【E27】片電阻校正系統

服務之儀器	矽片電阻標準(Silicon Sheet Resistance Standards)
校正範圍	0.15 Ω~4000 Ω
不確定度	0.46 %(相對)
校正點數說明
校正費用	10,000元／片
送校件須知	1. 送校晶片須為未經製程處理(如金屬鍍膜)之矽晶片 2. 請附送校矽片電阻標準晶片厚度值及校正值歷史資料 3. 送校晶片校正位置為晶片中心點1點 4. 送校晶片直徑須為3英吋或4英吋

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等