| 項次 | 技資中文名稱 | 中文摘要 | 會刊名稱 | 發表日期 |
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| 1 | 可調頻連續波雷達測速儀檢測技術研究 | 根據美國 IIHS 高速公路安全保險協會(Insurance Institute for Highway Safety)發布的一份研究報告指出速限每提高5 mph (約時速8 km/h)就會增加4 ％的車禍致死率。速度會影響反應距離及衝撞力道，當速度越快，所需的反應距離越長，發生事故的機率相對較高，不僅如此，當車速較快時，動能也比較大，一旦發生車禍，造成的傷害也越大，死亡的可能性也會提升。為了避免民眾開快車而發生事故，馬路上都會架設雷達測速儀，隨著科技的進步，雷達測速儀從最初的單頻率（Continuous Wave，CW）量測單一車輛的速度，進步到了可調變頻率（Frequency-Modulated Continuous Wave，FMCW）量測多車輛的技術。因此，本文針對雷達測速儀相關原理與法規作分析，並進行討論研擬可調變雷達測速儀檢定檢查技術規範草案，確保直執法機關執法之公平性，降低社會大眾對執法設備判定之疑慮，並提供標準檢驗局作為未來可調變雷達測速儀計量管理參考。 | 量測資訊（量測中心） | 20250227 |
| 2 | 電動車無線充電樁原理與標準研究 | 隨著全球對環保與綠運輸(Sustainable Transport)的高度重視，電動車(Electric Vehicle, EV)已成為未來交通發展的重要趨勢。然而，目前充電基礎設施的建設仍存在許多挑戰，包括建置成本、空間需求及使用便利性等問題。有鑑於此，無線充電樁作為一項創新的解決方案，正逐步進入全球市場，並展現其潛在應用價值。無線充電樁技術不僅提升了電動車充電的便捷性，減少實體插拔操作所帶來的磨耗與風險，更進一步改變了人們對於未來電動車充電模式的想像。隨著相關技術持續成熟與標準逐漸完善，無線充電有望在智慧交通與綠能發展中扮演關鍵角色。 | 量測資訊（量測中心） | 20251128 |
| 3 | EN 1793-5、ASTM C423 與 ASTM E1050 在聲學材料吸音性能評估的差異探討 | 吸音係數(Sound absorption coefficient, α)是評估材料聲學性能的重要指標。然而，吸音係數的量測結果因量測方法的不同而存在差異，國際間常用的吸音係數量測規範在量測條件、設備配置與數據處理上各有差異。此類差異將影響材料性能準確評估、材料選用及實務應用之適切性。 本研究針對量測方法進行比較分析，分別採用三種標準量測方法，包含EN 1793-5、ASTM C423 及 ASTM E1050，量測兩種材料的吸音係數。結果顯示，ASTM C423在評估材料性能上，適合評估在室內使用的吸音材料。EN 1793-5提供與實際安裝條件相近的結果，適合現地評估之用。而ASTM E1050因量測價格相對較低，適合初期材料研究。 |
31st International Congress on Sound and Vibration | 20250709 |
| 4 | EN 1793-5、ASTM C423 與 ASTM E1050 在聲學材料吸音性能評估的差異探討 | 吸音係數(Sound absorption coefficient, α)是評估材料聲學性能的重要指標。然而，吸音係數的量測結果因量測方法的不同而存在差異，目前國際間常用的吸音係數量測規範在量測條件、設備配置與數據處理上各有差異。此類差異將影響材料性能準確評估、材料選用及實務應用之適切性。 本研究針對量測方法進行比較分析，分別採用三種標準量測方法，包含EN 1793-5、ASTM C423 及 ASTM E1050，量測兩種材料的吸音係數。結果顯示，ASTM C423在評估材料性能上，適合評估在室內使用的吸音材料。EN 1793-5提供與實際安裝條件相近的結果，適合現地評估之用。而ASTM E1050因量測價格相對較低，適合初期材料研究。 |
CSSV2025 第16屆第1次會員大會暨第32屆學術研討會 | 20250627 |
| 5 | APMP.AUV.A-K5 關鍵比對最終報告 | 本報告為APMP.AUV.A-K5關鍵比對的最終報告，針對2 Hz至10 kHz頻率範圍內之實驗室標準麥克風的壓力場靈敏度進行比對。共有八個實驗室參與關鍵比對，比對方式是以兩支標準麥克風分送至各實驗室進行量測，收集麥克風靈敏度校正報告呈現的結果，分析麥克風靈敏度位準與靈敏度相位的量測結果，透過三個連結實驗室(NIM、KRISS、NMIJ/AIST)，與 CCAUV.A-K5 的關鍵比對參考值(KCRV)建立關聯。 | Metrologia | 20250630 |
| 6 | CMS的原級露點/霜點產生器於-50 °C 至 10 °C下的不確定度評估 |
低露點/霜點量測在氣體計量、半導體製造與環境監測等多項產業應用中扮演關鍵角色。為確保工業流程的一致性與可靠性，必須具備此量測範圍內準確且可溯源的校正能力。為回應低濕量測可溯源需求，CMS 建置了低露點/霜點量測系統，可提供 10 °C 至 -50 °C 的露點/霜點校正能力。 本研究依循《量測不確度表達指南（GUM）》方法，進行 CMS 低露點/霜點量測系統之不確度評估。不確度預算涵蓋飽和溫度不確度、飽和壓力與測試壓力的不確度、產生器飽和效率相關不確度等多項來源，並對系統之量測可靠性與可能的不確度來源進行完整分析。 研究結果顯示，量測系統於全量測範圍內之擴充不確度（𝑘 = 2.0）介於 0.052 °C 至 0.12 °C。為建立國內低露點/霜點量測之可溯源性，本研究提出量測技術並進行不確度評估，將國家濕度計量之追溯鏈延伸至低露點/霜點區域，補足現行可溯源能力在此量測範圍的不足。 |
TEMPMEKO | 20251020 |
| 7 | LSTM模型應用於預測光澤面與霧面之角度相依反射率分布 | 本研究介紹一項創新的循環神經網路，稱為長短期記憶，並以此做為預測模型，此預測模型可被用於預測光澤面與霧面色彩樣本之角度相依反射率分布。在本研究中，2D反射率量測系統被開發以用於量測角度相依反射率，量測系統主要以半圓旋轉機構、高解析度數位相機與高品質白光LED構成，半圓旋轉機構被設計成可沿著垂直方向的10度~170度旋轉。兩種具有光澤面與霧面之ColorGauge色彩導表被選用做為測試色票，測試色票包含光澤白色、光澤黑色、霧面紅色、霧面綠色與霧面藍色。測試色票的反射率分布被2D反射率量測系統量測，量測而得的反射率資料則當作訓練資料，被用於訓練LSTM模型。隨後與二次回歸、三次回歸做比較，LSTM模型的平均CIE L*差值為0.09，低於其他兩者；因此，LSTM被確認在預測反射率分布上有較好的表現。此外，LSTM模型也經由額外的測試樣本(10個有色霧面樣本與5個光澤無色樣本)做驗證。經平均之CIE L*最大值與最小值分別為3.77與0.64，較小的預測誤差指出，LSTM模型展現出優良的預測表現。 | Coloration Technology | 20250108 |
| 8 | 由全穿透和擴散穿透比對結果探討數值差異 | 國家度量衡標準實驗室針對高穿透霧度樣品在亞太地區舉辦先期研究比對。量測穿透霧度(Transmittance Haze; TH)過程中，同時也會獲得該樣品之全穿透(Total Transmittance; TT)和擴散穿透(Diffuse Transmittance; DT)的數值，本文主要以雙補償的方式比較進行，因為此方式量測過程中不會有積分球架構不一致產生的誤差，會獲得會比較接近理論值數據。結果顯示穿透霧度接近90 ％的樣品，實驗室之間誤差也較大；以En值評估實驗室間差異，除了TH~40 ％的樣品在TT時大於1之外，其它樣品在DT和TT結果都小於1。 | 量測資訊（量測中心） | 20250630 |
| 9 | 利用真空紫外光照射合成氧化石墨烯薄膜 | 在本研究中，我們提出了一種新穎的方法，透過在含氧氣體環境中，將單層石墨烯（SLG）薄膜暴露於130 nm的強烈真空紫外光（VUV）輻射下，以合成氧化石墨烯（GO）。此一光化學過程會在石墨烯結構中引入缺陷與含氧官能基，進而顯著改變GO的發光特性。在此GO中觀察到雙重發光特性：一為波長414 nm的主要發光，歸因於局部氧官能基的n−π∗電子躍遷；另一為波長約588 nm的次要較弱發光，來自於去在化缺陷態。進一步的拉曼光譜、X射線光電子能譜（XPS）與時間解析螢光生命期量測提供了有關GO發光機制的重要見解。這些發現凸顯了氧官能化與缺陷導入在提升光學特性方面的重要性，並提供光電元件的先進應用之可能性。 | Optical Materials | 20250301 |
| 10 | 利用靜電採集器收集氣膠奈米粒子的方法開發 | 隨著半導體製程節點縮小至奈米級，製程氣體、試劑、以及環境中的非揮發性微污染物可能附著在晶圓表面，進而造成晶圓缺陷以及半導體元件的良率下降；因此，開發氣相中的非揮發性微污染物收集技術，將提升半導體製程環境的潔淨度，有助於控管晶圓表面缺陷。氣相微污染物的收集方法包含衝擊法(impingement)、撞擊法(impaction)、靜電法(electrostatic method)，其中，靜電收集法利用電場將帶電氣膠粒子吸附於基板上，並且對尺寸愈小的微污染物呈現愈佳的收集效率，為現今半導體製程環境微污染物控管的潛力解決方法。本研究的目的是以靜電法為基礎，開發靜電收集器（Electrostatic Precipitator, ESP），評估不同尺寸氣膠粒子的收集效率。實驗系統架構包含霧化裝置(Atomizer)、靜電中和器(Neutralizer)、微分電移動度分析儀(Differential mobility analyzer, DMA)、靜電收集器、以及凝核粒子計數器(Condensation particle counter, CPC)。實驗流程是藉由霧化裝置將液體樣品轉換為氣膠粒子(aerosol)，以中和器使粒子帶電，於微分電移動度分析儀、藉由施加電壓篩分不同粒徑的氣膠；產生特定粒徑的氣膠粒子進入靜電收集器進行收集，而靜電採集器出氣口接上凝核粒子計數器、達到顆粒濃度的即時量測。粒子收集效率的計算公式為：[1-(開啟靜電收集器收集的實際奈米粒子數量/未開啟靜電收集器收集的實際奈米粒子數量)]*100 ％。實驗結果顯示，所開發的靜電採集器對不同粒徑的奈米粒子具有極高的收集效率。對粒徑5 nm、10 nm、25 nm、100 nm的氣膠粒子，收集效率均達100 ％，200 nm奈米粒子時收集效率99.9％，500 nm粒子的收集效率則為91.3％。收集氣膠粒子於晶圓表面，並使用原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)進行粒子尺寸的驗證，結果說明收集粒子的粒徑與預期一致，證實靜電採集器的效能。 本研究所開發的靜電收集器收集技術能夠有效收集尺寸範圍(5~500) nm的氣膠奈米粒子，顯示其在半導體製程中對於微粒控制和潔淨度提升的潛在應用價值。隨著半導體製程逐步進入奈米級，氣膠奈米粒子對晶圓表面缺陷的影響日益顯著，因此，開發能夠高效收集不同粒徑奈米粒子的技術將對提升半導體製程中的潔淨度、減少缺陷率和無效製程時間具有重要意義。未來，本技術有望進一步優化，並在半導體製造中實現大規模應用，提供更精確的粒子監控方案，從而提升產品良率與製程效能。此外，隨著環保需求的提高，靜電收集技術也可作為一種節能減碳、環保的汙染物控制方案，對半導體產業的可持續發展做出貢獻。 |
環境分析研討會 | 20250507 |
| 11 | 利用單一顆粒感應耦合電漿質譜儀建立金奈米粒子數量濃度之原級方法 | 由於奈米材料具有獨特的物理化學性質，已被廣泛整合應用於創新的工業與消費性產品中。為確保產品品質並符合法規要求，建立奈米粒子濃度對國際單位制(SI)的量測追溯性至關重要。本研究建立了一套基於單顆粒感應耦合電漿質譜法(spICP-MS)的原級量測系統，用於校正液體懸浮液中金奈米粒子(AuNPs)的數量濃度。本系統的傳輸效率測定採用英國政府化學家實驗室(LGC)所使用的動態質量流(DMF)法，該方法可追溯至質量與時間的 SI 單位。透過將 spICP-MS 作為粒子計數器，我們開發了一套粒子濃度的基準方法。此系統能夠量測粒徑範圍為 15 nm 至 100 nm，且數量濃度介於 5.00*10^3 particles/g 至2.00 * 10^12 particles/g 的金奈米粒子。依據 ISO/IEC Guide 98-3:2008 進行量測不確定度評估，在 95％ 的信心水準下，其相對擴充不確定度為 15％。本研究為台灣先進半導體、化妝品及食品產業提供了關鍵的量測追溯服務，進而支持其全球競爭力。 | The 11th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2025) | 20251126 |
| 12 | 以spICP-MS探討存放條件對氧化鐵奈米粒子穩定性之影響 | 奈米粒子參考物質在量測領域中扮演重要的角色，目前被廣泛應用於微量污染追蹤、粒徑校正與化學品純度評估，同時也是量測結果可以追溯的重要依據。然而，奈米粒子參考物質若不能妥善存放，則可能產生粒子變質及汙染導入的問題。本研究以評估氧化鐵奈米粒子為研究目標，透過單一顆粒感應耦合電漿質譜法(Single Particle Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry, spICP-MS)，系統性探討溫度、容器材質等儲存條件對低濃度氧化鐵奈米粒子(3.5 μg·kg-1)穩定性的影響。結果顯示，儲存溫度與容器選擇會影響粒徑與粒子數，並造成保存期限的縮短。此研究結果有助於奈米粒子標準品的保存指引制定，並提升奈米粒子分析之準確性與可靠性。 | 量測資訊（量測中心） | 20251128 |
| 13 | 單一顆粒感應耦合電漿質譜法校正與量測程序 | 本文闡述單一顆粒感應耦合電漿質譜法於奈米粒子顆粒濃度及尺寸定量的校正與量測程序。傳輸效率的嚴謹測定是實現儀器訊號準確量化的核心。文章詳述兩種主流測定方法：顆粒頻率法與顆粒尺寸法，兩者皆仰賴具已知特性之奈米粒子參考物質進行校正。顆粒頻率法計算需包含粒子密度等參數，因其實測值常偏離體積密度，成為量測不確定度的主要來源。顆粒尺寸法則依賴離子與奈米粒子感度比值，其準確性建立在多項假設之上，如溶解態與顆粒態分析物在電漿中游離效率相同。透過相關參數與數據計算方法提供spICP-MS的量測流程簡介。 | 量測資訊（量測中心） | 20251128 |
| 14 | 傾斗式雨量計校正系統量測不確定度評估分析 | 由於人類對土地的過度開發，導致氣候產生異常的變遷，使得台灣發生暴雨的機率劇增，因此雨量監測數據成為國土防災的重要資訊之一，隨著科技的進步與發展，各界對雨量監測資訊數量及準確度需求亦逐漸提高。本研究係針對中央氣象署雨量計校正設備的需求，參考各國雨量計校正系統的設計，依據中央氣象署的需求，重新規劃及建立新的雨量計校正設備與校正操作程序，藉由工業技術研究院量測技術發展中心之經驗，針對新建立的雨量計校正設備進行量測不確定度評估分析，使雨量計校正不但可透過最少人力進行校正服務，且校正系統量測不確定度亦可符合中央氣象署實際需求，使中央氣象署雨量計校正結果更具公信力，對於雨量計校正業務有實質助益。 | 中國機械工程學會第42屆全國學術研討會(CSME2025) | 20251206 |
| 15 | CCM.FF-K2.2011 最終報告：5 kg/min 至 60 kg/min 水與碳氫化合物流量之關鍵比對 | “水”與”碳氫化合物”流量量測之關鍵比對（Key Comparison, KC）的目的，是在 CIPM MRA 架構下，支援參與之國家計量研究院（NMI）與指定機構（DI）的校正與量測能力（CMC）。此項比對應產生”關鍵比對參考值（KCRV）”，以及各參與單位相對於 KCRV 的等效程度（DoE）。5 kg/min至60 kg/min 的流量範圍在法定計量領域中具有高度重要性，因為燃料加油機的操作即落在此範圍內，而一個良好的參考值對社會與政府而言至關重要。 | Metrologia | 20250722 |
| 16 | CIPM 水流量關鍵標準比較 CCM.FF-K1.2022 液體流量原級標準比對流量範圍 (0.1 至 10) μL/min 最終報告 | CCM.FF-K1.2022 比對主旨在確定 0.1 μL/min 至 10.0 μL/min 範圍內液體流量的國家標準之間的等效程度。使用科氏質量流量計和熱式流量計被用作傳遞標準。 來自三個區域計量組織 (RMO) 的六個實驗室於 2023 年 4 月至 2023 年 12 月期間參與了此次比對： • EURAMET：瑞士聯邦計量研究院 (METAS)、法國國家計量研究院 (CETIAT)、葡萄牙國家計量研究院 (IPQ) • SIM：美國國家標準與技術研究院 (NIST) • APMP：中國科學院 (CMS)、日本國家計量院 (NMIJ) METAS 作為主辦實驗室，負責執行傳遞標準的重複性和再現性測試，以量化這些因素對傳遞標準測量不確定度的影響，並評估儀器的穩定性。根據M. G. Cox提出的方法，分別確定每個流程的參考值，並進行χ²一致性檢定。計算每個流程和實驗室與KCRV的等效度，以及歸一化等效度或𝐸𝑛值。 |
Metrologia | 20250630 |
| 17 | 廣布式氫氣洩漏偵測技術 | 氫能是邁向2050 年淨零排放最具潛力潔淨能源，近年各國開始大量建置氫氣利用之基礎設施，如產儲氫場、加氫站等。臺灣亦於2025 年與多國氫能機構簽署合作備忘錄以強化國際合作。對於氫氣洩漏評估，傳統置頂式氣體偵測器在正常對流環境不易觀察到硬體設備缺陷產生的微小洩漏，一旦缺陷擴大，環境稀釋速度不夠時即可能造成災害，因此如何在僅有微小洩漏時即找出是一大挑戰。本技術結合「氫致變色薄膜」與「深度學習式影像辨識演算法」，可快速定位場域內高風險處是否有洩漏事件發生。整套系統已於工研院沙崙綠能科技示範場域完成超過790 小時實場耐久性測試，準確度達99 ％。另外針對無法架設攝影機或管線遮蔽等情境，團隊亦正在開發一款無線射頻式解決方案。 | 潔淨科技季刊 | 20251128 |
| 18 | 利用微分電移動度分析儀-凝核粒子計數器(DMA-CPC)進行化學機械研磨液中奈米顆粒之分析 | 化學機械平坦化（CMP)是一種去除晶圓表面材料的拋光製程，是近年來半導體工業中最重要的製程之一。一般而言，CMP製程所用的漿料(Slurry)材料是由去離子水、二氧化矽和二氧化鈰磨料奈米顆粒、氧化劑和有機化合物所組成。其中，磨料奈米顆粒的粒徑是影響製程的關鍵因素之一。較大的顆粒粒徑或是由小顆粒產生的顆粒聚集，有可能造成晶圓刮傷等缺陷。 近期，掃描式粒徑分析儀(SMPS)開始被廣泛應用在磨料顆粒的粒徑分佈量測，該量測過程包含先將液體中的顆粒通過霧化器轉化為氣溶膠，然後進入微分電移動度分析儀（DMA)，藉由充電器充電並根據電移動度進行粒徑篩分，只有特定電移動度的顆粒會通過，然後這些顆粒被帶入凝結粒子計數器（CPC)，進行粒子顆粒數的計算。 然而，漿料溶液中存在的界面活性劑，會在顆粒周圍形成非揮發性的包覆層，造成粒徑量測的不準確。本研究採用電噴霧式（ES)，藉由產生較小尺寸（數百奈米）的氣溶膠，消除界面活性劑對粒徑量測的影響。此外，我們還使用氣推式霧化器結合加熱裝置以去除漿料中的溶劑成分，提高粒徑量測的準確性；並嘗試了兩種前處理的方法（稀釋和pH控制）來提高顆粒的分散穩定性。 |
化學年會 | 20250308 |
| 19 | 半導體原物料有機不純物採集技術開發 | 半導體製程中所使用的溶劑，如異丙醇（Isopropyl alcohol, IPA），其純度對製程有重大影響，若溶劑中有微量的雜質或不純物，將可能導致元件的缺陷或故障，進而影響整個產品的良率和可靠性。IPA內可能存在的不純物主要包括水分、殘留的有機化合物、金屬離子、顆粒等，瞭解不純物成份對IPA製程的改善至關重要，能夠助於優化製程控制，提高產品純度和穩定性。為此，本研究開發一靜電粒子收集器用於採集IPA內有機不純物，並搭配氣相層析質譜儀（Gas Chromatography Mass Spectrometry, GC-MS）進行有機成份分析實驗。 | 量測資訊（量測中心） | 20250227 |
| 20 | 開發奈米粒子有機物成分分析技術 | 製程試劑中的不純物量測是半導體產業重視的議題，因此，半導體產業日益重視奈米粒子尺寸、濃度及成分量測方法的建立，以及量測機台間的比對與校正方法。除此之外，當製程節點持續微縮，半導體產業對製程試劑的不純物尺寸與濃度規格更加嚴苛，尺寸目標＜ 20 nm、濃度＜ 3顆/cm3、以及不純物的成分分析。本研究目標為開發奈米粒子有機物成分分析技術，使用氣相層析質譜儀(Gas Chromatography Mass Spectrometry, GC-MS)建立有機物成分分析的技術。本研究以微分電移動分析儀(Differential mobility analyzer, DMA)產生特定尺寸的奈米有機粒子，由後端的靜電粒子收集器獲取特定粒徑的奈米有機粒子，並使用GC-MS進行有機物成分分析。為確認量測結果的準確性，將使用長碳鏈C12-C30的有機物濃度標準品，進行機台的各項量測參數優化、達到有機物濃度偵測極限＜ 10 μg/kg(ppb)。於小尺寸奈米粒子的有機成分分析，本研究參考Lee ＆ Park等人的實驗裝置[1]，使用衝擊式霧化器搭配高溫爐管產生有機物–鄰苯二甲酸二酯(Di(2-ethylhexyl) phthalate, DEHP)氣膠奈米粒子，透過DMA產生尺寸範圍(10~100) nm的標準粒子、靜電粒子收集器將有機奈米粒子收集至晶圓表面，並由異丙醇萃取、使用GC-MS進行有機物成分分析。本研究除了達到(10~100) nm奈米粒子的有機成分分析，更以DMA量測公式建立粒徑不確定度計算模型、評估粒徑量測的不確定度，確保量測追溯性與正確性。本研究建立小尺寸、低濃度的奈米粒子有機物分析技術，提供半導體製程的污染物監測與品質管控方法。 | 環境分析研討會 | 20250507 |
| 21 | 掃描式移動粒徑分析儀（SMPS）於多成分有機化學品中奈米粒子與非揮發性殘留物分析之應 | 隨著半導體產業的推展，元件尺寸持續縮小，電路設計日益複雜，以及材料種類也日趨多樣化。超純試劑與化學品中的雜質檢測對於確保元件品質與性能至關重要，即便是極微量的污染物，也可能改變材料的電性，進而導致元件失效。 奈米粒子與非揮發性殘留物（non-volatile residues, NVRs）為快速識別超純化學品中雜質的有效指標之一。NVRs 通常包含溶解態無機物質（陽離子與陰離子等）、粒子以及高沸點有機化合物等。近期，掃描式移動度粒徑分析儀（scanning mobility particle sizer, SMPS）已被廣泛應用於量測化學試劑或儲存容器逸散氣體中的奈米粒子與 NVRs 之粒徑分佈與濃度。SMPS 系統一般包含霧化器、微分電移動度分析儀（DMA）與凝結粒子計數器（CPC）。該技術藉由霧化方式產生氣溶膠，並使溶劑揮發後，進而量測氣溶膠粒子之粒徑與濃度。 然而，直接分析含有高沸點（＞300 °C）溶劑之多成分有機化學品中的奈米粒子與 NVRs，仍具有高度挑戰性。本研究開發出一套整合 SMPS 與溶劑去除前處理之量測方法，可有效分析有機化學品中的奈米污染物與非揮發性殘留物。實驗中針對多項參數進行系統性優化，以提升粒徑與濃度之量測準確性。在最佳化條件下，此方法可分辨不同批次有機化學品中的雜質差異。此技術可望作為一實用且高效的雜質分析工具，進一步提升半導體製程的良率與可靠性。 |
IEEE NANO | 20250716 |
| 22 | 校正領域能力試驗樣品之穩定性評估與案例介紹 | 能力試驗(Proficiency Testing)係經由實驗室間比對的方式，依照預先制定之準則評估參加者表現的活動，其被認為是展現實驗室量測能力重要工具之一。基於能力試驗樣品之變異可能影響表現評估的風險，對於校正領域能力試驗計畫，當以相同的樣品傳遞至多家實驗室量測時，應充分鑑別樣品穩定性以確保比對結果有效性。本文將分享本執行機構用於校正領域能力試驗樣品穩定性評估之統計方法，並由實務案例驗證足夠穩定之判斷指標。 | 量測資訊（量測中心） | 20251128 |