光的標準有了革命性的改變與進展的契機。1990年間,以絕對分光輻射法量測金凝固點的溫度,將測得的熱訊號直接利用普朗克熱輻射定律推算出的其熱力學溫度,為首次不以任何參考點為依據而獨立標訂出金凝固點熱力學溫度值來。本文簡述濾波式絕對輻射溫度計之量測原理與校正方式。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20171101
20 交流可編輯式約瑟夫森電壓標準執行電流分流器相位偏移校正之研究 國家度量衡標準實驗室(NML)之交流可編輯式約瑟夫森電壓標準 (AC PJVS)系統為我國交流電量領域之最高標準,此系統主要是藉由電壓差值取樣技術以執行交流電壓的精密校正,技術居於國際領先。另外,AC PJVS   應用於電力標準量測技術的開發,更是各先進國家計量院積極投入之研發標的。因此,NML 亦透過 AC PJVS   系統改良,進行電流分流器相位偏移量測技術之研究,期望藉此逐步完備電力標準系統的自主追溯管道。本文將介紹以 AC PJVS 執行電流分流器相位偏移之校正技術與不確定度評估,經評估以 AC PJVS 在輸入電流範圍為 10 mA 至 80 A 且頻率為 50 Hz 與62.5   Hz 的條件下,執行電流分流器相位偏移校正的量測不確定度為 0.80 mdeg (k=2)。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20171101
21 NML應用歐姆定律新建之交流電流校正系統 國家度量衡標準實驗室(National Measurement   Laboratory;NML)於2017年進行改良現有的交流電流校正系統,增建以新型的低電感同軸電流分流器為標準件並應用歐姆定律建置之交流電流校正系統。本系統可提供交流電流源、交流電流表及交流電流分流器等儀器之校正服務,其校正範圍為電流100 uA至100 A、頻率20 Hz至10 kHz,及量測不確定度為(0.12至0.17) mA/A(電流 < 300 uA)、(70至90) uA/A(電流>=300 uA)。本文主要介紹NML新建立的歐姆定律交流電流校正系統,內容包括此系統之校正方法、量測不確定度評估及與應用交直流轉換技術的現有交流電流校正系統之間的量測符合性驗證。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20171101
22 長波長X射線反射技術量測薄膜厚度 本研究自主開發鋁靶材激發之長波長X光反射技術,量測半導體薄膜樣品厚度,架設X光反射儀,包含儀器架構、光路設計、數據分析及自動化控制等技術,並初步量測HfO2 50 nm 之薄膜,擬合平均值厚度為48 nm,光斑大小≦200 μm,光通量≧109 photons.s-1.mm-2。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20171101
23 使用的高精度緊緻型激光干涉儀洛氏硬度測定標準系統 The Primary Rockwell   Hardness Standard System was set up in the Center for Measurement Standards since July 1996 till June 1997. During the time, the optical ruler was took place of a laser interferometer, HP10737R 3-axis compact interferometer. It   was used to measure the depth of the indenter and pitch and yaw of the indenter when the hardness was measured. These effects were expressed as the value of the corresponding hardness. As the laser interferometer was performed the measurement of the pitch and yaw of the indenter when the hardness was measured; then we can evaluate the uncertainty of hardness measurements caused by the Abbe’s error through pitch and yaw measurements.Then we can assess the degree of deterioration of the system by means of such measurements. In this paper, we will compare the results cyclical to evaluate the aging effect of the indenter axis during these several years International Multi-Conference on Engineering and Technology Innovation 20171029
24 CMS的5 kNm校準能力的扭矩標準機器的雙平衡桿 為了提高扭矩標準機的性能,一個好的雙槓桿平衡設計和製造是必不可少的,既要保證足夠的剛性,又要保證有足夠的靈敏度。根據規格,初始負載極限和最大負載極限靈敏度不超過一萬分之一。為了達到這個目的,我們使用刀和刀座是雙平衡臂槓桿的支點,槓桿兩側也使用刀和刀座連接左右重量組。 在本報告中,我們將介紹測量結果。 International Multi-Conference on Engineering and Technology Innovation 20171028
25 用於發電和製氫的光電化學生物燃料電池 光電化學電極已經研究了近三十年,其中最早的工作之一是由本田和藤島完成,其中描述了電池內部由光子或化學反應產生的電。他們成功地使用了氧化鈦(TiO2)電極來分解陽光照射的水,並且還介紹了製造光電化學太陽能電池的基本原理。不同的電極材料是在20世紀70年代和80年代開發的,但是使用TiO2的太陽能電池的轉換效率仍然很低。2003年,Garza的研究小組使用染料敏化光電化學電池(DSSC)和燃料電池,創造了一個混合電池。陽極的工作原理與陰極由生物燃料電池組成的DSSC相同。他們採用二氧化錫納米粒子作為塗覆敏化劑的陽極。混合電池的關鍵操作是陽極中的氧化還原劑和敏化劑之間的電子轉移過程。使用二氧化錫作為陽極的電池的效率仍然不高。鑑於此,預計將使用不同類型的陽極材料來提高電極,生物染料和氧化還原物質之間的電子傳導率的效率。 International Multi-Conference on Engineering and Technology Innovation 20171028
26 利用穿透式小角度散射量測關鍵尺寸之先進量測技術 透過穿透式小角度X光散射(transmission small angle X-ray scattering,tSAXS)量測技術分析雙光柵貼合結構,觀察並分析繞射圖案中繞射點強度變化情況,並與理論計算結果進行比較與驗證。雙光柵貼合結構之交互作用項提供了增強訊號的能力,因此可藉由雙試片結構貼合的架構增加tSAXS繞射強度,以解決使用目前tSAXS機台進行關鍵尺寸(CD)檢測效率太低問題,此技術將能夠促進新一代線上CD檢測設備之開發。 International Multi-Conference on Engineering and Technology Innovation 20171028
27 利用雙光纖耦合熔融石英微共振腔製作的緊緻型84   GHz被動鎖模光纖雷射 我們提出並展現了一種緊緻型的可攜式84 GHz被動鎖模光纖雷射,其中雙光纖耦合熔融石英微共振腔是用來作為腔內的光梳濾波器以及光纖非線性材料,以利於光頻梳的產生。我們所提出的光纖雷射可以產生約8個波長同調的光。其20-dB頻寬大於588 GHz,雷射的脈衝半高寬為2.5 ps。我們也展現了利用所提出的被動鎖模光纖雷射載入5-Gbit/s的開關鍵控(OOK)信號並傳輸超過20 km標準單模光纖(SMF)的可行性。由於可實現7%的前向誤差改正(FEC)要求,因此表示所提出的光纖雷射可以成為光纖無線應用的潛在候選者。 Optical Engineering 20171026
28 利用軟X光反射率量測薄膜厚度 本文介紹軟X光量測半導體薄膜之動機、硬體架構,以及目前架設進度說明。 TACT International   Thin Films Conference 20171017
29 自動追蹤雷射干涉儀於工具機幾何誤差量測 隨著自動化工業發展的演進,工具機尺寸需求越來越大,且行程要求越來越長,對習用雷射干涉儀於工具機幾何誤差量測,需一道複雜的操作及對光流程,特別是在角度誤差取得,如垂直度誤差,需使用90度稜鏡來輔助量測,對光將是一個困難操作項目。本文所提到技術乃針對自動追蹤雷射干涉儀,說明當使用此儀器僅量測某一軸的線性定位誤差時,其量測結果曲線趨勢除定位誤差外也帶有角度誤差資訊,利用此資訊將可減少量測程序,並進一步協助縮減工具機組裝業者約一半檢測時間。 International   Conference on Inventions 20171001
30 自動追蹤測距原理用於量測三軸龍門型機構之測距模擬 工具機與座標量測儀(CMM)一般使用三個線性運動鏈來描述架構,對三軸工具機而言,有21項運動誤差,其中對於三個線性軸的定位誤差是最普遍被補償的,一般習用雷射干涉儀來進行量測,然而對於長行程之工具機,垂直度誤差的影響會越趨明顯,若一樣使用雷射干涉儀方式量測,需搭配不同鏡組,將會是一個相當耗時的量測手法。於此,自動追蹤式雷射干涉儀對於量測機械手臂、加工機及CMM會是另一種的選擇。本研究主要為推導單台自動追蹤雷射干涉儀用於量測工具機移動時的數學模型,並考慮龍門型結構推導出工具機的運動模型,包含了線性定位誤差及垂直度誤差兩項,對光偏位誤差同樣考慮進去模型中,依此模擬不同誤差時的量測結果,最後模擬結果將可被應用在與實際量測結果相比對,來對工具機的幾何誤差進行分析。 International   Conference on Inventions 20171001
31 雷射干涉儀整合IoT技術透過樹莓派Pi3 一般雷射干涉儀在測距數據傳輸上乃透過通用序列匯流排(USB)或通用非同步收發傳輸器(UART)方式介面傳輸,對於工業4.0的發展需求,長度量測資料需要透過無線方式進行傳送至電腦,以方便蒐集資料,物聯網(IoT)技術近幾年已被應用在資料蒐集上,因此雷射干涉儀結合於IoT技術於此論文中被提出,首先光干涉訊號透過史密茲觸發被轉換成數位訊號傳送,接著樹莓派Pi3透過通用型之輸入輸出(GPIO)介面計數,換算成位移量,並可透過藍芽或ZigBee傳送,最後可實現一低成本且具0.1微米解析度及5米測距能力,並具IoT技術之雷射干涉儀,未來將可將之應用於工具機運動誤差的量測上。 International   Conference on Inventions 20171001
32 反射式小角電子散射用於不透明基材上之奈米結構量測 前瞻半導體製程的的特徵尺寸不斷縮小,目前已經縮限在10 nm以下。對應於特徵尺寸縮小至奈米等級,半導體製程對於快速和精確的特徵尺寸量測要求,也要求至次奈米等級,已非傳統光學或是電子顯微鏡可以達成。本文探討反射式小角電子束散射量測技術(Reflective   small angle electron scattering,RSAES),在奈米級特徵尺寸的三維結構下的量測可行性。以實驗和理論證據證明,反射式小角電子束散射量測技術,可用於量測平坦和不透明的基材上,且是奈米等級的表徵尺寸和三維形狀結構。 Applied Physics   Letters 20170922
33 曲面顯示器之光學特性量測 亮度和明室對比是顯示器最重要的兩項光學特性。本論文將呈現以傳統光度量學量測方式運用在曲面顯示器量測時所必要之修正,藉此增加上述兩項光學特性之量測正確性。 International Display   Manufacturing Conference  20170921
34 數位型鑽石導熱儀的開發簡介 近年來鑽石鑑定,隨著莫桑石的發明,國內已有多起以莫桑石誆騙珠寶店的紀錄,莫桑石的價格只有鑽石的1/10,而外型與導熱性又與天然鑽石差異不大,傳統的鑽石導熱儀的測試反應竟與天然鑽石無異,主因在於莫桑石為當時鑽石導熱儀設計者所未考慮的對象,且一般鑽石導熱儀辨別的精度不夠而無法鑑別。有鑒於此,本文將介紹數位型的鑽石導熱儀,利用熱比較法來設計熱探針,以做為初步鑑別仿鑽的新利器,藉以提供珠寶業者一兼具可靠性與便利性的消費與交易工具。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170901
35 曲面光源光度量測 高科技產品的發展趨勢是撓曲的能力,如柔性照明,顯示器等。平板和剛性產品的傳統測光方法可能不適用於柔性產品。測量方法來表徵測曲面產品的特點將有助於製造商結合良好的計量,從而實現更好的產品,降低製造成本,減少商業糾紛。彎曲是當前靈活產品最常見的形狀,該功能主要關注亮度,光通量,顏色和反射率彎曲表面光源的測量,因為曲面光源是柔性顯示器和柔性照明的基本部件,而這些數量是表面光源最重要的特性 International Meeting   on Information Display 20170830
36 風力發電機噪音模擬及現場量測技術 本文主要展現依據IEC 61400-11[1]風力發電機噪音量測技術規範與環保署制訂之環境噪音測量方法 (NIEA P201.95C)[2]及使用ISO 9613-2[3]戶外噪音傳遞衰減模式三種方式,探討單一風力發電機噪音產生之特性與傳遞現象,藉由不同距離位置、不同風速與風機操作條件之噪音進行分析說明。調查結果中發現,在風機運轉條件達到最大發電量時,風機發電量與轉子速度約成定值,發電量不隨風速增加而提升;而在額定發電功率20 %至80 %間,風機噪音量與發電量成線性正比關係:在調查數據中發現環境噪音量(風噪音)與風速呈一次線性正比關係。隨著風速與距離增加之噪音傳播條件下,風力發電機之噪音(事件音)會被強風所造成之風雜音(背景噪音)所覆蓋,造成量測實驗與模擬結果差異隨風速與傳遞距離增加而增加。 International   Congress and Exposition on Noise Control Engineering 20170829
37 藉由實驗室間比對比較不同類型儀器於奈米粒子粒徑之量測結果 奈米粒子粒徑量測技術有多種,然而,不同的量測方法所得的量測結果可能有所差異。為了建立量測方法於奈米粒子粒徑量測的有效性與可比較性,工業技術研究院量測技術發展中心於2005、2006與2012年舉辦了三個國際性的奈米粒子粒徑量測實驗室間比對。2005年舉辦的APEC奈米粒子粒徑量測先期性實驗室間比對,共有來自6個經濟體的10家實驗室參加,2006年再度舉辦APEC奈米粒子粒徑量測實驗室間比對,針對不同的量測技術提供更詳細的量測比對說明書,以強化不同量測方法所得量測結果的可比較性。2006年的比對活動計有來自10個經濟體的16家實驗室參加。2012年,為了更進一步調和奈米粒子粒徑量測技術與能力,舉辦了APMP輔助比對(supplementary comparison),計有14個國家計量標準實驗室參加。本文藉由此三個國際性實驗室間比對,以統計方法分析比較不同量測技術於奈米粒子粒徑的量測結果,結果發現以動態光散射儀(DLS)量測得到的奈米粒子粒徑通常大於其他的量測技術,包括穿透式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM) 、微分電移動度分析儀(DMA)以及小角度X光散射儀(SAXS)。 NCSLI Workshop &   Symposium 20170817
38 經由量測稽核分析實驗室於數字型壓力計之校正能力   - 能力試驗之替代方案 依據ISO/IEC 17025,校正實驗室為了證明校正之有效性與可比較性,需要參加實驗室間比對或能力試驗來確保實驗室的量測能力與校正結果的品質。參加能力試驗以展現實驗室技術能力的良好表現,是台灣校正實驗室向全國認證基金會(TAF)提出初次申請或研展認證的基本要求。如無合適的能力試驗可參加,校正實驗室應依TAF規定參加量測稽核。工業技術研究院量測技術發展中心除了定期舉辦校正領域能力試驗,也提供量測稽核服務以滿足校正實驗室對增列認證項目的能力比對需求。近兩年因應法規限制,壓縮空氣機能源效率測試需求明顯成長,產業對數字型壓力計校正的需求也隨之增加,2015至2016年計有11家校正實驗室提出數字型壓力計校正的量測稽核申請,量測稽核執行時由國家度量衡標準實驗室(NML)提供參考值。本文將此兩年內11家校正實驗室的量測稽核結果,以統計分析方式進行實驗室間比對的分析,結果顯示大部分的參加實驗室其量測能力具有一致性,量測稽核結果可作為校正實驗室為符合認證所需能力試驗活動的良好表現佐證。 NCSLI Workshop &   Symposium 20170816
39 蜘蛛絲隨個體發生的強韌化現象:以穴居型結網蜘蛛為例 動物形態特徵在不同的生命階段可能有所變化。結網蜘蛛群多樣性高的食蟲動物,其蛛網的幾何設計與物理性質亦隨其個體成長而改變。儘管如此,對於它們的蛛網、大壺狀腺絲(MAS)關鍵組成部分在不同生命階段之變化卻知之甚少,推斷原因在於難以找到合適的物種模型。塔斯馬尼亞洞穴穴居蜘蛛Hickmania,由於其長壽、世代重疊成長及體型龐大,適合作為一個良好的模型。我們從不同大小的穴居Hickmania蜘蛛網上收集大壺狀腺絲並進行拉伸試驗,以偵測它們在不同生命階段時絲之特性轉變現象。我們發現大壺狀腺絲的強度與韌性(即變形與吸收能量的能力)隨著蜘蛛頭胸部寬度與體長增加。我們推測這樣跨越生命階段的蜘蛛絲性能轉變對蜘蛛具有獨特的生存優勢,其中包括增強獵物捕捉能力,改善蜘蛛絲生產過程,以及蜘蛛網能支撐較大蜘蛛身體的能力。 Journal of Zoology 20170810
40 應用多物理量模擬和電阻脈衝感測研究金屬與非金屬奈米粒子在不同鹽濃度中的影響 電阻式脈衝感測技術是可以量測奈米粒子的方法之一。本文主要是討論在不同濃度電解質中的金屬奈米粒子與非金屬奈米粒子,在使用電阻式脈衝感測技術進行量測時的離子電流變化與傳導動力學。在本文中同時使用有限元素法,其中包含三個控制方程,Navier-Stokes方程描述層流運動,Nernst-Planck 方程描述離子傳輸,Poisson方程描述流動通道中的電位分佈,來進行多物理耦合模擬。然後,通過電阻脈衝感測測試驗證模擬結果的可靠性。現有結果表明,離子濃度越低電阻脈衝檢測的影響越大。同時我們也通過模擬和實驗研究了電阻脈衝感測對不同材料的影響,並加以討論。 ASME FLUIDS   ENGINEERING CONFERENCE 20170802
41 以積分球量測曲面之d:x反射 明室對比用於評估顯示器在擴散光源下使用的表現是非常有用的參數,現今規範標準建議以在幾何架構為d:x反射下進行明室對比計算。反射量測主要是使用積分球量測待測平面之反射率,並以平面之標準白做為參考件。然而白板參考件和曲面的待測樣品的形狀不同將會導致光量照射在兩者表面不一致,因而產生量測上的錯誤,特別是當樣品為內凹形狀時,樣品之曲率半徑小將導致明顯誤差。為增加量測的準確性,本文將導出修正因子補償因為形狀不同產生的效應,量測不確定度的評估也在將在本文中討論。 Journal of the Society for Information Display 20170801
42 風力發電機噪音調查技術與探討 本文主要展現依據IEC 61400-11風力發電機噪音量測技術規範與環保署制訂之環境噪音測量方法(NIEA   P201.95C),對風力發電機之噪音方式與噪音特性進行說明,藉由不同距離位置、不同風速與風機操作條件下量測之噪音量進行分析說明,對於風力發電機噪音與操作條件進行解析。調查結果中發現,在風機運轉條件達到最大發電量時,風機發電量與轉子速度約成定值,發電量不隨風速增加而提升;而在額定發電功率20 %至80 %間,風機噪音位準值變與發電量呈現性關係:在調查數據中發現環境噪音量(風噪音)與風速呈一次線性正比關係,在高風速的環境條件下,風力發電機之噪音會掩沒在強風所造成之背景噪音內。 應用聲學與振動學刊 20170801
43 CIPM風速關鍵比對CCM.FF-K3.2011總結報告 此次CCM.FF-K3.2011比對的舉辦,目的是為了決定各個國家風速標準範圍介於0.5 m/s至40 m/s的等同性。超音波風速計與雷射都卜勒風速計作為傳遞標準件。來自三個區域計量組織的九個實驗室於2013年7月至2015年7月參與其中 - 歐洲國家計量組織聯盟(EURAMET):PTB (德國)、LNE (法國)、INRIM (義大利)、VSL (荷蘭)、E+E (奧地利);美洲計量體系(SIM):NIST (美國);亞太計量組織(APMP):NMIJ/AIST (日本)、NIM (中國)、CMS/ITRI (台灣)。量測在環境條件下進行,所有獨立參與者的結果數據會用來決定關鍵比對參考值(KCRV)以及其不確定度。每個風速的參考值分別依據M.G.Cox發表的程序A決定,再從KCRV計算每個實驗室在每個風速的等同性。幾乎所有的報告結果與KCRV具有一致性。 Metrologia 20170731
44 APMP.QM-S2 國際比對:0.2   mol/mol 氮氣中氧氣 已經完成一次的APMP.QM-S2雙邊比對用以展示氮氣中氧氣的測量和校正能力。本次比對是重複APMP.QM-S2比對,也是為展示參與者的能力而設計的。比對的目的是支持和改進參加者的CMCs。此比對在2013年11月的APMP TCQM會議和2014年4月的CCQM GAWG會議上提出並得到核可。本文件描述了氮氣混合物中氧氣補充比對的結果。氧氣的標稱濃度為0.20 mol/mol。 Metrologia 20170728
45 變異數分析於計量領域之迴歸模式的應用 迴歸分析(regression analysis)與變異數分析(analysis of variance,ANOVA)皆為實用且常見的統計工具。迴歸分析主要係瞭解變數間是否有影響,其所討論的自變數為連續型變數,廣泛應用於預測之用途。在計量領域裡,經常會以迴歸分析協助推導變數間之關係式,像是以已有之數據預測尚未進行量測的數值,例如:伏特計10 V檔位內,僅追溯3個點數(1 V、5 V與10 V),欲求其餘點數之追溯值,便可透過迴歸分析所建構之迴歸模式預測得知。而變異數分析主要係藉由變異數的變化,來檢定所關注的自變數(或因子)對於應變數是否有影響,其所討論的自變數(或因子)為離散型變數(或稱分類變數),例如:探討在不同溫度之下,待測件尺寸的量測結果是否有差異。兩種統計工具均是探討影響應變數的自變數(或因子),端看評估者之分析目的進而選擇合適的統計方法。本文係基於建立迴歸模式之過程,介紹變異數分析於計量領域之迴歸模式的兩種不同應用,包含其應用在迴歸模式的適合性確認,以及應用在當迴歸模式之應變數觀察值數據包含重複量測數值的量測不確定度評估,展現統計工具的交互運用。 標準與檢驗月刊 20170727
46 100 GHz微光梳系統現場實測評估 本文針對所研發之微光梳系統進行現場光梳特性評估。在無特殊環境控制之條件下,此微光梳系統可產生100   GHz光梳,作為多波長雷射光源。所產生之光梳線頻率間距可滿足100 GHz DWDM規格所需(通道容許波長範圍0.3 nm)。光梳特性以向量幅度誤差(Error Vector Magnitude, EVM)與射頻頻譜(RF   spectrum)兩項量測作為評估依據。實驗量得之EVM值接近一般光纖通訊領域常用值(3 %)。本系統所產生之光梳特性尚佳,有潛力應用於高密度波長多工器(DWDM)及光纖通訊整合技術(RoF)。 International   Frequency Control Symposium/European Frequency and Time Forum (IFCS/EFTF) 20170709
47 PVTt系統雙邊比對成果 國家度量衡標準實驗室(NML)於2013年興建完成一套以PVTt法為工作原理之原級低壓氣體流量標準系統,PVTt為壓力、容積、溫度與時間的縮寫,係透過這四項參數的量測來決定標準流量。此套系統於2015年與國家標準技術研究所(National Institute of Standards and Technology, NIST)實行雙邊比對,比對方法係透過兩顆喉部直徑分別為1.699 mm與0.296 mm的音速噴嘴(critical flow venturis, CFVs)作為傳遞標準件來執行。這兩顆噴嘴在國家度量衡標準實驗室分別以容積500 L與30 L的標準系統來進行校正,於NIST則是分別使用容積677 L與34 L的標準系統來完成校正。比對結果顯示口徑0.296 mm的噴嘴雙方的校正結果差異僅在0.03 %以內,但口徑1.699 mm的噴嘴則出現較顯著的差異,最大差值達0.15 %。為釐清問題,雙方分別以各自的標準流程執行內部系統間一致性驗證,結果顯示系統一致性良好,顯示口徑1.699 mm的噴嘴的校正差異可能來自傳遞標準件本身於校正期間的穩定性而非來自系統問題。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170703
48 能力試驗指定值選用方法之分析-以塊規校正為例 依據ISO/IEC 17043:2010,能力試驗係指經由實驗室間比對,按照預先制定的準則評估參加者的能力,故預先制定的準則對參加者表現評估影響甚大,其中用以決定參加者能力之能力試驗計畫受測量或特性之指定值與其標準不確定度即扮演評估準則中的關鍵角色。而依據ISO 13528:2015,能力試驗之指定值與其標準不確定度可依計畫種類與目的,選擇不同決定方式。為探討不同指定值決定方式之影響,本文將以塊規校正能力試驗為案例,分別以參考實驗室指定值及參加者結果共識值之不同方式,分析參加者表現評估結果之變化。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170703
49 鉛金屬塊材純度分析方法之建立 鉛目前運用在鉛蓄電池、半導體產業、管道與放射線防護等用途,而鉛的純度會直接影響產品製作的品質,因此需建立鉛金屬純度的分析方法。感應耦合電漿質譜儀因具有高靈敏度、快速與樣品用量少等優點,因此,廣泛應用於超微量金屬不純物之量測。本研究即使用感應耦合電漿質譜儀進行鉛金屬純度分析,由結果得知,鉛金屬分析時需稀釋至10 ppm,才能解決基質抑制的問題,同時,利用標準添加法可求得鉛溶液中其他金屬不純物的濃度,經計算後,本研究中鉛塊材純度為99.9939 %。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170701
50 APMP.AUV.V-K2關鍵比對報告 APMP.AUV.V-K1.1振動關鍵比對編號,更新為APMP.AUV.V-K2,其中參與之實驗室有台灣CMS-ITRI,泰國NIMT與新加坡A*Star等三家. 根據第10次CCAUV會議結論,此比對中因只有主導比對實驗室日本NMIJ參加過CCAUV.V-k2比對,故比對結果可透過NMI進行連結.此次比對其頻率範圍40 Hz至5 kHz,加速度容許範圍為10 m/s2 to 200 m/s2.考慮激振器電樞高頻效應與擴充不確定度,其各國比對結果顯示與CCAUV.V-k2比對參考值具有一致性. Metrologia 20170630
51 原子力顯微鏡之細胞剛性研究 細胞剛性的變化作為生物標示,以識別癌症細胞,已成為可能。最近的研究顯示,無論何種類型的癌症,癌細胞的剛性較小於正常細胞的剛性。藉由原子力顯微鏡,細胞剛性的變化可以被清楚檢視與量測。同時,原子力顯微鏡提供在腫瘤發展時,各階段表徵的變化,藉此,觀察異常細胞形態組織學。 International   Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces 20170629
52 通過spICP-MS與氣體交換技術分析特種氣體中的微量元素雜質 特殊氣體,如氨,氯化氫和氟化氫,被廣泛用於半導體加工。氣體中存在的顆粒和金屬雜質可能對最終產品的品質產生不利影響。因此,粒子監測和分析對半導體行業至關重要。Impinger是一種常用的收集器,用於捕獲,預濃縮和消化氣瓶中的顆粒,而對於直徑小於微米的顆粒,收集效率低於20 %。通過ICP-MS對NH3等特種氣體的直接分析是一個很大的挑戰,因為NH3可以與取樣水反應形成NH4OH,導致等離子體不穩定或在分析過程中熄滅。最近,將單粒子電感耦合等離子體質譜(spICP-MS)技術應用於粒子分析,並且許多研究已經建立了一套用於定量各種類型的納米粒子的spICP-MS的計量標準。在本研究中,spICP-MS用於直接分析氣瓶氣體中的金屬顆粒。為了防止等離子體淬火,應用氣體交換裝置(GED)去除氣體基質。氣體交換效率優化後,研究了氨氣中雜質的組成。建立方法的檢測限度比傳統的衝擊法低至少100倍,可以應用於在輸送氣體中對顆粒污染物進行在線監測,而無需大量氣缸氣體消耗。 台灣質譜年會暨學術研討會 20170629
53 利用spICP-MS技術分析超純級溶液中微量金屬顆粒雜質 在半導體器件的整個製造過程中使用許多化學物質。例如,氫氧化銨和過氧化氫是SC1清洗過程的常用試劑。   SC1清洗工藝是從晶圓表面去除表面污染物的重要步驟。然而,通過高pH SC1處理的污染物去除通常導致金屬沉積,這可能對元件性能造成不利影響。此外,存在於化學品和化學混合物中的金屬雜質可能導致污染並引起最終產品中的缺陷,因此必須嚴格控制其水平。在尺寸小於90 nm結構的生產中,工藝化學品中所需的雜質濃度水平為1-10 pg / g。對於供應商和晶圓製造商的過程控制,需要開發1 pg / g或更少雜質的新分析方法。在本研究中,證明了用於直接分析過程化學品(包括氫氧化銨、過氧化氫和氫氧化四甲基銨)的單粒子電感耦合等離子體質譜(spICP-MS)。金納米顆粒用作校準的標準,金納米顆粒在不同試劑中的檢測限小於10 nm。此外,發現Fe和Al納米顆粒存在於那些工藝化學品中,濃度在ppt水平。在本研究中獲得的結果表明,spICP-MS是可以測量各種基質中的顆粒的強大工具。 台灣質譜年會暨學術研討會 20170629
54 利用原子力顯微鏡檢測細胞剛性 細胞剛性變化已經成為識別癌症影響細胞的生物記號[1]。最近的研究表明,癌細胞的硬度小於正常細胞,無論癌症類型如何[2]。使用諸如原子力顯微鏡(AFM)[3,4]等技術可以測量細胞剛性損失的輛,並且可以顯現出腫瘤細胞發展過程中的表現型態[5]。與正常細胞相比,腫瘤細胞經常與正常細胞競爭或存在於正常細胞之外的生態。環境組織學觀察到異常的細胞形態[6-9]。外形或剛性損失起因於內部細胞骨架喪失[10-13],並允許癌細胞遷移並適應其他組織[14,15]。異常表現或異常細胞骨架的組合與腫瘤發生,相關藥物如紫杉醇靶向細胞骨架的成員,包括微管蛋白,並用於癌症治療[16]。在這項研究工作中,AFM用於直接在活細胞上探測單細胞水平的細胞剛性,免疫染色用於測量培養細胞和體內細胞骨架的表達和分佈。使用AFM(Bruker)和四邊形金字塔形尖端測量細胞硬度。探針尖端(DNP-10)為氮化矽材質,懸臂長度為205mm,尖端半徑為20nm。標稱懸臂彈簧常數k為0.06 N / m,估計空氣中的共振頻率為f = 12~24 kHz。在每次測量之前,每個探針的彈簧常數k通過在硬質基底上壓痕來校準。然後,使用熱調法(thermal tune   method)確定彈簧常數。在每次測量之前將細胞鋪板超過12小時,並在室溫下進行測量,並將探針頭浸在無血清培養皿中。最初在細胞周圍掃描20×20um2面積,並且在8×8um2區域內測量細胞硬度。從每個測量的細胞推導出64次力曲線。然後將Sneddon的模型擬合到每個曲線,並使用Kruskal-Wallis測試推導出相應的模量,並使用Dunn的多重比較進行後驗。me_HR轉化的MSCs發育成腫瘤在體內以無性繁殖的方式擴增。AFM檢測到me_HR轉化的MSC中的剛性喪失,而免疫染色檢測到微管蛋白表達減少和無組織的F-肌動蛋白。DNA甲基化抑製劑的使用足以抑制腫瘤進展,但在me_HR轉化細胞中沒有完全恢復肌動蛋白的組織和剛度。我們的數據表明,me_HR誘導的細胞轉化伴隨著細胞僵硬的喪失,並表明體細胞表觀遺傳改變可能在腫瘤傳播期間提供可遺傳的選擇標記。然而,致癌異常DNA甲基化的抑制不能完全恢復細胞僵硬。因此,剛性是報告細胞生理狀態的候選生物指標。 International   Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces 20170627
55 在藍寶石(0001)表面上佈置奈米結構之步階排列以建立易於使用的次納米級高度(Z軸)標準規格 精準的測量在半導體業界是很重要的。元件的尺寸不僅是在橫向上,在縱向上也不斷縮小。根據ITRS   2013,表面粗糙度不能超過2 nm,計量不確定度低於0.12 nm,FinFET製程參數測量要求[1]中FinFET高度的度量不確定度要求低於0.6 nm。元件運作的行為可能受到幾納米甚至原子尺度範圍內粗糙度或厚度變化的影響[2-3]。故需要確認粗糙度或厚度變化的維度以確保元件品質。原子力顯微鏡(AFM)是用於表徵納米和次納米尺度表面形貌的工具,因此AFM量測在半導體工業中變得越來越重要[4-5]。為了確定縱向尺寸測量的準確性,建立校準AFM z倍率的步高標準是必要的[6-7]。本研究透過在藍寶石(0001)表面上佈置原子台階高度來建立易於使用的次納米級步階高度(Z軸)標準規格。在圖樣化之前,通過AFM(L-trace,Hitachi)掃描樣品以檢查表面品質。 International   Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces 20170627
56 非游離輻射長期監測設備校驗技術研究 近十幾年來,隨著生活品質的提昇以及對環保意識的抬頭,民眾對於生活周遭的電力供應設施與無線通訊系統所產生的電磁波是否會對人體有不良的影響,一直是廣受關注的議題。早年的高壓電塔及電力變電設施向來是民眾特別關注的特殊環境設施。隨著民生用電需求的不斷增加以及新市鎮的開發,相關電力設施的建置依舊不可或缺。另一方面,行動通訊的迅速發展也為一般民眾的聯繫與溝通上帶來相當大的便利,大大改變了民眾的生活習性,成為民眾日常生活不可或缺的工具。雖然大部分民眾由這些科技得到生活上的便利,但同時也因為各類電力設施與行動電話基地台林立於生活周遭,而擔憂這些設施所產生的電磁波輻射是否會影響到人體。為改善此一問題,環保署乃規劃進行非游離輻射長期監測站的建置,期望透過監測資訊的透明與公開,來降低民眾對相關設施的輻射疑慮。為能確保長期監測數據的準確性與可靠度,本研究針對執行射頻非游離輻射長期監測的設備進行校驗方法的研究與研擬,同時提出監測系統建置的相關配套措施。研究成果除可引以作為環保署對環保相關單位所使用射頻非游離輻射量測設備定期校驗的執行依據與允收參考外,對於後續非游離輻射長期監測系統的建置與相關工作的落實,亦可作為作業規範擬訂的參考依據。 環境科技論壇 20170626
57 使用具溝槽雙變形薄膜改善CMOS-MEMS電容式壓力感測器靈敏度 本研究呈現藉由台積電0.18 微米1P6M CMOS-MEM製程技術完成的一個新型電容式壓力感測器。本研究設計的特點是利用雙變形感測薄膜來增強電容式壓力感測器的靈敏度。此外,具有溝槽的感測薄膜可以進一步降低薄膜之剛性,以提升靈敏度。具溝槽的雙邊變形薄膜的壓力感測器之靈敏度為0.26 fF / kPa (壓力感測範圍為20 kPa~110 kPa),與單一薄膜結構的設計相比,靈敏度提高了2.9倍。 International   Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 20170622
58 田口品質工程於露點計校正之應用 本研究探討國家度量衡標準實驗室於執行露點計校正時影響量測結果之因子,利用田口方法獲得最佳量測表現。依據不同的量測系統及待校件特性,存在各式各樣的因子影響量測結果,並控制在特定水準下,使量測條件處於最佳狀態,以便有效提昇量測值的可靠性。 品質月刊 20170615
59 (2500~3000)   nm光生物安全評估替代方法 隨著科技進步,高亮度之人造光源也逐漸普及,伴隨而來的是潛在的光輻射危害。現有光生物安全規範指出:   紅外線(2500 ~ 3000)nm之光輻射可能對角膜、水晶體、以及皮膚具潛在危害。目前建議之評估方式為輻射照度量測。然而由於該波段光輻射因環境水氣強烈吸收,造成照度量測的困難。本文針對(2500 ~ 3000) nm,提出兩種光生物安全評估之替代方法,期望以此輔助或取代輻射照度量測,實現準確評估光生物安全之目標。 International   Conference on New Development and Applications in Optical Radiometry 20170613
60 穿透霧度在APMP之先期研究 本篇論文主要為公布穿透霧度在APMP第一次先期研究的結果,並藉由結果分析在各實驗室中因使用不同量測系統所造成的差異原因。這次先期研究使用之儀器也是廣泛為業界和實驗室所使用之類型,因此比對中的數據差異凸顯了現階段標準文件的不足。 International   Conference on New Development and Applications in Optical Radiometry 20170613
61 使用單粒子感應耦合電漿質譜儀在氣瓶氣體中在線監測顆粒物 特殊氣體,如氨,氯化氫和氟化氫,被廣泛用於半導體加工。因此直接監測輸送氣體的顆粒污染是重要的挑戰。空氣採樣衝擊瓶是一種常用的收集器,用於從氣瓶中擷取和預濃縮顆粒,然後用ICP-MS進行分析。然而,對於直徑小於微米的顆粒,發現收集效率低於20 %。此外,諸如NH3的氣體將溶解在取樣水中並變成飽和的NH4OH溶液,其可以在ICP-MS分析期間立即熄滅等離子體。單粒子電感耦合電漿質譜(spICP-MS)技術最近被應用於粒子分析,許多研究已經建立了一套spICP-MS的計量標準,用於定量或定量各種類型的納米粒子。在本研究中,spICP-MS用於直接分析氣瓶氣體中的金屬顆粒。為了防止等離子體焠熄,應用氣體交換裝置(GED)去除氣體基質。氣體交換效率優化後,研究了氨氣中雜質的組成。該方法的檢測限度比常規衝擊法低至少100倍,可用於在不影響氣瓶氣體的情況下從輸送氣體中對顆粒污染物進行在線監測。 International Gas   Analysis Symposium & Exhibition  20170613
62 風場噪音量測與模擬 本文採用現場實測調查與戶外噪音模擬方式,進行陸域風場對於周遭的噪音影響範圍以及影響程度探討,戶外噪音模擬與噪音地圖是一種可快速建立風力發電機噪音影響與評估範圍之方式。而利用現場實測與軟體模擬的結果進行對照,得知在一個環境因素干擾較小的受體位置,噪音地圖的結果與現場實測數值有一定程度的準確性。在進行實測值與模擬結果的比較時,實測值表示是用時間率音壓位準L95的值。現場實測數值與模擬結果中,造成模擬結果與量測結果之差異主要來自於量測期間受到其他事件噪音之影響,在風力發電機所造成事件音明顯之調查位置點,使用模擬與量測方式所獲得之噪音值差異在5 dB(A)以內。 中華民國振動與噪音工程學術研討會 20170603
63 ANSYS   CFX應用於風力發電機流固耦合模擬技術建立與導入 本研究使用工程分析軟體ANSYS,來分析660 kw Vestas v47三葉形水平軸風機在風速 (15 m/s) 情況下其流固耦合之結構力學行為。研究中使用ANSYS下的   Workbench來進行流固耦合的分析,也就是計算流體力學軟體CFX與ANSYS結構力學軟體相互結合。並且根據不同的節距角、傾斜角和風速之間的關係,不同地形對應地面粗糙係數α。在流場區域的部分除了一般外圍流場域之外,則是在葉片轉子部分建立一為圓形的旋轉域流場,因為在計算流體分析的過程中葉片部分的設定是會旋轉,在入流風速的部分則是依照IEC61400-1採用之風速分佈方法為指數分佈,其公式為Vinlet = Vhub(Z/Hhub) α,來探討其葉片流固耦合之反應。在噪音的部分,則是希望透過研究了解到流場與壓力場的分佈,進而從事噪音問題的探討。 中華民國振動與噪音工程學術研討會 20170603
64 風力發電機噪音模擬及現場量測技術 本文主要展現依據IEC 61400-11[1]風力發電機噪音量測技術規範與環保署制訂之環境噪音測量方法 (NIEA P201.95C)[2]及使用ISO 9613-2[3]戶外噪音傳遞衰減模式三種方式,探討單一風力發電機噪音產生之特性與傳遞現象,藉由不同距離位置、不同風速與風機操作條件之噪音進行分析說明。調查結果中發現,在風機運轉條件達到最大發電量時,風機發電量與轉子速度約成定值,發電量不隨風速增加而提升;而在額定發電功率20 %至80 %間,風機噪音量與發電量成線性正比關係:在調查數據中發現環境噪音量(風噪音)與風速呈一次線性正比關係。隨著風速與距離增加之噪音傳播條件下,風力發電機之噪音(事件音)會被強風所造成之風雜音(背景噪音)所覆蓋,造成量測實驗與模擬結果差異隨風速與傳遞距離增加而增加。 台電工程月刊 20170531
65 利用極低頻原級振動校正系統評估MEMS加速度規及無線傳輸技術 為了提供客戶端半導體代工廠更可靠的校正MEMS加速規的方法,NML改善極低頻主振動校正系統,並運用這極低頻振動校正系統測試了三種加速規,即ADXL,PCB   356A15和QA3000等三種振動感測器。與PCB 356A15和QA3000不同的是,MEMS型加速規ADXL僅在100 Hz以下才有較佳的訊號輸出。另外,將三種加速規連接到NI無線傳輸模組,以減少振動監測期間傳輸線的安裝不便。結果表明,在低成本考量下,我們將使用MEMS加速規可運用在100 Hz以下的振動量測。 IMEKO TC3, TC5 and   TC22 International Conference 20170531
66 國際計量學詞彙-基本和通用概念及相關術語(VIM   3)介紹 計量學係為量測及其應用的科學,故計量涉及的領域相當廣泛,舉凡長度、電量、溫度、質量、化學、流量等量測領域,甚至擴及臨床醫學、生物學、工程學、食品科學、法律科學、微生物學等皆廣為計量學之範疇,這些範疇亦與社會大眾的生活息息相關。計量各領域有許多量測概念與專門術語,在大部分領域,基本量測原理原則上沒有實質的差別,但量測理念與陳述方式卻可能存在差異性,因此在計量術語的使用上可能不一致,以致產生在跨領域、國際性或組織內的溝通、相互合作、制定規範等活動上的阻礙與困擾,有鑑於此,制定一份關於計量學基本和通用概念及相關術語定義的國際標準文件有其相當必要性。在國際計量相關組織的努力下,於1993年發行「國際通用計量學基本術語」第二版標準文件,後續亦基於社會上的需要及考量計量標準各領域的新成果,在2007年發行第三版「國際計量學詞彙-基本和通用概念及相關術語」(ISO/IEC Guide 99:2007, International vocabulary of metrology-Basic and general concepts and associated terms,以下簡稱VIM 3),此新版本除了加入許多計量新術語、更新與刪除原版本不適用之術語外,更將適用範圍由原版本以物理、電量領域為中心,擴大至臨床醫學、生物學、工程學等更多計量領域。為了能將VIM 3介紹給國內計量領域相關人員,本文將摘錄與陳述VIM 3之詞彙與其定義,期許計量的新觀念和術語普及於國內,以能和國際計量接軌。 標準與檢驗 20170530
67 應用簡易微流體搭配影像分析技術於自然水體中鉻離子快篩檢測 鉻(Cr)引起的環境污染與鋼鐵、皮革、顏料和橡膠工業等工業活動密切相關。一般Cr會以三價陽離子型態(Cr(III))或六價陰離子(即Cr(VI))存在於環境中。Cr(III)在蛋白質和脂質代謝中是必不可少的。相比之下,Cr(VI)物質能夠誘導脫氧核糖核酸(DNA)損傷,導致潛在的細胞轉化效應。考慮到Cr(III)物種易於在環境中轉變成較具毒性之Cr(VI),因此,Cr的濃度測定對於環境生態至關重要。近幾十年來,基於微流體的技術已經成為分析工作的流行方法,因為它們具有獨特的優點,例如低試劑、便攜性、低製造成本和多功能設計。在幾種以微流體為基礎的技術中,離心微型設備受到廣泛的關注。與小型系統中的流體操作方法相比,樣品/試劑溶液可由離心力驅動,而不使用任何其他泵送設備。在本研究中開發了一種離心裝置,包括葡萄糖胺填充固相萃取柱和通道內流量控制閥。將開發的離心裝置連接到簡單的圖像分析工具後,可以快速測定天然水中的Cr。 分析技術交流研討會 20170527
68 自製偏振雷射干涉儀模組研究 本研究說明開發自製偏振雷射干涉儀,量測相對距離的技術,自製偏振雷射干涉儀為可攜式模組,偏振雷射干涉儀使用單頻雷射(波長633 nm,功率1.5 mW) ,透過偏振原理降低雷射能量損耗,偏振雷射干涉儀以麥克森干涉原理為基礎,整個偏振雷射干涉儀有四個光偵測器,主要目的為解決直流漂移,由史密斯觸發將弦波干涉訊號觸發成方波訊號,干涉訊號以計數原理計算移動的距離。偏振雷射干涉儀驗證結果顯示:量測距離大於25 mm,誤差等於0.3 μm,量測解析度等於0.08 μm,可量測到反射鏡移動最快速度0.4 m/s,未來此研究成果可以應用於工具機檢測。 精密機械與製造科技研討會 20170519
69 剪切式加速規結構設計與驗證 壓電式加速規是目前工業界最常使用之振動量測感測器,其中壓電之剪切式加速規具有電荷輸出不易受環境溫度變化及基座變形影響的特性,因此本文即以剪切式加速規進行設計與驗證作一描述。剪切式加速規結構,基本內部構造主要包括慣性質量、壓電材料、基座結構與內置型電荷放大器等。經由不銹鋼暨鎢銅慣性質量塊與壓電材料選用設計、有限元素軟體分析、加速規雛型製作配合內置型電荷放大器及最終之動態性能驗證,運用空氣軸承型式激振器進行頻響試驗與靈敏度測試,其製作完成之雛形加速規共振頻率可達15 kHz,當頻率低於4 kHz,振動頻率響小於5 %,其已達到初步之工作目標。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170501
70 氨氣中金屬粒子線上量測技術之建立 在半導體製程線寬逐年縮小的趨勢下,原物料的純度分析顯得日益重要,其中又以高反應性製程氣體(如︰氨水、氟化氫、三氯矽烷等)的純度分析格外受到重視,愈來愈多氣體供應商關心氣體中金屬元素不純物及金屬粒子濃度的量測,本文即簡介過去幾年來在金屬及金屬粒子不純物的量測方式及最近量測技術發展中心所發展的一套線上氨氣中金屬粒子量測技術,此技術結合了超音波霧化器 (ultrasonic nebulizer; UN)、氣體交換裝置 (gas exchange devices; GED) 與單一顆粒感應耦合質譜(single particle inductively coupled plasma mass spectroscopy;   spICP-MS),不僅解決了樣品氣體造成電漿不穩定的現象,還縮短總量測時間、節省樣品使用量,對不同元素的粒徑偵測極限皆< 30 nm 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170501
71 頻率穩定之微共振腔光梳與其實用化開發技術 利用光學微共振腔進行高密度分波多工之光通訊光源具有取代多個雷射的優勢,目前尚未有真正落實可攜式實用化的應用。本文以自製的錐形光纖(傳輸率>80 %)和品質因子 Q 值>10^7 的熔融石英微共振腔為基礎,產生100 GHz 頻率間距的光梳。藉由間接的膠黏與封裝搭配防震方式,整機裝箱後以計程車載到 7 km 遠的場域進行光梳可靠性與品質測試,結果顯示光梳仍可持續穩定產生。未來可做為光通訊光源或光通訊頻段之光譜儀進行快速自動檢測. 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170501
72 NML 高壓氣體流量校正系統改良 原陣列噴嘴更新為七個噴嘴皆為相互獨立管線的噴嘴組,新噴嘴的喉部直徑範圍由2.312 mm至11.56 mm,具有實際體積流率範圍由3 m3/h至75 m3/h,三個最大流率噴嘴必須同時操作,以達到系統最大流率。另有二個噴嘴組裝於獨立式噴嘴組下游,充當查核流量計。新噴嘴組經由原級的陀螺儀秤重系統校正,確認噴嘴操作在層流及擾流二個區域,並且轉折點發生在雷諾數約106處,轉折點的雷諾數和噴嘴喉部直徑呈正相關。透過一部6吋的渦輪流量計和PTB進行非正式的雙邊比對,在測試的流率範圍內,所有的等同值(Equivalent Value,En)都小於一,代表系統宣稱的擴充不確定度0.19 %是適當的。藉著組裝二部加熱器,以改善校正過程的熱損失,將是後續的改良工作 天然氣應用與計量研討會 20170420
73 工業白金電阻溫度計-50 °C to   400 °CAPMP.T-S6比對總結報告 APMP. T-S6工業白金電阻溫度計比對係於2009年7月~2011年4月間執行,由馬來西亞NMIM、澳洲NMIA、韓國KRISS一起主導。本比對開放給所有APMP會員參加,共有16個NMI參加以提昇校正與量測能量(CMCs),比對件由三個主導國提供,比對的溫度分別為(0,-50,-30, 0, 100, 200, 300, 400, 0) °C,分成三個迴圈進行。所有提交的數據在標稱溫度下進行調整,通過鍊結NMIA和KRISS,作為所有三個循環的參考值,可以比較來自不同循環的參與者的溫度偏差。   Birge Ratio的排除方法包括每個循環分析的所有排除結果,並且通過En數值總結了每個參與者的量測能力。 Metrologia 20170331
74 超音波式流量計壓力效應研究 本文係就台灣中油公司煉製研究所(煉研所)氣體大流量校正實驗室使用為工作標準件之四部超音波式流量計(Elster-Instromet/Q.Sonic-4 Series-IV QL),研究在不同工作壓力下,流量計藉由外部輸入對應之工作流體密度來進行內部雷諾數(Reynolds, Re)等參數修正所得到之壓力效應修正效果。此四部超音波流量計係於10   bar壓力下追溯校正至國家度量衡標準實驗室,之後便藉由設定工作壓力對應之空氣密度來進行客戶流量計的校正工作。往例研究指出,超音波式流量計由於無被動組件,傳遞之超音波經流場速度分佈修正後應可有效反應壓力效應所造成的影響進而進行計量體積值的修正,但超音波式流量計的內部參數修正方法屬於流量計製造商的關鍵技術與商業機密,修正的效果仍須透過實測來瞭解。本研究透過一台德國聯邦技術物理研究所(Physikalisch Technische Bundesanstalt, PTB)所提供的6吋渦輪式流量計(Elster-Instromet/TRZ-IFS   G650)為標準流量計與煉研所四部超音波式流量計分別於工作壓力10 bar與50 bar下進行比對驗證,探討此型超音波式流量計之壓力效應修正效果。研究結果顯示煉研所的四部超音波式流量計透過流體密度修改後與PTB的渦輪式流量計比對器差為 ± 0.2 %以內。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170331
75 利用X光反射儀及電子顯微鏡評估超薄之高界電多層膜厚度量測 高界電材料可用來增加介電厚度並減少短溝道效應。   HfO2則是最廣泛使用的材料。應用金屬柵極來代替多晶矽柵極耗盡效應和反型層。對於下一個世代而言,高界電金屬柵極厚度將降低到幾納米,以提高其性能。然而,光學測量方式之分辨率已不足以使用。因此,利用低略角之X射線反射技術,可以檢測薄膜的密度,厚度和界面粗糙度。然而,穿透式電子顯微鏡可以提供準確的結果,但由於高界電層和高電子對比金屬層的邊界卻不能精確定義。在這研究中,藉由低略角X射線反射技術量測超薄高界電金屬多層膜並確定其邊界。所以,與穿透式電子顯微鏡相比,低略角X射線反射技術可以提供更有效和更快速之量測。總之,非破壞性低略角X射線反射技術方法可以作為強大的計量工具,提供快速與準確的測量,展示了其在未來半導體線上檢測中之高應用潛力。 Annual Conference on   Engineering and Information Technology (ACEAIT) 20170329
76 製備不同尺寸金-磁鐵礦蛋殼奈米反應器及其硝基芳烴化合物催化還原之應用 本研究利用熱分解法進行金-磁鐵礦蛋殼結構催化劑之製備,以五羰基鐵作為前驅物,在2.5-10 nm金核粒子表面形成磁鐵礦殼層,並應用於硝基芳烴化合物之催化還原反應。所製備而得之金-磁鐵礦蛋殼結構的粒徑約在8-15 nm,磁鐵礦殼層厚度約2.0-2.4 nm。其中,磁鐵礦殼層可保護金核奈米粒子,避免其在催化2-硝基酚、4-硝基酚、4-硝基甲苯及氯硝基苯時所產生的聚集,並維持催化活性,同時,因磁鐵礦具有磁性,因此可用於磁性回收。在催化反應中,金-磁鐵礦蛋殼結構的催化活性與金核奈米粒子的粒徑及硝基芳烴的官能基息息相關,實驗結果顯示,吸電子官能基的還原反應速率是供電子基的2.3-2.6倍,除此之外,硝基芳烴的還原催化反應為表面反應,且其行為符合Langmuir;Hinshelwood動力學模式。金-磁鐵礦蛋殼結構具有磁性回收能力及高達5次以上的再使用率,本研究的結果顯示所開發的金-磁鐵礦異核結構材料具有獨特的物化特性,並兼具回收再利用的優點,同時可應用於不同的異相催化反應及其他污染物,實為一相當值得開發應用的奈米催化劑。 Journal of Physical   Chemistry C 20170313
77 壓電型與MEMS加速規之振動量測技術 為迎接物聯網時代,感測器的型態也不斷演進。以加速規來說,從原先的壓電型也發展出MEMS型加速規。隨著低成本MEMS加速規的蓬勃發展,挾帶著體積微小的優勢,其應用日益廣泛,許多人預期MEMS加速規將有機會取代傳統壓電型加速規。然而在工業應用時卻有值得注意的地方。本文主要介紹壓電型加速規(市售與自製)和MEMS加速度感測器之工作原理與感測機制,分別將兩種加速規放置於振動校正器量測其振動位移量,同時利用NI無線傳輸組,搭配自行開發LabVIEW軟體,使自製加速規與MEMS加速規連結無線傳輸技術,透過無線感測網路(Wireless Sensor Network, WSN)傳輸振動訊號,以模擬智慧工廠中,監控馬達異常振動的感測器。經實驗可知,MEMS型加速規在量測加速度數據時差異較大,較不建議使用在廠房監控,若需進行廠房振動監控時,則建議選用壓電型加速規為佳。未來如何即時確認加速規之電壓靈敏度將是智慧工廠發展一大關鍵技術。 機械資訊 20170310
78 力量傳感器之校正不確定度分析 力量的量測(如拉伸或壓縮)廣泛地應用於工業上,其應用範圍涵蓋材料測試、工業秤重、引擎推力量測與橋梁軸承負荷等。對於力量量測的不同應用,各有其不確定度的要求,且用於力量量測的儀器設備,必須可追溯到力量的SI實現單位(即:牛頓)。目前國內校正實驗室(通常經由財團法人全國認證基金會(TAF)認證通過)多採用力量傳感器比較式力量校正機(以下簡稱力量校正機)校正力量測儀器(如力量傳感器、檢力環等),本文以國家度量衡標準實驗室之力量校正機為例,闡述其用於校正力量傳感器的量測結果與不確定度估算,並以EURAMET   cg-4 [1]規範所載方式估算所有的不確定度貢獻。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170301
79 Ruska   2465低壓活塞壓力計原理與不確定度分析 活塞壓力計(piston gauge)又稱為重錘型壓力計(dead weight tester)或是壓力天平(pressure balance),可分為氣壓式與液壓式,是一種長期穩定性極佳的壓力校正儀器。本文以Ruska 2465氣壓式活塞壓力計為氣壓標準,探討其量測原理,並建立錶示壓力模式之量測方程式,同時針對壓力範圍為170 kPa之低壓活塞壓力計進行不確定度評估。評估結果顯示,於錶示壓力模式下,以Ruska 2465低壓活塞壓力計校正數字型壓力計之最小不確定度為0.006 kPa (信賴水準約為95 %)。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170301
80 奈米壓痕材料機械性質量測分析與應用 奈米壓痕量測技術為量測材料機械性質之重要方法,利用已知幾何形狀與材料性質之鑽石探針,壓入待測材料表面以產生壓痕,再依據壓痕過程中施力與位移量測數據,計算獲得材料之硬度(hardness)   與減縮模數(reduced  modulus)。因此,奈米壓痕傳感器的力量與位移量測能力需經校正評估才能確保提供準確的量測服務。本文說明如何對奈米壓痕系統進行評估及其量測應用,經評估當施力範圍小於10 mN,壓痕深度在50 nm 至300 nm 區間時,在95% 信賴水準下,硬度及減縮模數相對擴充不確定度分別為2.7 % 與3.1 %,涵蓋因子為2。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170301
81 氣體動態膨脹真空量測標準與技術 工業技術研究院量測技術發展中心,根據DIN 28418與ISO/TS 3567國際標準規範,建置了一套直接比較式氣體動態膨脹真空量測系統,經過一年之系統評估後正式提供業界之真空計量測服務。依據ISO/IEC Guide   98-3:2008分析各誤差源及標準不確定度,並計算擴充不確定度,最後訂出本校正系統的校正能量。當標準件為離子真空計(IG)時,校正範圍從4×10-6 Pa 至8×10-3 Pa,在95 %信賴水準,涵蓋因子k = 2下,擴充不確定度從3.27×10-7 Pa至5.03×10-4 Pa;當標準件為旋轉轉子黏滯式真空計(SRG)時,校正範圍從6×10-4 Pa 至2 Pa,在95 %信賴水準,涵蓋因子k = 1.98下,擴充不確定度從1.76×10-5 Pa至5.85×10-2 Pa。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170301
82 油流量關鍵比對APMP.M.FF-K2.a   總結報告 本次油流量關鍵比對APMP.M.FF-K2.a,為APMP流量技術委員會承辦,由日本NMIJ/AIST所主導之亞太區域性比對。關鍵比對的目的在展示參與實驗室(CMS、澳洲NMIA和日本NMIJ)於油流量標準的一致性,也連結到CCM.FF-K2的關鍵比對參考值(KCRV),並提供參與實驗室在亞太區域宣稱的校正和量測能力(CMCs)的佐證。傳遞標準件選用1台螺旋型正位式流量計,傳標準件的特性與穩定性由NMIJ重複量測評估。在各實驗室於傳遞標準件不確定度的表現,顯示其有高度的特性及很好的重複性。CMS與NMIJ之間的En值具有一致性,但NMIA有部分的En值介於1至1.2,標示“警報”。 Metrologia 20170201
83 國家重力基準與重力測量 現代化國家在科學經濟發展中,舉凡航空太空技術、土木工程、海洋科學、度量衡力量標準等領域,皆需應用地球重力場(Gravity Field)資料,並且重力也是國土監測、資源探勘及環境變遷評估等之重要參數。內政部於新竹市十八尖山建立「國家重力基準站」,站內設置高精密重力設備,包括奈米級超導式重力儀、絕對重力儀及各型相對重力儀,另也設置衛星定位儀、氣壓計、溫度計、雨量計及水位計等多項之環境感測器,有效評估與監測微量重力值變化。國家的測繪基準(Datum)係指國家測繪體系的參考標準,測繪基準包含有參考標準值、參考框架、坐標系統等參數,係實施國家建設、規劃土地利用及保障人民權利之重要依據。內政部自1993年起陸續引進高科技技術及設備,完成測繪基準,包括大地基準、高程基準以及重力基準。其中,大地基準以衛星追蹤站來架構基準的實踐,高程基準以臺灣水準原點為計算基礎,作為實施全國測繪之依據。以下簡介闡述國家重力基準的建置與應用。 科學月刊 20170125
84 小型化兆赫時域頻譜分析系統 兆赫(Terahertz ; THz)頻率介於可見光與微波之間,已被廣泛運用於各種材料的非破壞性檢測與影像分析。國外雖有販售應用兆赫波技術的商品化產品,然而其價格仍顯昂貴,本文則利用平行兆赫光束的架構建立一個小型化、成本較為低廉且容易對光的兆赫時域頻譜分析系統,系統尺寸為48 cm x 34 cm x 18 cm (寬 x 長 x 高),量測頻寬可達3.5 THz,並藉由量測葡萄糖粉末之吸收頻譜,以確認系統的量測能力。此外,我們更進一步利用光纖雷射作倍頻,製作出含光源之可攜式兆赫時域頻譜分析量測系統,以供其他應用研究使用。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170101
85 5 kNm扭矩原級校正系統建立 國家度量衡標準實驗室於2016年新建之5 kNm扭矩之雙天平靜法碼式扭矩標準機,是為了實現扭矩追溯的原級標準,工作原理是以兩層累加式靜法碼機構為施力基準;以等臂天平之臂長做為力臂長度基準,以刀刃和對應刀座作為雙天平臂長的支點,等臂槓桿的兩邊也以刀刃-刀座連接左,右的靜法碼組,並使用雷射干涉儀量取平衡點,   可達對擴充相對不確定度小於0.03 % 扭矩標準的要求,該系統主設計是由量測中心(CMS)執行,滿足相對擴充不確定度小於0.03 %扭矩品質校正的需要,也符合台灣產業扭力標準追溯與校正的需求。為了產生相對擴充不確定度小於0.03 % 扭矩品質。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170101
86 超精密加工機刀具路徑精度補正技術 為了提高超精密加工機B 軸的對刀精度和效率,本研究依據B 軸向對刀誤差所導致之刀具位置偏差,基於3 點座標反推圓心的原理,提出了一種可量化的B 旋轉軸對刀標準流程,並建立一套刀具路徑補正數學模式。實驗驗證包含:(1) 視覺系統B 軸向對刀;(2) B軸向補償加工技術;(3) 建立誤差補償數學模式,並依實驗分析之誤差量來進行刀具路徑精度補正,可降低加工形狀誤差。實驗結果顯示經使用刀具路徑精度補正技術於球面切削上,可降低約50 % 之形狀誤差,因此本文所提之刀具路徑精度補正技術將適用於超精密切削加工,且對刀的精度是可以被預測和控制。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20170101
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