本文為國家度量衡標準實驗室階規(step gauge)校正系統的評估報告。本校正系統以雷射干涉儀作為標準件,整合高準確度之座標量測儀(coordinate measuring machine, CMM)的移動床台與測頭系統,以半自動的方式完成階規各端面距離之量測,完成校正工作。
系統之評估方法係參考國際標準組織(International Organization for Standardization,ISO)發行的ISO/IEC Guide 98-3:2008,分析各誤差源及標準不確定度後,計算系統之擴充不確定度。最後,訂出本校正系統的校正能量為:
校正項目:階規
量測範圍:10 mm至1010 mm
擴充不確定度(U)以方程式表示為:0.20 μm + 4.01 ×10-7 L
其中L為量測距離,單位為mm
信賴水準:95 %
涵蓋因子(k):1.96
本文件隸屬於階規校正系統。