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【D28】掃描式電子顯微量測系統

服務之儀器  標準粒子、線距標準片 
校正範圍  (1) 標準粒子之粒徑:10 nm to 60 nm
(2) 線距標準片之線距:70 nm to 1000 nm  
不確定度  (1) 1.5 nm to 5.4 nm
(2) 0.30 nm to 3.0 nm  
校正點數說明  (1) 粒子粒徑量測值為量測100顆粒子所得之粒徑平均值。
(2) 同一線距片不同標稱線距之待校線距區塊以及不同線距片,皆算不同件。  
校正費用  (1) 14,000元/件
(2) 14,000元/件  
送校件須知  1. 若為初次送校,請隨附原廠報告;若為再校,則請附前次送校之工服編號。
2. 送校件為標準粒子時,應具良好分散為佳,其量測結果可信度愈高。 

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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  • 網站最新更新日期 : 2019/09/12
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