| 服務之儀器 | 矽片電阻標準(Silicon Sheet Resistance Standards) |
|---|---|
| 校正範圍 | 0.15 Ω~4000 Ω |
| 不確定度 | 0.46 %(相對) |
| 校正點數說明 | |
| 校正費用 | 10,000元／片 |
| 送校件須知 | 1. 送校晶片須為未經製程處理(如金屬鍍膜)之矽晶片 2. 請附送校矽片電阻標準晶片厚度值及校正值歷史資料 3. 送校晶片校正位置為晶片中心點1點 4. 送校晶片直徑須為3英吋或4英吋 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等
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