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【D22】薄膜量測系統 

 

服務之儀器 
(1) 二氧化矽薄膜標準片 (SiO2 Silicon Dioxide Reference Materials) (使用分光式橢圓偏光儀)
(2) 薄膜標準片 (SiO2, HfO2, Al2O3 Reference Materials) (使用 X 射線儀)
校正範圍 
(1) 1.5 nm to 1000 nm
(2) 1.5 nm to 200 nm
不確定度  (1) 0.10 nm
(2) 0.02 nm
校正點數說明  只量測送校薄膜片鍍膜區塊之中心點
校正費用  (1) 13,000 元/點
(2) 32,500 元/點
送校件須知 

1. 若為初校,請隨附原廠報告;若為再次送校,則請附前次送校之工服編號。
2. 請註明送校晶片校正前是否需要清洗處理。
3. 請於預約單的指定時間與指定地點送件,不接受提早收件。
4. 送件方式:自行送件或快遞送件 (附切結書於外包裝),經校正人員當場簽收,不接受其他送件方式。

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等
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聯絡地址:30011 新竹市光復路二段321號16館 Tel:03-573-2243、03-573-2244 

收/取件時間:週一至週五 上午 09:00 ~ 12:00 下午01:00 ~ 04:00 (國定及例假日除外)

主管單位:經濟部標準檢驗局  執行單位:工業技術研究院 量測技術發展中心   ©2023 NML 國家度量衡標準實驗室 All Rights Reserved.   隱私權保護政策

  • 網站最新更新日期 : 2023/03/24
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