本文為國家度量衡標準實驗室針對階規(Step Gauge)量測進行校正的依據。發展的系統組成包含有座標量測儀(Coordinate measuring machines, CMM)及雷射干涉儀,其中座標量測儀被使用作為精密移動載具,並利用雷射干涉儀得知CMM載具移動位移量,進而得到待校階規的每一間距值。
本校正系統的校正能量為:
校正項目:階規
最大量測範圍:1010 mm以下
本校正程序隸屬於階規校正系統