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105年研究報告

項次研究報告摘要
1 分光輻射通量標準燈量測系統評估技術報告(編號:073A50293) 本技術文件係O02全光通量量測系統分光輻射通量標準燈評估報告,包含了積分球光度計量測系統描述,量測原理,量測方法之介紹。並設計量測品保方法,分析誤差來源、量測系統不確定度評估。 
2 天然氣計量線上流量計算器軟體驗證(編號:073A50216) 天然氣計量時,如果計量錶為低壓錶,壓力及溫度不需補正,只需依據流量計讀錶累計的體積量計量並計費即可。但如果是中壓或高壓管線計量,則需要進行溫度及壓力補正,一般使用流量計算器進行補正,流量計算計依據AGA8 計算壓縮因子然後轉換為基準狀態體積,流量計算器計算是否正確則需要進行驗證
3 電子式非自動衡器型式認證技術規範修訂建議書(編號:073A50207) 本文為CNPA 76"電子式非自動衡器型式認證技術規範"修訂建議書,修正符合2006年版OIML R76-1內容。
4 轉子式氣量計檢定檢查技術規範草案(編號:073A50206) 本技術規範以國際法定計量組織OMIL的國際建議文件R137-1&2:2012 Gas meters和歐盟技術規範文件EN14280:2015 Gas meters - Rotary displacement gas meters為主要技術依據,結合我國轉子式氣量計的現況進行制
5 In-situ加工顫振檢測技術報告(編號:073A50202) 國家度量衡標準實驗室(National Measurement Laboratory;NML)應用自行開發之超音波感測器線上量測工具機於加工時刀具與工件之間的振動情況,藉由振動的大小與頻率搭配自行開發的軟體進行分析,一旦發現顫振的情況產生立即警示,可以協助加工時線上即時發現顫振的情況並停止加工以免造成人力物力的損害。In-situ加工顫振檢測技術可以檢測2 Hz到7 kHz的訊號,可以解析的振幅達4 μm,將可以提供國內工具機與加工產業一套成本低、操作方便並能夠於產線上使用的線上顫振檢測系統。
6 小型光學式粒子計數設計製作概要(編號:073A50200) 2015年本部設計了光學粒子計數器;為了廣泛應用於醫藥、電子製程、精密機械、空氣污染監測、微生物及生物醫學製程等行業中,實現對各種無塵等級的工作台、無塵室的製作監測,從而確保產品的品質。今年我們設計出更小體積的光學粒子計數器。腔體體積縮小為原體積之50 %。本報告是在基本光學原理下設計以高功率發先二極體作為光源及縮小體費之粒子計數器(Optical Particle Counting)。
7 非侵入式流量量測技術(編號:073A50199) 本計畫應用溫度振盪紅外熱成像(TOIRT)方式達成非侵入式流量量測,利用脈衝雷射提供週期性輸入熱源,以紅外線熱顯像攝影機對目標物進行溫度監控,針對熱顯像技術量測加熱點周圍之溫度分佈進行溫度量值與相位差變化來推估管內之流體熱對流系數,再進而推算管內之流體流量。除了建構工作流體為水及空氣之非侵入量測方法,並針對半導體產業中常用氣體氮氣以及燃料電池製程中常用液體甲醇溶液,完成可行性研究。
8 不同架構下之全保偏摻鉺光纖鎖模八字形雷射(編號:073A50198) 這篇技術報告主要在研究全保偏光纖所構成的八字型光纖雷射如何透過非線性放大迴圈鏡達到被動鎖模。為了達成低相位雜訊和穩定鎖模,我們測試許多不同元件和架構並且闡述腔內色散、非線性條件對雷射表現的影響。在每個架構中,我們量測了光功率、光譜和時域下的脈衝形狀等輸出特性並將不同架構下的量測結果互相比較。一些特別的結果像是:環圈間的切換行為、單孤子和束縛孤子也有被觀察到。除此之外,為了比較不同的鎖模機制,我們也研究了透過非線性偏極旋轉的鎖模機制。最後,透過加入不可逆元件,我們成功做出可穩定鎖模,不受環境干擾的八字形雷射,它可以產生出次皮秒,彼此間距為20奈秒的脈衝,時序抖動為數個皮秒(積分範圍為1   kHz-1 MHz)的雷射,使其適合用於當作光纖光頻率梳的光源。
9 雙成分標準氣體國內能力試驗比對報告(編號:073A50194) 本報告敘述「雙成分標準氣體國內能力試驗比對報告」之方法與比對結果,由國家度量衡標準實驗室(NML)以傅立葉紅外光譜儀(FTIR),四極柱質譜儀(QMS),氣相層析熱導分析儀(GC-TCD)以及氣相層析火焰離子分析儀(GC-FID)搭配甲基化催化器進行固定污染源空氣污染物連續自動監測設施(CEMS)使用之標準氣體鋼瓶中(平衡氣為N2)SO2,NO,HCl,O2,CO濃度分析。比對活動自2012年起至2016年每年進行1次國內比對活動,比對結果以氣體鋼瓶濃度驗證結果為標準與氣瓶標稱濃度進行比較,以|En|值作為衡量各實驗室濃度驗證分析能力或是國內氣體廠商配製能力之指標。
10 高深寬比矽穿孔深度白光光譜反射量測系統(編號:073A50191) 三維晶片(three dimensional integrated circuit;3DIC)技術解決了過去依循摩爾定律(Moore’s   Law)的半導體技術發展所造成的RC延遲問題,以立體堆疊的封裝方式,從垂直方向較短的路徑做傳輸,因此能夠藉由縮短導線長度大幅降低RC延遲等問題,並且可以降低傳輸時的雜訊與耗能。金屬導線經由矽通孔(Through   Silicon Via ; TSV)直接穿過晶片與鄰近層接點導通,矽通孔蝕刻製程的幾何特徵參數影響著製程良率,如深度及開口大小是檢測的重點。在此計劃中,我們使用光譜反射儀量測技術,並針對矽通孔開發相對應的光學架構。在我們的量測分析中,此技術可以量測高深寬比(high aspect ratio) 大於15:1矽通孔之孔深及孔徑,量測速度小於200 ms,孔徑量測範圍為5 μm到50 μm。
11 多倍率白光干涉形貌量測系統評估(編號:073A50190) 近年來IC製造產業已從2D平面IC製造技術轉向3D立體堆疊之IC製造技術,由於製程結構的密度及複雜度前所未有,因此也同時需要建立各段製程所需的量測技術及量測標準。透過利用多倍率白光干涉形貌量測系統   (White Light   Interferometers)技術,來取代目前破壞性的電子顯微鏡切片檢測方法,進一步提昇量測的精確度應用此方法可量測μ-Bump形貌,因此可分析出μ-Bump高度。運用計畫產出能使國內AOI廠商能力能升級到高規格要求的晶圓檢測等級,提升產品競爭力。
12 超音波氣量計檢定檢查技術規範草案(大型錶)(編號:073A50187) 本技術規範以國際法定計量組織OMIL的國際建議文件R137-1&2:2012 Gas meters和歐盟技術規範文件EN14236:2007 Ultrasonic domestic gas   meters為主要技術依據,結合我國超音波氣量計的現況進行制定。
13 光纖通訊用光梳頻率穩定度分析與其鎖模技術開發(編號:073A50184) 本報告分析利用單錐形光纖將連續波雷射耦合進100   GHz微共振腔後的光梳頻率擾動量,瞬間(<1 s)穩定度與長時間(~1 hr)穩定度分別<10 MHz與< 3 GHz。為了產生更穩定且無須調移激發雷射之波長產生熱三角形的光纖通訊用光梳,我們架設雙耦合架構,並藉由外部共振腔之增益產生多波長雷射,可輸出約>10 個光梳,並看到<2 ps寬的鎖模脈衝。
14 紅外線耳式體溫計準確度測試程序
-實驗室適用(編號:073A50180)
本篇技術報告為實驗室內進行紅外線耳式體溫計準確度的測試方法之依據。其適用之量測範圍為34.0 ℃ ~ 43.0 ℃。
15 可攜式光纖通訊用多波長光源開發(編號:073A50179) 利用光學微共振腔進行高密度分波多工之光纖通訊光源具有取代多個雷射的優勢,目前尚未有真正落實可攜式的應用報導。本文利用可調式單波長光源經由自製的錐形光纖耦合進入熔融石英微共振腔,產生光纖通訊用多波長光源。藉由間接的膠黏與封裝搭配防震方式,整機裝箱後以汽車載到遠處場域進行光梳可靠性與光纖通訊品質測試。結果顯示光梳仍可持續穩定產生,當調整入射光的波長、功率與偏振態產生四倍自由光譜範圍之光梳時,可產生最好的光纖通訊傳輸品質,誤差向量幅值量測結果為3.8 %,接近一般可進行通訊的3 %門檻。
16 微波散射參數量測標準簡介(編號:073A50178) 為延續資通訊產業優勢,「深耕4G/B4G、布局5G」行動通訊技術,儼然成為國內通信產業發展勢在必行的趨勢。同時,5G通訊技術更是目前政府及民間企業所積極投入之研發標的,其中主要的關鍵技術如大規模輸入輸出(massive MIMO)、毫米波波形設計(mm wave waveform design)、同頻同時全雙工技術(co-frequency co-time full duplex)、以及動態頻譜分享(dynamic spectrum sharing)技術的研發都與S (散射參數)參數量測技術息息相關。基本上,微波S 參數係利用網路分析儀,配合精密的校正組件(Calibration Kit)及標準校正程序進行量測,並透過標準件(Verification Kit)執行驗證程序,以確保量測的準確性,且該標準件依據完整的追溯體系,可追溯到SI基本單位。本文主要探討如何建立3.5 mm微波S 參數的標準及其追溯體系,同時亦探討其關鍵追溯參數,以確保網路分析儀在量測上的可靠性。
17 OIML R76:2006法規之電子衡器附加測試新增部分相容性測試研究報告(編號:073A50176) 本研究報告為針對國際規範OIML R76-1:2006電子性能測試新增項目,研究國內非自動衡器型式認證指定實驗室執行測試之可行性探討。
18 自製雙流體霧化模組應用於溶液中粒子數量濃度量測之效率研究(編號:073A50175) 本技術報告係探討105年度執行標檢局產業計量計畫所開發之雙流體霧化模組應用於掃描式電移動度粒子篩選器(Scanning mobility particle sizer,SMPS)之氣膠粒子源之產生及其粒子數量濃度量測效率計算。本技術資料亦討論利用不同取樣管之管徑(0.25、0.5及0.75 mm)對氣膠霧化系統量測溶液中50奈米到300奈米之粒子數量濃度及其量測效率之研究方法與結果分析。
19 自動追蹤雷射干涉儀之兩軸旋轉治具調校技術報告(編號:073A50171) 此研究報告為本中心發展大尺度自動追蹤式雷射干涉儀(Large Scale Auto-Tracking Laser Interferometer, LASTER)之兩軸旋轉治具調校的技術報告,內容包LASTER硬體架構及LASTER兩軸旋轉治具機構設計及調校流程等,調校方式主要使用座標量測儀來進行對心誤差確認,在本研究報告的最後說明著目前LASTER調校成果,依此代新設計的對心結構可調整對心誤差至小於5微米。
20 超音波氣量計檢定檢查技術規範草案(編號:073A50160) 本技術規範以國際法定計量組織OMIL的國際建議文件R137-1&2:2012 Gas meters和歐盟技術規範文件EN14236:2007 Ultrasonic domestic gas   meters為主要技術依據,結合我國超音波氣量計的現況進行制定。
21 甲醇中鄰苯二甲酸二(2-乙基己基)酯驗證參考物質生產作業指引(編號:073A50157) 本文件係針對甲醇(Methanol)中鄰苯二甲酸二(2-乙基己基)酯(di(2-ethylhexyl)phthalate;DEHP)配製作業流程進行概要說明,並依據ISO   Guide 34:2009,說明生產程序中應遵循參照之品質文件以及相關注意事項,以作為甲醇中鄰苯二甲酸二(2-乙基己基)酯驗證參考物質製造生產之作業指引。
22 透過稀釋法所計算出的液體中粒子計數器計數效率不確定度研究(編號:073A50150) 本技術資料提供透過稀釋法所計算出介於30奈米到100奈米的液體粒子計數器計數效率的不確定性評估結果,與相關評估方法與研究分析。
23 交流電功率測試程序(編號:073A50145) 本報告為提供單相/三相交流電功率之測試程序,電壓最大可至500 V,電流最大可至120 A,其內容說明執行測試時所需之系統儀器設備、測試步驟、數據資料分析,以及測試報告範本。
24 光譜分析儀測試程序(編號:073A50143) 本文件敘述光譜分析儀之測試程序。此系統以波長儀及光纖功率計為工作標準件,可用以測試光譜分析儀量測雷射波長及光功率時之準確性。波長和光功率的測試方法皆利用置換法。量測波長時,以待測之光譜分析儀和波長儀分別量測某特定波長之雷射,以測試待測件波長讀值。而量測光功率時,則以待測之光譜分析儀和光纖功率計分別量測某特定光功率之雷射,以測試待測件光功率讀值。
25 交流電能測試程序(編號:073A50124) 本報告為提供單相/三相交流電能之測試程序,電壓最大可至500 V,電流最大可至120 A,其內容說明執行測試時所需之系統儀器設備、測試步驟、數據資料分析,以及測試報告範本。
26 非自動衡器型式認證技術規範研究(OIML R76-1 (2006):計量和技術要求 – 測試)(編號:073A50115) OIML R76-1 (2006)非自動衡器國際建議之中文翻譯
27 利用IMD模擬多層薄膜之X-RAY反射光譜研究(編號:073A50105) X-Ray在半導體檢測上具有非破壞性的特性,其中X-Ray反射光譜與材料是否為單晶、多晶或非晶無關,且可以量測到奈米等級的厚度。隨著半導體元件微縮,其製程控制能力也要越來越好,薄膜厚度就是一個重要的製程與元件參數,X-Ray反射光譜就是一個很好的工具。研究X-Ray反射光譜需要可以模擬X-Ray反射光譜的軟體、可以擬合X-Ray反射光譜的軟體,而IMD就可以達成此兩個目的。此外,通常半導體元件不是單一層薄膜,因此多層膜的模擬在X-Ray反射光譜的應用上就顯得重要,本文針對四種結構(SiO2/Si、HfO2/SiO2/Si、TiN/HfO2/SiO2/Si、TaN/TiN/HfO2/SiO2/Si)的X-Ray反射光譜模擬,並對探討不同薄膜厚度下的X-Ray的反射光譜。最後為了反應將來X-Ray反射光譜應用於量測半導體製程上時,需要進行光譜的擬合,因此將前述四種結構的X-Ray反射光譜回饋至IMD,並探討當初始條件不同時,擬合的結果。可以提升未來在非破壞性檢測上X-Ray的應用性。
28 液體粒子計數器的計數效率測定方法與標準程序(編號:073A50103) 本文件的目的是提供最小可偵測粒子尺寸介於30奈米到100奈米的液體粒子計數器的計數效率測定步驟。
29 氣膠凝結成長之物理現象(編號:073A50044) 奈米粒子凝結模組相關物理現象之定義與統御方程式條列整理。

 

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  • 網站最新更新日期 : 2019/09/12
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