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【D21】階高校正系統

服務之儀器 
階高標準片(Step Height Standards) 
校正範圍 
(1) 光學式:0.01 µm to 100 µm
(2) 探針式:0.01 µm to 50 µm
不確定度 
(1) 光學式 (h ≤ 3 µm):[32 + (1.2h)2]1/2 nm
   光學式 (h > 3 µm):[9.52 + (3.6h)2]1/2 nm
(2) 探針式:[52 + (3.2h)2]1/2 nm
h 為以 μm 為單位之階高量測值
校正點數說明  (1) 視待測面大小,於 (1 ~ 4) 個位置各量測 2 次,取其平均值為量測值
(2) 視樣本材質、圖案與高度之限制以決定使用光學式或探針式校正
校正費用  (1) 單一階高:7,500 元/片
(2) 兩個階高:15,000 元/片
送校件須知  1. 請隨附送校標準片說明書。
2. 試片具長條形凹或凸槽,槽長須大於 700 μm。
3. 量測面須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象。

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等

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聯絡地址:30011 新竹市光復路二段321號16館 Tel:03-573-2243、03-573-2244 

收/取件時間:週一至週五 上午 09:00 ~ 12:00 下午01:00 ~ 04:00 (國定及例假日除外)

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  • 網站最新更新日期 : 2019/11/15
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