| 服務之儀器 | 真圓度標準件 (圓球狀、半球狀、圓柱狀） |
|---|---|
| 校正範圍 | 直徑：≦ φ200 mm；失圓度：0.01 μm to 2 μm |
| 不確定度 | 20 nm |
| 校正點數說明 | 沿送校件中央線於 12 個不同方位各量測一次，分析計算輪廓相對於最小平方圓之偏移量 |
| 校正費用 | 9,300元／件 |
| 送校件須知 | 1. 底座直徑須大於 30 mm 及小於 200 mm，且重量不超過 10 kg。 2. 量測面必須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象。 3. 保護蓋須完整無破損現象。 4. 送校之真圓度標準件應為送校單位之最高參考標準。 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等
