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【D18】雷射干涉儀校正系統

服務之儀器  (1) 雷射干涉儀(含環境感測器)(Laser Interferometer)
(2) 量錶校正器(Dial Indicator Calibrator) 
校正範圍 
(1) 位移:0.1 m to 10 m,溫度:15 °C to 30 °C,相對濕度:40 % to 60 %,壓力:85 kPa to 105 kPa
(2a) 0 mm to 15 mm (解析度:0.2 μm)
(2b) 0 mm to 30 mm (解析度:0.1 μm)
(2c) 0 mm to 30 mm (解析度:1.0 μm)
(2d) 0 mm to 60 mm (解析度:0.1 μm)
不確定度 
(1) 位移 (加入環境感測器時)︰[622 + (120L)2]1/2 nm
    L 為以 m 為單位之量測位移數值
    溫度 (空氣感測器):0.1 ℃,溫度 (物質感測器):0.1 ℃,
    相對濕度:1.0 %,壓力:16 Pa
(2a) 0.34 μm
(2b) 0.46 μm
(2c) 0.73 μm
(2d) 0.81 μm
校正點數說明 
1. 位移校正:行程 10 m,每隔 1 m校正 1 點,去程回程共 20 點
2. 位移校正:行程及間隔另可依顧客需求而定
3. 環境感測器校正 (溫度、濕度、壓力)
校正費用 
(1) 位移校正 15,000 元,溫度校正 3 點 3,500 元,壓力校正 5 點 5,000 元,濕度校正 3 點 3,500 元 (溫度、壓力、濕度每加校正 1 點加收 1,000 元)
(2) 9,500 元/15 點 (每加 1 點加 500 元)
送校件須知 
  1. 雷射干涉儀位移量測系統包含電腦 (安裝有雷射讀值與環境感測器讀值)、雷射頭、電源線、干涉鏡組、角偶稜鏡、環境感測器及顯示器 (含數據處理卡、量測軟體) 等。
  2. 送校件必須能正常工作。
  3. 請隨附操作手冊及產品規格。
  4. 環境感測器須可由顯示器或量測軟體顯示。

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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  • 網站最新更新日期 : 2019/11/15
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