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【D19】線距校正系統

服務之儀器 
(1)線距標準片 (Pitch Standard)(使用原子力顯微鏡,AFM)
(2)線距標準片(Pitch Standard)(使用雷射繞射儀)
(3)線寬標準片(Line Width Standard)(使用原子力顯微鏡,AFM)
校正範圍 

(1) 50 nm to 25 µm

(2) 280 nm to 10 μm

(3) 50 nm to 1000 nm

不確定度 
(1) 0.13 nm to 1.7 nm
(2) 0.009 nm to 6.3 nm
(3) 3.3 nm to 20 nm
校正點數說明 
(1) 量測值為原子力顯微鏡對送校件在單一掃描影像量測5個不同位置所得之平均值
(2) 量測值為雷射繞儀對送校件重複量測3次所得之平均值
(3) 量測值為原子力顯微鏡對送校件在單一掃描影像量測5個不同位置所得之平均值
校正費用 
(1) 16,000元/點
(2) 8,900元/點 
(3) 20,000元/點
送校件須知 
1. 請隨附送校標準片說明書
2. 送校件校正點於送校前請自行測試  
3. 項(1)使用原子力顯微鏡量測線距,送校件待校區域需包含至少10條刻線
4. 項(2)使用雷射繞射儀量測線距,送校件線刻度圖案尺寸需大於1 mm x 1 mm
5. 項(3)使用AFM量測線寬,送校件尺寸不得超過1.5 cm × 1.5 cm之面積範圍

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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聯絡地址:30011 新竹市光復路二段321號16館 Tel:03-573-2243、03-573-2244 

收/取件時間:週一至週五 上午 09:00 ~ 12:00 下午01:00 ~ 04:00 (國定及例假日除外)

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  • 網站最新更新日期 : 2019/06/20
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