技術簡介
1. 水氣量測：追溯至日本NMIJ水氣原級標準之光腔衰盪光譜分析儀（CRDS）用以偵測氣體中微量水氣分析(ppb濃度)。
2. FTIR檢測：利用不同氣體分子吸收不同特定紅外光波長的特性進行偵測，具有不純物定性能力，亦可on-site即時量測製程氣體成分及濃度變化。
3. 質譜檢測：不同氣體樣品經電子撞擊產生特定質荷比（m/z）離子，搭配層析與前濃縮系統，可定性定量分析sub ppb 濃度不純物。
應用場域
運用光譜與質譜技術聯用，解決氣體關鍵不純物分析定性定量問題。可提供產業服務的對象/領域包括：食品檢驗、食品原物料有害物質殘留檢驗、機艙內呼吸氣體檢驗等。
技術服務窗口
劉信旺 電話：03-5732938； E-mail： HWLiu@itri.org.tw
張貼日期: 2022年8月