前言

依據Mordor Intelligence發表之「Global Semiconductor Metrology and Inspection Equipment Market - Growth, Trends, Covid-19 Impact, and Forecasts (2021 - 2026)」，全球半導體計量與檢測設備市場總值預估將從2020年的41.6億美元成長到2026年的53.7億美元，其中孕育與牽動的商機無限。為此蓬勃發展的重要產業，本刊特別邀請國際半導體產業協會(SEMI)以「迎戰後摩爾時代 SEMI檢測與計量委員會攜大廠尋求未來新解方」揭示產業脈動，再續以介紹各項潛力發展技術。

良率是工業製造決勝負的重要參數，而支撐良率水準的就是製造過程中的計量與檢測，從原物料一直到各段製程，本刊特別節選「前瞻半導體原物料純度與顆粒檢測技術」、「長波長低掠角X光散射關鍵尺寸」、「台灣首套EUV光輻射標準- EUV微影檢測生態系之機會與挑戰」、「穆勒矩陣散射儀於奈米結構三維形貌量測應用」、「晶圓翹曲及應力量測技術」、「全域式微凸塊高度檢測技術」、「B5G/6G通訊材料特性量測技術」、「兆赫波量測技術開發與應用」、「空氣微型粒子偵測器介紹」等深度專文，一一點出研發技術產業化的重要前景。

半導體計量與檢測設備一直是投報率極佳且引領先進製程進步的重要角色，KLA、Applied Materials等大企業在國際市場的成功就是最佳佐證。得益於台灣獨厚的半導體產業聚落，一流的製造業者與學研機構共同創造了研發技術持續促進產業成長的實績，我國每年5 – 6億美元的半導體檢測設備產值中，內銷與輸出約佔各半，穩定的需求讓國內產業有絕佳且高水準的練兵場域，產出具國際水準的高值設備。量測技術將持續為先進製程開眼，創造克服下世代良率挑戰的利器。

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