| 服務之儀器 | 塊材(Bulk Material)、薄膜(Thin Film Specimen) |
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| 校正範圍 | 位移：50 nm to 300 mm；力量：0.5 mN to 10 mN |
| 不確定度 |
壓痕硬度：2.7 % (相對)
減縮模數：3.1 % (相對)
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| 校正點數說明 | 依上述施力範圍內，給一固定施力，重複測試5次 |
| 校正費用 | 3,800元／件(5點)(每加1點加700元） |
| 送校件須知 | 1. 送件樣本表面須平整，無污損 2. 樣本夾持時可能會污染樣本背面，如有特別需求請另行告知 3. 送件樣本尺寸建議小於15 mm x 15 mm |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等
