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104年論文發表

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1 智慧電網之動態電力計量標準研究 動態能源及非穩態負載,將嚴重污染電力品質,因此需要動態量測技術來準確計算電功率與電能成分,以完善電力品質分析,並確保電力使用者的公平性計費。然而目前主流的電力量測方法,為採用傅立葉轉換之電力演算法,在動態電力(非週期性)量測有較差的解析。本研究以小波轉換為基礎設計一動態電力量測演算法,並完成一動態負載之電力量測平台。本研究採三種方式,包含(1)IEEE Std. 1459-2010電力定義量;(2)典型動態電能檢測波形;(3)IEC 61000-4-30量測標準,來模擬及實測驗證小波轉換用於動態電力量測的可行性。 中華民國電力工程研討會 20151212
2 使用LaserTRACER進行ISO規範測試結果與工具機線性定位誤差之關係探討 ISO 230-2與ISO 230-6常用於進行工具機線性軸的定位準確度和重複性的測試。自動追蹤雷射干涉儀(ATLI)可應用於ISO 230-2與ISO 230-6的測試,測試項目包含X軸、Y軸、Z軸的定位準確度與重複性,以及XY平面、YZ平面、XZ平面和XYZ對角線的定位準確度與重複性。LaserTRACER是ATLI的一種。使用ATLI進行ISO 230-2/-6進行測試時的其中一個步驟是求得ATLI相對於工具機工作零點的位置。在計算ATLI的相對位置時,工具機的定位準確度將會造成誤差。為了確認這個誤差所造成的影響,本研究進行了三項實驗。實驗結果顯示,機台的定位誤差將出現在測試結果中。 The International   Conference on Computing and Precision Engineering 20151129
3 以熔融石英微共振腔為基礎產生緊緻型光頻率梳的可行耦合設計 我們以Q ~ 10^7的熔融石英微共振腔,產生2.5 nm間距的光梳,其中用了一個電磁鐵作為一個光纖耦合移動台和微共振腔之間短暫的聯接,以完成一個可攜式的設計。 Asia Communications   and Photonics Conferencen 20151122
4 迴路式熱管技術於顯示卡的冷卻 為了開發顯示卡冷卻用的迴路式熱管散熱器,小型化的迴路式熱管已被製造並測試。測試結果證明了其潛力與高達170 W下的功率應用之穩定操作性。在170 W時,其最小熱阻值為0.275 °C/W。同時在這發展中得知,影響其散熱性能的主要因素可分為三個部分:散熱器、不同的冷凝器類型、與蒸發器與毛細結構的設計。目前該迴路式熱管的開發還尚未達到其潛在的改善方向。對於高功率的電子冷卻與小管徑的長距離熱傳輸,迴路式熱管仍然是相當有效的元件。 中華民國力學學會全國力學會議 20151121
5 利用數種量測技術進行化妝品及食物中之奈米粒子粒徑比對 隨著國內奈米材料在各領域蓬勃發展,如半導體、光電、醫藥、日常生活用品等,環境與健康安全等議題逐漸被人們所重視。而奈米的相關量測技術,便扮演著很重要的角色。衛生管理單位將進行檢測方法與規範制定,來確保該等產品之品質、安全及有效性。因此,量測中心與衛生福利部食品藥物管理署合作,舉辦國內奈米粒徑量測比對含奈米物質化粧品與食品先期比對研究。本次比對樣本,包括含奈米級二氧化鈦化妝品、二氧化鈦標準品以及奈米鈣(碳酸鈣)等,其中奈米級二氧化鈦化妝品與奈米鈣為市售商品,二氧化鈦標準品則作為與化妝品的比較。使用儀器有,掃描式電子顯微鏡,動態光散射儀,穿透式電子顯微鏡,X光繞射儀等等。最後,透過此活動的實行,共同研究與探討相關技術課題,以作為未來相關單位規範時之參考資料。最後比對報告與結果,將做為未來國內推動相關法規與建立檢驗標準之參考與重要依據。 International   Conference on Fundamental and Applied Science 20151105
6 以凝核粒子計數器於每立方公分單一奈米粒子偵測之可追溯性校正 凝核粒子計數器廣泛被用於監測奈米級氣膠粒子之數量濃度。凝核粒子計數器的偵測效率一般都是在數量濃度每立方公分1000顆至10000顆時追溯至法拉第杯電流計。然而,根據ISO 14644文件對無塵室規範的定義,在等級6時,粒子的數量濃度必須少於每立方公分1顆。因此,對於凝核粒子計數器於非常低的數量濃度下之校正需求,我們發展出一套新的校正系統以提供每立方公分單一奈米粒子之可追溯性校正。此系統採用二級稀釋與遞迴校正法,並在每立方公分1000顆時追溯至法拉第杯電流計。經初步評估後,整體系統對凝核粒子計數器偵測效率的量測不確定度在每立方公分1顆時為3.25 %。 Annual Conference on   Enginnering and Technology 20151105
7 曲面光源之亮度影像量測 因為快速量測等種種優點使得影像式亮度計(ILMD)的使用近年來越來越普遍。然而即使經過平場校正,ILMD在量測曲面光源時仍會偏離實際值,此偏離在小曲率光源或非朗博光源時越加顯著。本文探討如何得到修正係數來提升ILMD在量測不同曲率光源時的準確性。因量測條件不同所造成的影像模糊現象亦在本文探討中。 Measurement Science   and Technology 20151104
8 國家度量衡標準實驗室之交流可編輯式約瑟夫森電壓標準量測技術 交流可編輯式約瑟夫森電壓標準 (AC programmable Josephson voltage standard;AC PJVS)系統可望取代傳統透過熱效電壓轉換器執行 AC 電壓校正的技術,成為次世代 AC 電壓原級標準。同時,AC PJVS 相關量測技術也是歐、美、日、中、澳等各先進國家計量院所積極投入研發之標的。因此,國家度量衡標準實驗室為使我國 AC 電壓標準技術達到與國際同步的目標,近幾年來積極投入相當的資源作 PJVS 系統改良,現已完成 AC PJVS 系統的建置,其量測範圍為 AC 電壓(0.1 至 7) V rms,量測頻率為 (10 至 400) Hz。本文將針對 AC PJVS 系統應用於 AC 電壓量測之相關評估結果作介紹,經評估以 AC PJVS系統執行 7 V rms 交流電壓量測(頻率為 62.5 Hz)得到之相對擴充不確定度為1.7 uV/V (k=2)。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20151101
9 精密旋轉主軸動態量測技術 為了評估旋轉軸的精度,描述運動誤差(Error   Motion)現象,本文提出旋轉主軸運動誤差分析系統,係使用三個三角雷射位移計作為感測裝置,配合自行開發LabVIEW設計的軟體,達到旋轉主軸運動誤差分析,並探討旋轉主軸之軸向及徑向運動誤差,最後得到同步與非同步運動誤差分離結果,實現旋轉主軸動態精度誤差之評估。可作為工具機主軸標準化及精度計量之工具。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20151101
10 BGA錫球共面度與缺陷檢測 本研究創新開發三維的相位移掃描量測技術並結合二維的影像處理方法,可同時量測球閘陣列封裝(BGA,Ball Grid Array)上錫球的間距與共面度相關資訊。在共面度量測方面,運用多線掃描技術,內含環形光與結構光兩種打光方式;環形光用來取得錫球的外輪廓,而結構光用來取得錫球的高度。利用高解析的相位移掃描技術計算球高,最後再與已經校驗過白光干涉量測儀相互比對,量測誤差小於0.01 mm。在缺陷檢測方面,使用自動光學缺陷檢測系統(AOI, automatic optical inspection system)進行取像,發展ROI(Region of   Interest)的圈選、閥值(threshold)的設定以及面積大小的篩選等影像處理技術,來檢測半導體封裝積體電路上的外來物髒污、底座刮傷、球傷與底座空洞等缺陷,最後依據廠商提供的多樣測試片進行實例分析。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20151101
11 雷射耦合石英微共振腔之緊緻型光梳產生設計 目前光學微共振腔已被廣泛應用於許多領域,例如感測、光梳的產生與雷射穩頻等,而具可攜式耦合與封裝之設計方可易於跨入這些應用。本文用一個電磁鐵作為雷射經錐形光纖耦合用之精密移動台和微共振腔之間短暫的聯接,封裝後將電磁鐵電流關閉即可完成分離,完成一個可攜式的雷射耦合微共振腔設計。以自製的錐形光纖(傳輸率>80 %)和品質因子Q值約為107的熔融石英微共振腔為基礎,產生2.5 nm間距的光梳。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20151101
12 以不同種類的雙鎖模雷射進行絕對距離量測之比較 我們研究以兩種類型的雙鎖模光纖雷射進行非同步絕對距離量測。這兩種雷射分別為線形和環形共振腔,重覆率則為70 MHz和100 MHz。群速度色散在第一種類型的雷射裡面並未被補償,而在另一種的雷射裡則被充分補償。以這兩種類型雷射量測1公尺左右的距離時,其時序紊亂度及平均約0.2秒時間內的艾倫偏差分別為2.5   ps及600 nm與1.6 ps及200 nm。結論可知在這兩種雷射裡,由於腔內色散所造成的相位雜訊是測距時不確定度的主要貢獻。 International   Federation for the Promotion of Mechanism and Machine Science World Congress 20151028
13 鉑銥公斤原器質量傳遞至不鏽鋼原級法碼的不確定度分析 本文介紹鉑銥公斤原器質量傳遞至不鏽鋼原級法碼的不確定度分析。其中鉑銥公斤原器於2015年4月7日由專人送至法國BIPM校正,校正回國後利用雙重替代法將質量傳遞至不鏽鋼標準法碼。計算兩顆法碼間的平均差值及空氣浮力的影響,得到不鏽鋼標準法碼的質量。使用的設備是Mettler-Toledo ITRI_ONE,其中空氣密度可以由溫度,壓力,濕度和二氧化碳濃度的環境參數來分析獲得。 Proceedings of Asia-Pacific Symposium on Mass, Force and Torque 20151027
14 利用濕氣腔體研究超收縮之大壺狀腺蜘蛛絲 蜘蛛絲是由蛋白纖維、晶體與無方向性二級結構所組成的天然纖維,因具有優異的機械特性(如高強度與極佳之延伸性)而廣為周知。在蜘蛛絲之中,大壺狀腺絲的特徵為自然界中最強的蜘蛛纖維之一。當大壺狀腺絲暴露在水中時,其絲具有收縮至少50 %的特性,該現象稱為超收縮。在本研究中,為了瞭解一般大壺狀腺絲在飽和濕度條件下的機械性質(引發超收縮),設計與開發一個搭配奈米拉伸測試儀器使用的新式濕度控制腔體。在測試過程中,腔體中的相對濕度可維持大於90 %。本研究亦收集二角塵珠的大壺狀腺絲,用以比較當蜘蛛棲息在不同程度風干擾下的絲性質。結果顯示,大多的超收縮蜘蛛絲拉伸特性並沒有顯著的不同,意味著蜘蛛可能透過改變後分泌過程來調整大壺狀腺絲。 International   Federation for the Promotion of Mechanism and Machine Science World Congress 20151027
15 模擬真實人體血壓波形之機械壓力產生裝置 本文介紹一模擬真實人體血壓波形之機械壓力產生裝置之設計、工作原理與實驗結果。 World Congress in   Mechanism and Machine Science 20151026
16 雷射追蹤儀空間定位計算之誤差探討 具自動追蹤功能的雷射干涉儀已被廣泛的應用於工業機器人、座標量測儀、工具機等的幾何誤差檢測中,雷射追蹤儀(LaserTRACER)即是針對座標量測儀與工具機的幾何誤差量測與補償所設計的高準確度量測儀器,其僅利用距離的量測結果,即可計算待測機器的幾何誤差。雷射追蹤儀於空間中的距離量測不確定度可達到0.2 μm + 0.3 μm/m × L,並根據ISO 230-2/-6與ISO 10360-2規範,開發有專屬量測程式以提升幾何誤差的檢測效率。由於幾何誤差的計算受到雷射追蹤儀的空間定位計算結果影響,因此本文主要探討在不同程度的定位誤差下,對於雷射追蹤儀的空間定位計算結果之影響,並以座標量測儀進行實際模擬與分析,同時說明雷射追蹤儀的操作方式。 International   Federation for the Promotion of Mechanism and Machine Science World Congress 20151026
17 主軸旋轉精度誤差分析技術 主軸旋轉誤差分析技術對於主軸品質評估而言是相當重要的技術。然而現有市售的系統相當昂貴且不易使用。本論文提出利用三顆雷射探頭進行量測,不僅可以達到需要的微米極精度,並且價格親民易於安裝。搭配自行開發的演算法實現主軸旋轉精度誤差量測系統。 World Congress in   Mechanism and Machine Science 20151025
18 曲面AMOLED顯示器的空間與方向光學特性 全面解析性量測方法可以幫助OLED顯示器製造者獲得空間與方向光學特性以改善其產品。本研究旋轉一商用曲面AMOLED顯示器,再取得相當數量之影像亮度,經過轉換實驗室座標至樣本座標,OLED顯示器之詳細光學特性得以系統化獲得。 International   Conference on Flexible and Printed Electronics (ICFPE) 20151023
19 石英共振腔器的耦合系統設計 目前光學微共振腔已被廣泛應用於許多領域,例如感測、光梳的產生與雷射穩頻等,而具可攜式耦合與封裝之設計更可易於跨入這些應用。我們提出一套製作小型化微共振腔的系統,以電磁鐵作為錐形光纖耦合用之三維移動台和微共振腔之間短暫的聯接,封裝後將電磁鐵電流關閉即可完成分離,完成一個可攜式的雷射耦合微共振腔設計。並以自製的錐形光纖(傳輸率>80%)和Q ~ 107的熔融石英微共振腔為基礎,產生2.5 nm間距的光梳,可作為可攜式的氣體分子光譜檢測,本文將對我們設計對位的機構作一說明。 AOI Forum & Show 20151021
20 高壓氣體流量校正系統標準追溯比對 本研究使用一部追溯自德國高壓氣體流量校正實驗室(pigsar)的DN150六音軌超音波式流量計(Elster-Instromet/Q.Sonic Plus),與一部追溯自國家度量衡標準實驗室(National Measurement Laboratory,   NML)之原級高壓氣體流量標準設備的DN150四音軌超音波流量計(FLOWSIC600/SICK)為傳遞標準件,再分別校正煉研所氣體大流量校正實驗室的四部工作標準件,工作壓力為20 bar至55 bar,流率範圍涵蓋100 m3/h至1120 m3/h,並比較四部C區工作標準件基於兩套標準追溯鍊所得到的結果。研究結果顯示四部C區工作標準件使用兩套標準追溯所得到的校正結果相當一致,差異小於0.2 %,僅在流率低於200 m3/h時出現較顯著差異。 中國石油學會石油季刊 20150923
21 高溫黑體源之研究 本文針對一種以紅外偵測器控溫的黑體爐進行校正能力評估,校正範圍由500 ℃到2000 ℃。黑體爐由一校波長為0.65微米和0.9微米的線性高溫計作為評估工具,溫度範圍由500 ℃到2000 ℃ 。黑體爐均勻性標準不確定度之評估結果為0.31 ℃和1.05 ℃,分別在溫度500 ℃及2000 ℃的狀況下。而短期溫度穩定性不確定度之評估結果為0.5 ℃和0.2℃,分別在溫度800 ℃及1700 ℃的狀況下。 International   Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
   
   
20150923
22 奈米化妝品與食物之奈米粒子先期比對 隨著國內奈米材料在各領域蓬勃發展,如半導體、光電、醫藥、日常生活用品等,環境與健康安全等議題逐漸被人們所重視。而奈米的相關量測技術,便扮演著很重要的角色。衛生管理單位將進行檢測方法與規範制定,來確保該等產品之品質、安全及有效性。因此,量測中心與衛生福利部食品藥物管理署合作,舉辦國內奈米粒徑量測比對含奈米物質化粧品與食品先期比對研究。在這次比對,比對樣品為牛奶添加物---奈米鈣,防曬乳液中的氧化鈦,以及氧化鈦標準粒子等三種,使用掃描式電子顯微鏡,動態光散射儀,穿透式電子顯微鏡,以及X光繞射儀等儀器,進行本次比對。而比對結果,在最終報告中顯示各實驗室的結果具有一致性。 International   Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
   
   
20150923
23 利用X射線反射儀(XRR)與電鏡技術(EELS)於前瞻半導體高介電常數薄膜之特性研究 近代材料分析的解析能力拜科技進步之賜,利用電子束作為入射源,可以同時提供材料影像、微結構、成分及厚度等資訊。在半導體逐漸朝向前瞻製程發展,單一元件尺寸僅有10 奈米到20 奈米的大小,分析奈米元件及材料特性的最主要工具就是TEM,其具備極佳的原子級影像解析能力,在材料特性的研究上已廣泛應用於奈米檢測上。本文探討以原子層沉積法製備高介電二氧化鉿HfO2薄膜,以電子能量損失能譜(EELS)進行元素在縱深方向的成份比例分析,觀察沉積薄膜的成份改變;並將EELS 的結果代入掠角X 射線反射儀的擬合,在頻譜的重合度表現上也有改善。本文同時利用兩種奈米分析工具對於超薄薄膜進行成份與物理特性分析,可以提升未來在非破壞性檢測上X光的應用性。 International   Symposium Measruement Technology & Intelligent Instruments 20150922
24 雷射追蹤技術應用於工具機三維空間定位準確度檢測 本文敘述使用雷射追蹤儀(LaserTRACER),用以量測工具機的空間幾何誤差,協助提升產業之技術能力與產品品質。這種技術除了提供符合規範的檢測服務,如工具機之ISO 230-2/4/6外,更重要的是能夠針對機台的空間幾何誤差進行控制器的補償,提升其產品的品質。 機械技術雜誌 20150915
25 以非接觸方式進行耳道幾何外型之計測 使用耳塞從事作業的勞工人數眾多,但在使用上由於耳塞尺寸無法與每位勞工耳道尺寸匹配,致使影響佩戴意願及防音效果。由於人體耳道之特殊性而無法直接使用現有的一般量具進行量測,同時一般非接觸式的光學法亦只能簡單地進行耳廓外圍測量,而無法獲得耳道內部相關外型的計測資料,因此,本研究利用電腦斷層掃描技術,完成耳道幾何外型之人體計測,並以非侵入性方式進行耳道形狀量測,完成勞工人口的耳道計測資料。由研究結果得知男性的耳道口的平均長度與寬度都比女性的耳道口長與寬。由於女性與男性勞工耳道口長寬並不一致,因此,在耳塞製作方面,建議可以將耳塞外型由目前的圓形截面朝向橢圓形截面方向製作。 Applied Ergonomics 20150915
26 國家度量衡標準實驗室振動比對校正系統更新與評估 本文敘述國家度量衡標準實驗室之振動比對校正系統之硬體組成及不確定度分析。振動比對校正技術牽涉到待校加速規背對背方式連接在標準參考加速規,在兩個加速規承受相同之激振量(加速度量)時,標準參考加速規與待校加速規輸出電壓之比值亦等同於兩加速規之靈敏度比值,在如此校正方式下參考標準加速規之靈敏度可直接傳遞至待校加速規,完成待校加速規之校正與追溯。國家度量衡實驗室於2014年進行振動比對校正系統之更新與改善,於2015年完成相關硬體架構與組立,再由查核標準加速規進行系統評估,系統在加速規電壓靈敏度校正之最佳量測能力在50 Hz至1.5 kHz,1.5 KHz 至5 kHz及5kHz至7 kHz不同頻率範圍相對擴充不確定度為1.4 %,1.9 %及 2.9 %。 IMEKO World Congress 20150904
27 使用配備自動負載替換機構的質量比較儀量測時的溫度變化 量測中心在去年更換一部配備自動負載替換機構的新10公斤質量比較儀,以取代舊的故障比較儀。在安裝過程中,在像往常一樣的同一實驗室環境下,卻出現溫度問題來影響量測結果。在本文中,我們將討論熱效應所引起的不正常現象。 XVII IMEKO WORLD   CONGRESS 20150831
28 水流量校正系統導流噴嘴設計與模擬 採用動態起始與結束操作模式(flying-start-and-finish   mode)之稱重法的水流量校正系統,其系統轉向器機構的設計係影響系統量測準確度甚鉅的一項關鍵裝置,轉向器機構主要包括導流噴嘴(jet)及轉向(diverter)導流裝置,這些機構的設計會造成的計時誤差的影響,其中以導流噴嘴出口的不對稱性速度場分佈為主要因素之一。本文主要使用計算流體力學(Computational   Fluid Dynamics, CFD)分析工具設計出特殊管路及導流噴嘴,設計出矩型導流噴嘴之噴流速度對中心相對位置彼此誤差不超過2 %,其產生出口對稱性流場分佈及轉向導流裝置設計則可有效減少轉向器產生的計時誤差,轉向器時間平均不超過50 ms,可提高量測結果的精確度。 全國計算流體力學學術研討會 20150827
29 不同風速計尺寸校正時風洞內流場特性研究 空氣流速量測常成為各行業檢測的重要參數,舉凡大氣環境監測、工業通風環境空氣品質的檢測、住宅性能驗證、藥品製造及半導體無塵室等廠房等行業領域中廣泛使用空氣流速測量儀器,例如熱線式及輪葉式風速計,為確保風速計量測的準確性,風速校正時待校風速計放置位置及其尺寸的大小就與風洞內流場分佈有關,影響流速計量的準確性。本文主要是針對實驗室風速校正系統,利用雷射都卜勒測速儀(LDV)與計算流體力學(CFD)評估風洞測試段內置放待校風速計尺寸大小對於流場所造成關係,考慮風洞內流場環境變化及風速計裝置效應之影響,目的在瞭解速度均勻性不致於被風速計尺寸影響,用以分析量測時彼此裝置的較佳位置,以提供風速計正確的校正訊息。研究顯示風洞內於漸縮段出口位置100 mm,放置D=60 mm之輪葉式風速計會造成風洞內流場紊亂,其宣告的量測結果不確定度需修正;另外放置D=25 mm之輪葉風速計於距離噴嘴出口100 mm處,LDV量測速度剖面應位於噴嘴出口50 mm才不致干擾流場以致達不到宣稱之不確定,本系統風速校正值經修正後的相對標準不確定度為0.5 %,風速校正範圍為0.5 m/s 至25.0 m/s。 全國計算流體力學學術研討會 20150825
30 薄膜量測系統研究與評估 本研究利用高解析橢圓偏光儀進行薄膜量測系統研究,針對薄膜厚度標準片進行系統評估報告。本校正系統提供SiO2薄膜厚度之量測範圍為1.5 nm至1000 nm之量測服務。此系統是以波長掃瞄範圍為250 nm 至 850   nm之分光式橢圓偏光儀來量測熱成長二氧化矽薄膜的物理與光學特性。透過最小平方法來擬合實驗中所量得的橢圓偏光函數,我們可以求得此熱成長二氧化矽層的薄膜厚度與折射率。本系統的評估方法依據參考國際標準組織(ISO)發行的ISO/IEC Guide 98-3:2008, Uncertainty of measurement — Part 3: Guide to the expression of uncertainty in measurement   (GUM:1995)分析各誤差源及擴充不確定度,並訂出本校正系統的校正能量為量測薄膜厚度標準片,擴充不確定度0.1 nm,信賴水準:95 %。 奈米工程暨微系統技術研討會 20150814
31 應用X射線反射儀與電子顯微技術於半導體多層高介電常數薄膜堆疊之厚度研究 近代材料分析的解析能力拜科技進步之賜,利用電子束作為入射源,可以同時提供材料影像、微結構、成分及厚度等資訊。在半導體逐漸朝向前瞻製程發展,單一元件尺寸僅 有10 奈米到20 奈米的大小,分析奈米元件及材料特性的最主要工具就是TEM,其具備極 佳的原子級影像解析能力,在材料特性的研究上已廣泛應用於奈米檢測上。本文探討以原子層沉積法製備高介電二氧化鉿HfO2薄膜,以電子能量損失能譜(EELS)進行元素在縱深 方向的成份比例分析,觀察沉積薄膜的成份改變;並將EELS的結果代入掠角X射線反射 儀的擬合,在頻譜的重合度表現上也有改善。本文同時利用兩種奈米分析工具對於超薄薄膜進行成份與物理特性分析,可以提升未來在非破壞性檢測上X光的應用性。 The Denver X-ray   conference and TXRF 20150803
32 光譜反射儀用於矽穿孔量測 由於電子元件的小型化、高效能、高度整合、低系統成本始終是驅動元件技術走向的基本要素,半導體元件技術的發展為了不斷達成這些目標而開創出各種新技術,而「製程微縮」和「系統整合」成為半導體產業發展的兩大趨勢。在三維晶片封裝技術上主要是使用矽穿孔技術連接不同晶片之間的電子訊號。在非破壞性的檢測上需量測到高深寬比矽穿孔的孔深及孔底形貌。在此文章中,我們使用光譜反射儀量測技術,並針對矽穿孔開發相對應的理論模型。在我們的量測分析中,此技術可以量測高深寬比(>16.5:1)矽穿孔之孔深,孔底形貌,及孔底粗糙度。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150731
33 使用自動追蹤雷射干涉儀進行ISO   230測試結果與工具機定位準確度之關係評估 對於三軸工具機來說,定位準確度和動複性可根據ISO   230-2及ISO 230-6進行測試。傳統的方式是使用雷射干涉進行測試,但花費的時間長且易造成量測不確定增加。為了減少量測時間避免量測不確定度變大,以及增加組裝效率,空間量測儀器,例如自動追蹤雷射干涉儀(auto-tracking laser interferometers,   ATLIs),是必需的。在本文中是使用LaserTRACER進行三軸工具機的定位準確度及重複性的測試,根據ISO 230-2及ISO 230-6的方法。因為一開始工具機和ATLI之間的座標關係是未知的,測試的第一個步驟是將ATLI在工具機上的相對位置標定出來,這個步驟我們稱之為座標一致化。然而工具機的定位準確度會影響座標一致化的結果。為了確認工具機定位準確度的影響,在本研究中做了兩種模擬。模擬結果顯示工具機的定位準確度造成座標一致化的誤差,但當量測距離大於400 mm時將可被忽略。 Cooridnate Metrology   System Confernece 20150723
34 台灣2014年外徑測微器校正能力試驗結果總結 能力試驗為可以展現一個實驗室的量測能力的方法之一,在各國的認可實驗室通常會被要求參與能力試驗,工研院量測技術發展中心(CMS/ITRI)為全國認證基金會(TAF)認可的能力試驗執行機構(PTP)。為瞭解國內各實驗室之外徑測微器校正能力,工研院量測中心特舉辦外徑測微器校正能力試驗,讓參與實驗室得以透過實驗室間比對,瞭解本身之能力與其他實驗室間之差異,並尋求解決之道,除可提升實驗室之外徑測微器校正水準外,並可維持國內長度標準之一致性。本次外徑測微器校正能力試驗活動編號為PT2014-KA02,共 25家實驗室參與。本次能力試驗中各參與實驗室之量測結果經統計分析後,所有參與實驗室之 |En| 值均小於 1,表示國內實驗室之外徑測微器校正能力具有相當的一致性。 NCSL International   Workshop and Symposium 20150721
35 使用雷射干涉儀校正量錶校正器之不確定度評估 本文敘述以雷射干涉儀為標準器校正量錶校正器,參考   ISO/IEC Guide 98-3:2008之量測不確定度評估方式,分析各項不確定度源對系統造成之影響,分別估算其標準不確定度、靈敏係數、自由度等,再計算組合標準不確定度、有效自由度及擴充不確定度。以量錶校正器解析度為0.1 μm 及校正範圍為 (0 ~ 60) mm 作評估,在信賴水準約 95 % 下,可估算得擴充不確定度為 0.81 μm及涵蓋因子為 2.05。 NCSL International   Workshop and Symposium 20150721
36 以 AC PJVS 系統之差值取樣量測技術作熱效轉換器的效能驗證 本論文描述以交流可編輯式約瑟夫森電壓標準   (AC PJVS) 系統之差值取樣量測技術針對熱效電壓轉換器的交直流 (AC-DC) 差值量測結果作比對及驗證。此 AC PJVS   差值取樣量測系統乃以具多功能性、高準確性和高穩定性的 PJVS 標準作建置。其中,AC PJVS 晶片之最高輸出電壓為 10 伏特均方根值,AC PJVS 差值取樣量測系統之最低量測頻率為 1 Hz,此系統針對 10 伏特均方根值交流電壓之相對量測不確定度經評估為 1.3 μV/V (頻率為 62.5 Hz)。 International   Superconductive Electronics Conference 20150709
37 超音波流量計於污染排放之應用 在環境保護日益受到重視的今天,污染物排放監控標準也越來越嚴格,如何準確且即時得到污染物排放的定性及定量資訊是污染物製造者及監督部門越來越重視的課題。污染物排放監控分為個別成分排放量及總排放量監控兩部分,總排放量一般是以熱質式、超音波流量計或皮托管進行監控。其中超音波流量計因為有低壓損,準確度高,維護費用低等優點而越來越受到重視,本文將針對超音波流量計量測的特性,量測原理,安裝需要注意事項及其獨有的即時診斷功能進行介紹,希望藉由此介紹,讓更多人了解超音波流量計,並能正確使用,使超音波流量計能發揮其最大的性能優點。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150707
38 濕度對於流量控制器之性能影響探討 懸浮微粒量測是評估空氣品質之重要指標,依其採樣方式可分為手動採樣法與通過聯邦等效法之自動儀器監測(Federal Equivalent Method, FEM),儀器組成主要包含流量控制器、微粒分徑器、採樣濾紙與真空幫浦。採樣流量控制器大多為熱質式流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),其量測特性易受量測流體特性影響,校正實驗室大多以乾燥空氣進行校正,而於戶外採樣時吸入大氣具有水氣,會影響其量測特性,間接影響採樣氣量收集總量、微粒分選粒徑特徵與收集效率曲線,進而影響微粒濃度量測結果。本文以音速噴嘴作為標準流量計,對採樣器內建流量控制器 ─   熱質式流量控制器進行濕度與量測值關係之理論與實驗分析,發現由於熱傳導係數與流動狀態之因子需由實驗方式獲得,造成理論推導濕度修正公式與實流校正結果差異,建議日後熱質式質量控制器還是需透過實流校正以修正其濕度效應。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150701
39 風洞用於懸浮微粒採樣器之研究回顧 環境大氣中的懸浮微粒濃度因為粒徑極小,因此極易進入人體的下呼吸道、肺、甚至血液系統,其濃度主要藉由懸浮微粒採樣器量測、監控得來,而懸浮微粒採樣器針對不同粒徑大小的懸浮微粒採集特性則利用風洞提供特定條件測試得知。本文將介紹美國環保署所提出利用風洞進行懸浮微粒採樣器的性能驗證方法,以及針對美國環保署以及韓國國家科學研究院的懸浮微粒風洞進行介紹以及其特點分析。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150701
40 以兩個70 MHz的鎖模光纖雷射達到精密的絕對距離量測 我們以鍍金蓋玻片做成的雙緊緻與重複率可調的非穩頻光纖雷射光梳作為絕對距離量測用途。在量測1.09公尺長的距離時,由飛行時間法得到在平均0.4秒後,其精度可達400奈米,測距之非模稜距離為2.1公尺。這種1   kHz快的更新時間與長的模稜距離,使得此系統可以用在加工應用時的絕對距離量測。 Key Engineering   Materials 20150630
41 激振器橫向運動造成加速規校正之不確定度之影響 振動量測需求上,加速規一直是最直接且能夠反映出待測物振動現象與特性的感測器。選擇合適的加速規類型,才能夠正確地量測出待測物確切的振幅大小與頻率特性。加速規本身的感測器特性,會對量測誤差產生一定大小的貢獻量。透過加速規進行校正得出的靈敏度數值,再配合校正計算過程中產生的量測不確定度,可以對此加速規特性有進一步的了解。在比較級校正系統中,由於加速規的架設安裝因素會造成量測誤差的產生。其中,因系統重心改變的情況下,產生額外的橫向作動,橫向作動產生的輸出電壓會造成校正數值的差異與變化,進而增加量測不確定度的產生。因此本文透過系統激振2個不同型號的加速規,將三軸向電壓輸出結果求出,透過公式計算得出橫向電壓與激振方向電壓之比值,並以頻譜圖方式表示,了解其比值,並以此為基點希望能探討出加速規本身的其他特性。 中華民國振動與噪音工程學會 20150627
42 精密工具機主軸動態誤差量測技術 本文使用三個三角雷射位移計作為感測裝置,配合自行開發LabVIEW設計的軟體,參考國際規範ASME   B89.3.4及ISO 230-7,實際量測工具機主軸的動態誤差,評估運動誤差(Error Motion)現象,達到工具機旋轉主軸運動誤差分析。實際量測工具機主軸動態訊號,透過旋轉主軸之軸向及徑向運動誤差分析,最後得到分離同步與非同步運動誤差結果,作為旋轉主軸動態精度計量方式。此技術將可導入於工具機生產線上主軸標準化及動態量測精度評估。 中華民國振動與噪音工程學術研討會 20150627
43 應用改良式條紋反射法量測晶圓翹曲度 我們證明了應用改良式條紋反射法來補償參考反射鏡和晶圓樣品表面之間的高度差所造成的翹曲量測誤差。我們使用線性分析方法來獲得4英寸的藍寶石晶圓的拋物線翹曲高度誤差量測可達1.48 um(100 um的高度差)。實驗結果顯示了6英寸藍寶石晶圓的翹曲量測與參考Tropel公司的儀器進行比較偏差小於1微米。 SPIE Europe   Conference on Optical Metrology  20150623
44 超過50 CD/A高電流效率之CbzTAZ藍色有機發光元件 藍色OLED其發光層的摻雜具有藍色發光體FIrpic,其中結合電洞傳輸部分的?唑基(Cbz)與電子傳輸部分之三唑(TAZ),以形成雙極分子。以此CbzTAZ製作之新型雙極元件具有高電流效率到達50的和50.6 cd/ A和EQE 20 %及21.6 %。 SID International   Symposium 20150603
45 精密電力品質量測系統 我國國家度量衡標準實驗室(National Measurement Laboratory, NML)於民國76年建置的單相電力及民國90年建置的三相電力標準系統已無法滿足目前綠色能源及智慧電網所使用新型量測設備之計量標準追溯,這將影響後續的智慧電表檢定、電動車充電收費電表檢定及其他智慧電網電力品質參數之電力標準追溯。鑑於交流電力標準為各國工業與民生用電計量基礎,NML於民國103年起擴建交流有效電功率/電能校正系統以滿足目前的電度表檢定之計量追溯,並提供未來新法定計量電動車充電收費電表檢定之電力標準追溯,並且增建交流無效電功率/電能及諧波量測技術,完成電力品質(電壓諧波、電流諧波)等重要參數計量標準。此外,配合行政院101年正式核定的智慧電網總體規劃,於103~104年進行現有電力量測標準系統的擴建,除擴建上述校正能量之同時,並依據IEEE C37.118.1標準規範提供同步相量量測單元(Phasor Measurement Unit, PMU)之符合性檢測(compliance testing)或單一測試型式(test type)檢測,以提供PMU製造商、電力相關業者及PMU使用單位有關PMU性能檢測與定期維護測試等服務,最終以確保新型電網安全性及可靠性。 電機月刊 20150601
46 日本 NMIJ 採用 10 V 可編輯式約瑟夫森電壓標準執行電壓標準器校正之研究 日本國家計量院 (NMIJ)為了有助於減少液氦的使用量並同時提升電壓標準器校正的品質,已完成以機械式冷凍機冷卻之可編輯式約瑟夫森電壓標準 (PJVS) 系統的開發。該 PJVS晶片是以NbN超導體材質為主所製作的,總共包含有525,288個約瑟夫森界面,且透過機械式冷凍機可在 10 K 的低溫環境下操作。為了驗證PJVS 系統的量測準確性,我們進行了 PJVS 與傳統JVS (CJVS)兩套系統之電壓間接與直接比對量測。從比對結果得知,兩系統具有相當的一致性,其電壓差值 (For 10 V) 的相對擴充不確定度為 8.7 x 10^-10。此外,本文亦針對 PJVS 系統執行電壓標準器校正的量測不確定度作詳細討論。 IEEE Transactions on   Instrumentation and Measurement 20150601
47 以電洒-微分電移動度分析法量化奈米薄片石墨烯氧化物 我們報告以電洒-微分電移動度分析法進行高分辨,可追溯方法量化奈米片石墨烯氧化物(N-GO)氣膠體數目濃度和尺寸特性。再以穿透式電子顯微鏡(TEM)圖像作為N-GOS數據的佐證。結果表明,等量的N-GOS大小分佈和數目濃度能夠被成功地由ES-DMA測量。氣膠體穩定性和N-GOS的過濾效率分別展示出大小分佈和數量濃度的變化,穩定地顯示出其特性。通過使用一個分析模型中,DMA數據能夠被轉換成橫向尺寸分佈,N-GOS的平均橫向尺寸~32奈米,厚度~0.8奈米。這個模型研究證明顯示出可使用ES-DMA定量N-GOS特性,並提供可追溯的N-GOS製程控制。 Analytical Chemistry 20150517
48 低濃度氣膠粒子檢測之稀釋器開發 凝核粒子計數器為常見的氣膠粒子濃度監測儀器,但其濃度監測極限大多在每立方公分1e5顆至1e7顆,然而引擎廢氣所產生之粒子濃度大多高於計數器偵測極限,因此需要一稀釋器來輔助檢測。此外,半導體產業之無塵室潔淨度根據ISO14644之定義,100奈米的粒子在Class1至Class4之數量濃度範圍為每立方公分10顆至1e4顆,為服務業界之粒子計數器校正,工研院量測中心正建立一套低濃度標準粒子計數器偵測效率量測系統,並自行開發氣膠粒子稀釋器。低濃度量測系統藉由二階段稀釋來產生不同濃度之粒子源,並進行粒子計數器之線性稀釋比測試和絕對值校正。經實驗測試,自行開發之氣膠粒子稀釋器於校正時所需之30秒量測時間內,1/10稀釋比下之凝核粒子計數器監測數據在預設值之±5 %,而1/100稀釋比下則為±10 %。粒子計數器之校正需可追溯至SI國際標準,藉由本研究使標準粒子計數器之粒子數量濃度量測能力提升1000倍至每立方公分1顆,未來將持續建立低濃度小粒徑奈米粒子環境即時監測技術。 環境分析化學研討會 20150501
49 氣膠粒子計數器於低濃度之偵測效率量測技術與評估 氣膠粒子計數器為測量環境中單位體積內塵埃粒子數目和粒徑分佈之儀器,然而此量測儀器的粒子濃度追溯與校正卻未完整建立。於是2012年間,量測技術發展中心於奈米技術計量標準計畫中,自行設計粒子濃度量測系統。搭配TSI公司生產的法拉第杯氣膠電流計以及粒子計數器加以組裝,而建立標準粒子計數器偵測效率量測校正系統,如圖1。此校正系統目前提供的能量為粒徑介於50 nm ~ 200 nm,濃度介於103 cm-3~104   cm-3之氣膠粒子器偵測效率校正服務。然而目前國內大部分氣膠粒子計數器,主要用於量測無塵室環境潔淨度。參照ISO 14644等級定義,潔淨度Class 6為100 nm之粒子於最大容許數量濃度為106 m-3,濃度等級如同1 cm-3。所以,為了更貼近於業界之量測需求,本校正系統之量測能力必須向下擴充至1 cm-3。因此,量測技術發展中心於今年發展一套技術,利用兩台稀釋器產生不同濃度之粒子源,並進行計數器之線性稀釋比測試和絕對值校正的方法,將最低可校正之粒子數量濃度向下擴充至1 cm-3,以滿足現今的需求。本校正系統之評估方法參考國際標準組織(ISO)發行的ISO/IEC Guide 98-3:2008分析各誤差源及相對標準不確定度,並計算相對擴充不確定度,最後,訂出本校正系統的校正能量為粒子濃度1 cm-3~104 cm-3,擴充不確定度為4 %。 環境分析化學研討會 20150501
50 以噪音計國際規範之演進脈絡探討國內檢定技術之發展趨勢 本文主要從噪音計國際相關規範的演進,探討噪音計檢定技術發展趨勢,分析噪音計應檢定的項目,作為修訂噪音計檢定檢查技術規範之依據,以期與國際規範同步,同時滿足國內法規之需求。 標準與檢驗 20150501
51 穩態法熱導率量測技術簡介 熱導率是用來衡量導熱與隔熱材料的物理量,也是鑑別材料能量傳遞的主要指標。受建築節約能源管制,為了達到節能減碳的目的,降低建材隔熱不佳的能量損失,以提高空調的能源利用率,隔熱建材的開發及其熱導率量測的標準與檢測之需求勢必激增,為此本文將介紹目前常使用於隔熱建材的穩態法熱導率量測技術-保護熱板法與熱流計法,並說明其優缺點與相關限制,以期能滿足業界對於隔熱建材的熱導率量測評估。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150501
52 放射率之量測技術與應用 目前愈來愈多的民生製/用品提到放射率這規格,但到底放射率是如何被定義以及其代表的物理意義是甚麼,這些都需要被詮釋清楚,以免產生誤用之虞。有鑑於消費者與製造商對民生製品之放射率量測方法規格化的需求日益強烈,為了因應此需求,本文將針對一般商用設備之放射率的量測原理之根據、定義、量測方法等議題進行介紹,以提供讀者了解。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150501
53 高溫精密校正爐研製技術簡介 本文所介紹的高溫精密校正爐係高溫熱源裝置之應用實施例,可依據客戶規格需求客製化產出,廣泛且彈性地應用於產、學、研界所需之熱處理、熱測試、溫度檢校…等領域。文中簡介高溫精密校正爐的重要結構與熱傳模擬過程,並揭示本校正爐由100 °C至1200 °C的性能實測結果,說明研製的成果確實可提供穩定的熱(溫度)流場,其爐體工作區溫度於30分鐘內溫度變化落在±0.02 °C範圍內。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150501
54 利用X射線反射儀(XRR)搭配電子能量損失能譜(EELS)於前瞻半導體高介電常數薄膜之特性研究 近代材料分析的解析能力拜科技進步之賜,利用電子束作為入射源,可以同時提供材料影像、微結構、成分及厚度等資訊。在半導體逐漸朝向前瞻製程發展,單一元件尺寸僅有10 奈米到20 奈米的大小,分析奈米元件及材料特性的最主要工具就是TEM,其具備極佳的原子級影像解析能力,在材料特性的研究上已廣泛應用於奈米檢測上。本文探討以原子層沉積法製備高介電二氧化鉿HfO2 薄膜,以電子能量損失能譜(EELS)進行元素在縱深方向的成份比例分析,觀察沉積薄膜的成份改變;並將EELS 的結果代入掠角X 射線反射儀的擬合,在頻譜的重合度表現上也有改善。本文同時利用兩種奈米分析工具對於超薄薄膜進行成份與物理特性分析,可以提升未來在非破壞性檢測上X 光的應用性。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150501
55 交流可編輯式約瑟夫森電壓標準系統作 10 V 均方根值電壓取樣量測之不確定度評估研究 我們已針對交流可編輯式約瑟夫森電壓標準(AC-PJVS) 系統在執行 10 V 均方根值電壓差值取樣量測時之不確定度作完整地評估。此AC-PJVS系統乃採用冷凍機模式作晶片冷卻,並使用改裝過的數位電表 (DVM) 作取樣量測。當該 DVM 採用外部 20 MHz的外部基頻信號後,其取樣時間所造成的誤差可大幅地降低。同時,經評估後認為 AC-PJVS 系統執行交流電壓量測時所採用之繼電器式極性切換器 (Relay Switch) 其熱效電動勢電壓很小且很穩定,非常適用於差值取樣量測系統。此外,我們也進行各種不同的量測項目來評估此差值取樣技術。依據整體評估結果顯示,當AC-PJVS 系統執行均方根值為 10 V 且頻率為 62.5 Hz 之交流電壓差值取樣量測時,其擴充不確定度為 1.3 uV/V (k = 2)。 IEEE Transactions on   Instrumentation and Measurement 20150425
56 質量諮詢委員會重力K2關鍵比對 2013年11月絕對重力儀國際關鍵比對(CCM.G-K2)於Walferdange的地體動力地下實驗室舉行。此比對活動集合了來自4大洲、19國的25組成員,並分成了2部分:包含10個國家計量研究院的關鍵比對,以及所有成員參與的前導研究。完整的前導研究結果證實所有的儀器有著絕對的一致性,關鍵比對的結果證實國家計量研究院的儀器間存在好的一致性。 Metrologia 20150421
57 利用X射線反射儀技術進行有機矽酸鹽薄膜的孔隙尺寸及分佈量測 傳統半導體是使用二氧化矽作為介電材料(介電值為3.9),透過降低介電常數材料的介電值,可以降低導線之間的電容效應與漏電電流,改善積體電路的散熱效能及寄生電容。因此利用空氣(介電值為1)的加入,介電材料中可大幅降低介電值與電容值。本研究利用X射線反射儀搭配氣體流量控制系統(mass flow control;MFC)建立一非破壞性多孔隙尺寸量測技術,可提供奈米級孔隙的尺寸大小與分佈。圖3為量測薄膜孔隙率的儀器架構圖。本研究將對利用不同混合比例CTAB/EtOH所製備的低介電常數薄膜,經過X射線反射儀的量測,當X射線進入物體表面時,在臨界角的範圍,量測孔隙薄膜的密度變化,由密度變化便可決定孔隙的尺寸及分布。對於多孔性薄膜而言,藉由量測孔隙薄膜分別在空氣中或是含特定氣體之密度變化,於是孔徑尺寸將能計算而得。隨著CTAB/EtOH的比例增加到0.075時,此時有最大的薄膜孔徑值1.06 nm,但隨著比例繼續增加到0.1,此時由於矽酸鹽液滴的不穩定性與固化,造成孔徑值的下降,其中孔隙率在不同製程條件下的變化結果成現在圖4與表一。產業應用的實務上,奈米尺寸的薄膜孔隙材料檢測技術已有大量的需求。而建立奈米孔隙薄膜檢測能力可有效驗證材料的機械性質與可靠度;其所衍生的功能性,如低介電值材料,可降低金屬導線間電流的互相干擾,進而改善IC內連接導線的傳輸性能;對於能源產業,有效檢測奈米孔隙材料可提升觸媒的催化特性,進而提高光電轉換效率。因此,發展非破壞性的X光檢測技術並增進系統能量將更能貼近目前的產業需求,並可提供產業在薄膜製程改善、效率提升之參數檢測能力。 Japanese Journal of   Applied Physics 20150420
58 國家度量衡標準實驗室新建置之壓力容積溫度時間校正器 本文介紹國家度量衡標準實驗室於2013年底完工之壓力容積溫度時間校正器(PVTt gas flow standard),內容包括系統工作原理、校正程序流程、降低系統流量量測不確定度的策略、與國家實驗室現有之管式校正器及大鐘、小鐘型校正器進行內部比對的結果、以及量測不確定度評估方式等。針對降低系統量測不確定度的策略包括使用精密天平準確標定定容積槽容積、將水浴溫度做穩定控制使定容積槽內部氣體在校正前後的壓力與溫度能真實反應實際量測結果、讓庫存容積內部氣體在校正前後的質量變化遠小於定容積槽內部氣體於校正前後的質量變化、以及降低計時誤差。 International   Symposium on Fluid Flow Measurement 20150415
59 利用角位移增強外差式偏光儀研究膠原蛋白熱變性之光學性質 角位移增強外差式偏光儀已被用來研究膠原蛋白熱變性及其光學性質。在角度量測中,   膠原蛋白在不同溫度下的相位變化可以利用空值探測技術具有延遲可調波片及分析器進到我們的共同光路外差式偏光儀來增強。 Experimental   Techniques 20150415
60 振動與流場對科氏力式流量計的影響 科式力式流量計因為其高準確性和優異的重複特性,已廣泛用於流量量測研究和相關工業。科氏力式流量計的工作原理是藉由流過振動管的流體產生的科氏力效應。因此,科氏力流量計的精度可能會受管路振動和流體分佈的影響。本論文主要是針對上述情形進行相關研究的結果,並對結果進行討論。 International   Symposium for Fluid Flow Measurement 20150412
61 毫赫茲相對線寬混合鎖模光纖雷射光梳內含保偏光纖波導電光調制器 窄線寬雷射對於光鐘、高解析多外差雷射光譜以及光達等領域的應用相當重要,最近幾年窄線寬的光纖雷射光梳利用非線性偏極旋轉或半導體飽和吸收鏡鎖模已經被演示,本論文報導混合非線性偏極旋轉和半導體飽和吸收鏡的鎖模光纖雷射光梳內含保偏光纖波導電光調制器,光纖雷射光梳的載波波封偏差拍頻信號利用相位領先補償被控制到毫赫茲。 International   Frequency Control Symposium/European Frequency and Time Forum (IFCS/EFTF) 20150412
62 APMP.M.P-K13  50 MPa to 500 MPa 關鍵比對最終報告 本文敘述了APMP共9個國家計量研究所(包含台灣CMS/ITRI、日本NMIJ/AIST、印度NPLI、新加坡NMC/A*STAR、泰國NIMT、澳洲NMIA、中國NIM、印尼KIN-LIPI以及韓國KRISS)在50   MPa 至 500 MPa間液壓高壓標準錶示壓力關鍵比對的等同性。其中由日本NMIJ/AIST來擔任主導實驗室。所有參與實驗室均使用液壓式活塞壓力計當作壓力標準。轉移標準則使用3台簡單型活塞壓力計,在2010年11月至2013年1月間,分別由共分3小組成員國各自量測其中的1台。所有參與者必須依不同的特定壓力將量測轉移標準的有效面積及不確定度上傳給主導實驗室。經主導實驗室計算的結果可以經由NMIJ/AIST以及NPLI兩實驗室連結到CCM.P-K13的參考標準。最後可以進一步經由計算各參與實驗室的相對偏差來評估等同性。結果所有參加的9個實驗室量測值與CCM.P-K13的參考標準在壓力範圍50 MPa 至 500 MPa間以及擴充不確定度(K=2)時有一致性。 Metrologia 20150327
63 台灣絕對重力觀測: 重力系統2009、重力校正線及環境變遷之應用 自2004年,兩部絕對重力儀FG5施測台灣地區各重力基點,作為相對重力測量及地球物理解釋的依據。並參加2005、2009及2013年絕對重力儀國際比對(ICAGs),以驗證測量重力之不確定度。持續維護監測和分析二條重力校正線迄今,最大重力差範圍各約為99 mGal與320 mGal,重力基點準確度0.008 mGal,評估相對重力儀漂移量及尺度量。GWR二部超導重力儀(SGs)設置在新竹坑道及台北陽明山之兩重力基點旁,其結果也將用來探討北臺灣活動斷層帶可能的地殼運動。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
64 固態熱電材料量測技術 廢熱回收是太陽能之外被認為最值得的再生能源。藉由熱電模組廢熱可有效產生電力而無需任何動件。同時,它具有簡便、安靜、在任何空間都可操作與高可靠度等優點,非常適合中低溫工業廢熱的回收。這將是具潛力的次世代技術,特別是對於開發新的高效率熱電材料方面。為了測試與驗證新熱電材料的效率,Seebeck係數、熱導率與電導率將被量測與執行。然而,目前國內皆無可提供具追溯性量測服務之機構。關於量測準確性的一致性,大多數業者仍需仰賴儀器之規格或國外參考物質來驗證。本文中提供一被建議用於發展Seebeck係數與電導率之參考材料的標準測量技術,將有助於驗證高ZT值的熱電材料性質。本篇論文闡述如何改善Seebeck係數之量測技術以提昇ZT值的可信度。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
65 振動與衝擊加速規國際比對於產業追溯 國家度量衡標準實驗室(NML)之振動實驗室近年積極參與亞太計量組織APMP區域性國際比對,目前已完成低頻振動輔助比對(Supplementary Comparison)、中高頻振動關鍵比對(Key Comparison)與低衝擊先期研究(Pilot Study)。比對目的除確認國家實驗室振動與衝擊原級系統量測能力與國際間一致性外,同時透過標準傳遞期許台灣相關振動與衝擊技術之產業具備完整追溯性,確保產品品質。低頻振動比對協議要求頻率範圍從0.5 Hz至20 Hz,加速度振幅範圍從0.1 m/s2 至10 m/s2;中高頻振動比對協議要求頻率範圍從40 Hz至5 kHz,加速度振幅範圍從10 m/s2至200 m/s2;低衝擊研先期研究協議要求衝擊時間從0.8 ms至3.0 ms,衝擊加速度振幅範圍從500 m/s2 至5000 m/s2。經由量測結果與不確定度計算,NML與其他國家實驗室比對有其一致性,台灣產業量測用加速規透過定期追溯校正,可確保產品符合國際貿易需求。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
66 總效經驗模態分解法應用於環境光監控之非線性分析 總效經驗模態(EEMD)為一完善發展之資料分析方法,藉由使用整體分解次數與雜訊振幅等兩項參數,規範EEMD分解次數與有效性,以此獲得亮度與照度之整體趨勢;此外,更進一步分析各趨勢間之相關係數,從中了解垂直照度與水平照度間具高度之互動性,其結果對於釐清整體環境光之關聯性與光污染研究領域,皆具有一定程度之貢獻。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
67 (2500~3000)   nm光生物安全評估方法 隨著固態照明普及,人造光源潛在的光輻射危害越來越受到重視。現有光生物安全規範針對各式光生物安全危害源,定義了不同評估計量與方法。例如:   紅外線對眼睛之傷害,是以分光輻射照度做為基準,計算指定波長範圍內之輻射照度,做為此項光生物危害評估之依據。然而,光源在紅外線(2500 ~ 3000)   nm之分光輻射照度,通常訊號弱,不易直接量取,因而造成此波段光生物危害評估之困難。本文針對(2500 ~ 3000)   nm,嘗試找出其他量測方法與計量,可輔助或取代分光輻射照度,作為光生物安全評估之依據,以期實現準確評估光生物安全之目標。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
68 光學干涉術用於洛氏硬度壓頭圓弧半徑之測定研究 量測中心自1996年7月至1997年6月期間;成立洛氏硬度標準體系。考慮到增加的硬度測量的追溯的準確度,對於洛氏硬度金剛石壓頭幾何形狀極為重要。在本文中,我們將介紹用光學干涉試的方式來測定洛氏硬度壓頭的圓弧半徑。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
69 開放渠道計量之線上校驗與數值模擬驗證 用於開放渠道流量計量的流量計其校正方式通常採用現場校正,因此具有相當高的複雜度。本文係以流速面積法就大口徑污廢水排放管線使用之非滿管型超音波流量計的線上校驗方式以及實際執行程序,進行研討,同時使用計算流體力學(Computational Fluid Dynamics, CFD)就設定之不同校正流率及水位資料,進行水流斷面速度分布計算,並與現場實測數據進行比較。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
70 微粒採樣器流量計受濕度變異影響之分析研究 懸浮微粒為漂浮於空氣中的固液態粒狀混合物,對人體造成的危害係當今最受關注的環境健康議題之一。微粒濃度量測為評估空氣品質之重要指標,採樣儀器內建流量計多為熱質式流量控制器,此型流量計之流率量測值受環境濕度變異影響,而採樣流率之準確性影響採樣微粒分選粒徑特徵,進而影響微粒濃度量測結果。本研究以濕式流量計作為加濕裝置模擬環境濕度變化,以評估採樣時環境濕度變異對於微粒採樣器流率量測結果之影響。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
71 雨量計校正設備研製與性能評估 台灣的中央氣象局檢校中心為提昇雨量計校正設備能力,並改善原有設備操作耗費較多人力的狀況,在工業技術研究院量測技術發展中心的協助之下,完成一套新型雨量計校正設備的研製,不但擴增雨量計校正範圍及量測準確度,並導入自動化批次校正作業功能。此一新型雨量計校正設備為國際創新設計,以流量計作為標準件,並採用可變式定水頭流量控制技術,得以即時監控設備雨強,並且具有極佳的校正雨強調整能力和穩定度,使檢校中心的雨量計校正能力大幅提升,並節省人力需求。新型設備的雨量計校正範圍可達5 mm/h 至400 mm/h,本文依據ISO量測不確定度指引進行不確定度評估,得以確認其最小量測不確定度。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
72 ANOVA於奈米領域量測能力比對之應用 量測分析技術的發展,不但提升產品可靠度與良率,也加速產業產品研發與製造。然而,隨著量測需求跨入奈米等級時,量測分析技術面臨了前所未有的挑戰。由於量測原理及分析軟體不同,不同儀器或量測方法所得的量測結果存在著一定程度的差異性。因此,因應不同的奈米檢測需求而發展出不同的量測方法,其間的量測能力的正確性與量測變異,迫切需要完整的量化分析。本文說明如何將統計方法之變異數分析(Analysis of Variance; ANOVA)應用於奈米領域量測能力比對,檢定不同類型的量測儀器的量測結果,並藉由ANOVA分析結果,探討不同儀器或量測方法間的量測一致性。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
73 奈米二氧化鈦粒子參考物質之量測與分析 本研究收集市面上之奈米二氧化鈦粒子,探討如何將奈米二氧化鈦粒子作為標準量測的參考物質,並選擇數種商業用之奈米二氧化鈦粒子進行量測與分析。藉由分析奈米二氧化鈦粒子之粒徑、形貌、pH值、成分、分散性、導電度等,選擇分散性良好、粒徑均勻之奈米二氧化鈦粒子做為參考物質,本研究採用掃描式電子顯微鏡量測商用奈米粒子之形貌、電移動度分析法分析粒子粒徑、能量散佈分析儀分析奈米粒子組成、pH量測儀與導電度儀量測粒子溶液之pH值與導電度。未來,將會更進一步量測其他特性,如奈米粒子的表面能與毒性等。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
74 交流可編輯式約瑟夫森電壓標準之交流電壓量測不確定度評估研究 我們已針對交流可編輯式約瑟夫森電壓標準(AC-PJVS) 系統在執行交流電壓量測時之不確定度作完整地評估。此 AC-PJVS 系統乃採用冷凍機模式作晶片冷卻,並使用改裝過的數位電表 (DVM)作取樣量測。當該DVM採用外部 20 MHz 的外部基頻信號後,其取樣時間所造成的誤差可大幅地降低。同時,經評估後認為 AC-PJVS   系統執行交流電壓量測時所採用之繼電器式極性切換器 (Relay Switch)其熱效電動勢電壓很小且很穩定,非常適用於差值取樣量測系統。依據整體評估結果顯示,當 AC-PJVS 系統執行均方根值為 10 V 且頻率為 62.5 Hz 之交流電壓差值取樣量測時,其擴充不確定度為 1.4 uV/V (k = 2)。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
75 雷射光遮斷法檢測圓柱體直線度的研究 本研究提出一種利用機器視覺檢測大型圓柱鋼棒外形輪廓檢測方法。利用雷射斷線法進行鋼棒的直線度量測。實驗結果顯示量測誤差在±0.4 mm之內。本方法可應用於鋼棒矯直機即時線上檢測,以提高棒材矯直加工的效率。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
76 溫、濕度計量標準與產品提昇 宇田控制科技(股)公司除了專營歐美品牌之代理進口銷售外,近年開始積極轉型發展自有品牌。除了與臺灣頂尖學術單位產學合作,並委由工研院量測中心輔導建立溫、濕度校正實驗室,藉由追溯性溫、濕度標準建立、精進之量測技術、與建立完成之小不確定度量測系統,促使產品突破線上檢測瓶頸,最大正偏差降低為原來的40 %,產品的總平均量程和理想量程達到相當高的一致性,也使宇田公司達成生產高階產品提昇台灣感測器產業競爭力的目標,也在國際市場上具備競爭優勢。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
77 懸浮微粒檢測標準之比較 懸浮微粒(particulate   matter,   PM)為空氣中主要的汙染物之一,對於環境生態、能見度、人體健康影響重大。本文探討美國、日本、中國、台灣四國與全球衛生組織(WHO)之大氣中懸浮微粒環境標準值之差異,並提出台灣可加強之方向。另,世界各國多採用手動採樣法作為量測大氣中懸浮微粒質量濃度的標準方法,但懸浮微粒自動監測之數據和手動檢測之數據,由於量測原理、環境條件不同,其結果會有明顯差異,故提出執行嚴謹之自動/手動檢測儀器等效性測試,以提升懸浮微粒監測數據之可信度之構想。工業技術研究院量測中心完成相關之規劃,將可以第三方角色提供政府單位與儀器廠商驗證自身儀器性能與儀器改良建議,並保障人民健康。 兩岸量測與檢測科技學術研討會 20150320
78 以前饋方式穩定混合同步超快鐿和鉺光纖雷射系統的相對載波波封相位 本文首次演示以聲光調制器為基礎的前饋方式穩定混合同步超快鐿和鉺光纖雷射系統的相對載波波封相位,前饋方式產生的慢速飄移藉由控制雷射的幫浦電流來穩定載波波封頻率而消除,由於被動同步的快速的反應和大的鎖定範圍讓雙色脈衝同步可以鎖定到次飛秒,這種作法提供了另外一種得到相位穩定同步雙色高能量脈衝的方法 Optics Letters 20150315
79 蜘蛛絲力學性能不易受到蛋白質成分營養介導改變所影響 由於大壺狀腺絲的高強度與延伸性,蜘蛛大壺狀腺絲受仿生科學所青睞。然而,大壺狀腺絲蛋白質的二級結構(蜘蛛絲蛋白)影響蜘蛛絲的力學特性,而紡絲過程引起的結構變化具有額外的影響。蜘蛛絲特性可能受到對蜘蛛餵養不同的營養成分所導引,從而提供研究人員一個機會評估在大壺狀腺絲性能上蜘蛛絲蛋白化學性質與紡絲過程之間的相互作用。在這裡,透過餵養人面蜘蛛有或無蛋白質的解決方法,我們確認在大壺狀腺絲力學性質上蜘蛛絲蛋白呈現與紡絲過程有相對的影響。我們發現蜘蛛絲蛋白呈現在不同處理條件上有所差異,但是其對力學性質的影響是微量的。超收縮蜘蛛纖維的力學測試與X-ray散射分析顯示,在富含蛋白質食物餵養的蜘蛛中,非晶區域增加分子排列準直性與在結晶區域的較小範圍則是控制增加蜘蛛絲纖維強度與延伸性。 Biomacromolecules 20150312
80 含奈米物質市售防曬乳奈米氧化物粒徑評估 奈米金屬氧化物例如二氧化鈦及氧化鋅已經被廣泛使用於市售的防曬乳內,由於其金屬氧化物的高能階差與紫外線相近,因此可使用於吸收紫外線。因此,其氧化物的表面形貌及物理特性將影響其於溶液中的穩定度。本論文應用X射線繞射進行奈米金屬氧化物的粒徑分析。 職業衛生研討會 20150306
81 支援臺灣高科技產業所需之原子力顯微鏡校正技術與計量標準研究 在半導體、平板顯示器和光發射顯示器製造產業中,為了改善整體測量不確定度,在國家計量研究階層,需要先進的計量研究,提供高精度和準確校正,以實現降低測量不確定度。並確保準確的量測值,追溯到國家標準。在本文中,將說明國家度量衡實驗室最新先進的原子力顯微鏡(AFM)計量研究成果,並闡述計量研究對本國核心高科技技術產業的標準傳遞。 International   Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces 20150305
82 應用於原子力顯微鏡三維尺寸量測之計量型掃描平台開發 工業技術研究院量測技術發展中心(Center for Measurement Standards, CMS)受經濟部標準檢驗局委託,執行國家度量衡標準實驗室運作計畫,日前已利用原子力顯微鏡(atomic force microscope, AFM)建立我國線距(pitch)標準的原級校正系統,提供國內校正與追溯的服務。考量國內半導體產業已朝14 nm製程邁進,對於線寬(linewidth)、線距、粗糙度(roughness)、與階高(depth)等參數有更高的量測及校正與追溯需求,同時其他國家之國家實驗室所擁有的線距校正系統在量測範圍與量測不確定度業已明顯領先我國,因此量測技術發展中心針對既有的AFM展開線距校正系統量測能力提升計畫。本論文旨在說明如何利用Renishaw公司的雷射定位光學尺(雷射干涉儀)與Physik  Instrumente公司的撓性微移動平台開發計量型掃描平台模組,將其與Bruker公司的Dimension Icon AFM系統進行整合,以達到降低線距校正系統的量測不確定度與擴大其量測範圍,並提升追溯位階的目標。 International   Conference on Metrology and Properties of Engineering Surfaces 20150304
83 紅外線波段光生物安全量測技術與挑戰 光生物安全議題討論光輻射危害之評估與防範,相關規範針對各式光生物安全危害源,建議了不同的評估計量與量測方法。然而這些光生物安全評估方式之有效性、準確性、與實施便利性仍有探討的空間,也是相關研究發展的目標。本文針對(2500 ~ 3000) nm紅外線波段,研究以膠原蛋白試片作為光生物安全評估依據之可行性,以期能解決(2500 ~ 3000) nm紅外線波段分光輻射照度量測不易之問題,使紅外線光生物安全之評估更加便利。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150301
84 國家最高標準之可編輯式與傳統式約瑟夫森直流電壓直接比對研究 可編輯式約瑟夫森電壓標準(programmable Josephson voltage standard;PJVS)   系統可產生精準的量子化直流電壓標準值,此為電壓計量領域之原級標準系統,也是國家電壓計量之最高標準。為了進一步驗證PJVS系統的量測準確性,我們進行PJVS系統與傳統式約瑟夫森電壓標準(conventional JVS;CJVS) 系統之直流電壓直接比對量測。本文主要針對可編輯式與傳統式 JVS 系統電壓直接比對結果與不確定度分析作完整說明。依據電壓直接比對結果顯示,兩套 JVS 系統在組合相對不確定度 1.67x10^-10 範圍內有良好的一制性且符合國際水準,其相對電壓差值為 1.10x10^-10。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150301
85 國家度量衡標準實驗室之單相交流電力量測系統擴建 國家度量衡標準實驗室(National Measurement Laboratory R.O.C.;NML)鑑於原有的交流電力量測系統之校正服務參數與範圍無法滿足現階段國內電力計量追溯的需求,因此於民國103年擴建單相交流電力量測系統,其校正參數擴充為有效電功率、有效電能、無效電功率、無效電能、電壓諧波及電流諧波,且電力量測之電壓及電流範圍擴充至480 V及80 A。本文主要內容為介紹擴建後的單相交流電力量測系統之校正方法、標準追溯、校正範圍及量測不確定度評估。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150301
86 電力監測系統在動態負載之電功率與電能量測前瞻研究 由於電力電子元件大量使用,未來新型電網諧波污染將更嚴重,如何有效量測負載狀態且正確分析電力量,是改善電力品質的首要工作。目前分析訊號的方法多採用傅立葉轉換。為了改善傅立葉轉換在時間分析上的不足,可使用短時傅立葉轉換建立固定的窗函數。然而窗函數一旦固定,將無法同時兼顧時間和頻率的解析度。小波轉換可以隨著頻率的變化,使用不同大小的窗函數,在非週期訊號上有較優良的分析。本文介紹由離散小波轉換設計的演算法,實現於實際量測系統,並實測多種動態負載,與IEEE Std. 1459-2010所計算的電力量作比對。期望使用小波轉換計算電力量的演算法,往後能應用於各項電力品質管制與改善。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150301
87 奈米國際量測能力比對結果之回顧與分析 在奈米尺度的量測分析上,目前已有多種儀器與量測方法廣泛被使用,然而,面對相同的待測件時,即使是儀器與量測方法相同,卻可能產生不同的結果。因此,量測能力與技術的調和與標準化,顯得更為重要。工業技術研究院量測技術發展中心多年來致力於奈米量測技術的研發與應用,提供業界奈米相關參數之計量追溯服務。為加速奈米量測技術的產業化,舉辦了多次量測能力比對活動,調和奈米尺度的量測能力與技術。此一系列屬於先期研究性質的比對計畫,受到國際相當的重視,也強化了國際間奈米計量技術發展之能量。本文回顧歷年來量測中心所主辦之奈米國際量測能力比對,作為未來檢測技術發展與應用之參考。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150115
88 使用四點探針法進行矽片電阻標準的國際比對 亞太計量組織材料工作組(APMP WGMM)的批准,於2011年8月至2012年1月期間,首次由韓國的KRISS、台灣的工研院量測中心和中國的NIM,對阻值為10 Ω、100 Ω和1000 Ω的矽晶圓片電阻標準進行國際比對。比對的順序為KRISS,CMS /工研院、NIM,最後由KRISS再次進行測量,量測的方法為使用四點探針法搭配單一或雙重配置的技術。透過平均三個實驗室的量測結果,而獲得每一個標準件的參考值,標準件參考值與測值之間的差異為10 Ω為0.22 %、100 Ω為0.17 %、及1000 Ω為0.12 %。 Journal of Electrical   Engineering & Technology 20150115
89 X射線反射儀於多孔隙奈米薄膜上的檢測應用 奈米科技利用物理、化學、電子、機械、材料及量測等技術,研究奈米尺度下的物質、設備的開發;根據國際半導體技術藍圖 (international technology roadmap for   semiconductors;ITRS) 的預測,半導體產業將於3 年後進入14 奈米量產,意味著超大型積體電路 (ultra large-scale integration;ULSI) 的元件尺寸和元件間的距離持續縮小來達到優化的電晶體容量與運算速度;而針對高效能元件其內連接導線的尺寸也需相對縮小。透過降低介電常數材料的介電值,可以降低導線之間的電容效應與漏電電流,改善積體電路的散熱效能及寄生電容。傳統半導體使用二氧化矽作為介電材料 (介電值為3.9),因此利用空氣 (介電值為1) 的加入,介電材料中可大幅降低介電值與電容值。本研究利用X 射線反射儀搭配氣體流量控制系統 (mass flow control;MFC) 建立一非破壞性多孔隙尺寸量測技術,可提供奈
米級孔隙的尺寸大小與分布。
量測資訊雙月刊(量測中心) 20150105
90 高溫下負載應力對於銅/錫介金屬化合物成長之影響 可靠的銅/錫焊點製造在微電子產業中至關重要。在本研究中,我們測試了不同負載與溫度控制條件下的焊點,研究外在應力對介面銅/錫金屬化合物成長(IMCs)的影響。藉由在銅基板上電鍍一層錫(25微米厚)來準備測試樣品。然後,將樣品夾持在一個與高溫爐整合的微機械測試裝置上。實驗藉由使用負載回饋控制來執行,並確保施加25,50與100 MPa的固定負載,並在固定溫度200℃時分別進行24,72與120小時的烘烤時間。然後,我們比較了外加應力與沒有應力的樣品來說明應力與時間對於介金屬化合物形成的影響。我們的研究結果顯示,外加應力的存在影響銅/錫介金屬化合物的形成,包括形成速度與厚度。更進一步,大致上外加應力改變下形成的介金屬化合物微結構取決於應力的施加量。 Journal of electronic   materials 20150105
91 非破壞、非接觸式之薄膜兆赫光學與電性量測技術 工業技術研究院量測技術發展中心建立差動式雙調變THz   薄膜介電常數量測技術,量測500 nm 之SiO2 薄膜樣品,在 (0.1 至0.5) THz 頻段之介電常數平均值5,與一般塊材相符。另利用訊號減掉基板與薄膜厚度不均所引起的背景值,克服差動量測時所遇到的折射率量測偏差問題,完成285 nmSiO2之折射率與介電常數頻譜,其結果亦與一般塊材相似。更進一步運用自製兆赫波時域頻譜分析技術,可達到非接觸、非破壞的檢測金屬或導電性半導體薄膜之電性,量測不確定度<5 %,與接觸式之四點探針同等級。在國際技術比較上,可看到本技術所具備的優越性,可用來分析其他薄膜之光電特性。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150101
92 空氣微粒計數器量測標準與技術 由於奈米科技與技術的持續發展,許多工業材料紛紛奈米化,以期透過奈米化,改變材料的物性與化性,增加產業的附加價值。為了驗證材料奈米化的加工性能與特性,建立奈米粒子粒徑以及濃度的量測技術與檢測標準,即成為不容忽視的重要關鍵。目前市場上量測奈米粒子濃度,以凝結粒子計數器為最大宗。2012年,工業技術研究院量測技術發展中心於奈米國家型計畫經費支持下,建立了一套凝結粒子計數器之偵測效率量測系統。量測結果顯示,於95 %的信賴水準,涵蓋因子為2.0之下,粒徑量測範圍介於50 nm至200 nm,數量濃度介於103 cm-3至104 cm-3,最大相對擴充不確定度為2.4 %。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150101
93 奈米拉伸量測系統與應用 本文主要為介紹奈米拉伸量測系統的校正與追溯,並介紹其量測應用。在機械性質參數的萃取上包含材料強度、楊氏模數、破壞韌性、儲存與損耗模數等。材料的量測種類則包含高分子複合材料薄膜、電鍍與沉積的金屬薄膜、封裝用金屬絲線與生物樣品如蜘蛛絲等材料的機械性質檢測。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150101
94 溶液中超細微粒子線上監測系統之開發研究 由於半導體製程線寬持續朝物理極限邁進,傳統常用之粒徑檢測技術   (如粒徑檢測儀與液相粒子計數器) 因可偵測最小極限僅約40 nm 至200 nm,已不敷半導體產業所需,故發展高解析度且具在線監測奈米粒子溶液能力之系統為當務之急。本文將介紹目前工業技術研究院量測技術發展中心開發之溶液中超細微粒子線上監測系統,可將粒徑監測極限提升至10 nm,以滿足半導體產業對線上監測設備之需求。 量測資訊雙月刊(量測中心) 20150101

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  • 網站最新更新日期 : 2019/09/12
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