1

於酯交換反應中利用氧化鍶沉積於可承受載荷的多孔鈦基體上可作為動態且高表面接觸面積之催化劑

沉積在多孔鈦（Ti）基支架（P-Ti）上的氧化鍶（SrO）是一種用於大量酯交換反應之新穎方法。值得注意的是，於連續過程中，除了高度多孔且鍛燒支架提供可承受的支撐性之外，利用鍛燒後的SrO催化劑分佈於多孔基質支架內部可以擴展其與反應物的表面接觸面積。在這項工作中，特別研究了在多孔基質內部發生酯交換反應的形成。通過水熱法，然後採用浸塗法，製備出孔隙率為55％的SrO塗層多孔鈦（Ti）基支架。經實驗證明，SrO催化劑可以牢固地沉積在可承受載荷的高多孔性基質上，並在與油料的酯交換反應中發揮有效作用。有望被用作連續酯交換過程中負載載體。

Nanomaterials

20181126

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風速校正系統之循環式風洞模擬與量測驗證

流速的量測常成為各行業檢測的重要參數，舉凡大氣環境監測、工業通風環境空氣品質的檢測、住宅性能驗證、藥品製造及半導體無塵室等廠房等行業領域中廣泛使用氣流測量儀器，例如熱線式風速計及輪葉式風速計等，為確保風速計量的準確性，校正型風洞結構與其流場分佈就會影響流速計量的準確性。本文主要利用計算流體力學分析工具，作為風洞裝置的結構設計參考，風洞的設計採用圓形斷面的循環式迴路，整個風洞系統風速範圍：0.2 m/s至60 m/s，包括整流段、漸縮段、測試段、擴張段等，整流段內設有整流器及阻尼網，引導氣流同時可抑制渦流產生，經過設計後的風洞設備，則利用雷射都卜勒測速儀(LDV)量測測試區內流場分佈，以驗證循環式風洞品質性能。量測結果顯示循環式風洞內於漸縮段出口位置200 mm之校正區域，符合ISO 17713-1、ASTM D 5096-02等規範要求，經計算風速校正系統的相對標準不確定度為0.52 ％。

中國機械工程學會全國學術研討會論文集

20181130

3

NIMT和CMS的光纖雷射光梳量測光頻率比對

NIMT的光梳和CMS自製的250 MHz摻鉺光纖雷射光梳比對同時量測633 nm氦氖雷射，量測平均頻率的差值是283 Hz，相對差值是6.0x10^-13。

Journal of Physics：Conference Series

20181219

4

量測系統評估報告之撰寫重點探討- 以NML長度量測系統為例(下)

校正實驗室之各量測系統皆有對應的系統文件，文件的功能不僅能夠使校正者清楚瞭解系統，同時還具有傳承量測知識與技術的用途，使校正工作和系統交接時，讓接手的同仁能快速瞭解該量測系統，故文件的內容就顯得格外重要。本文以品保的角度，探討量測系統評估報告之撰寫重點，希望藉此提升內容的完整性及文件的品質，同時也提供實驗室之量室主管審查系統文件時，瞭解文件中應涵蓋之內容，及可以考量與注意的地方。文中以國家度量衡標準實驗室(NML)長度量測系統做為研究目標，探討量測系統校正方式歸類、量測系統原理、計量追溯圖繪製、量測系統之追溯層級分類、量測不確定度評估及量測品保等主題。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190102

5

由實驗室間比對談 ISO/IEC 17025 認證實驗室之品保方案與運作有效性（II）– 比對結果判讀與異常原因分析

實驗室間比對 (interlaboratory comparison) 之良好表現是實驗室量測能力取得國際相互認可的必要條件。本文介紹實驗室間比對表現評估指標之計算公式，以及分析與判讀的注意事項，並藉由實務觀點說明比對結果異常可能原因與處理方式，希望有助於實驗室實施原因分析與矯正措施，以達品質管理運作持續改進之目的。透過本文分享，期能讓初次申請或延展認證的校正測試實驗室相關人員，對實驗室間比對或能力試驗於量測結果有效性之品保運作具有更清晰的概念。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190102

6

APMP.M.F-K2.a與APMP.M.F-K2.b(50 千牛頓與100 千牛頓)力量關鍵比對最終報告

本報告給出了50 kN和100 kN力量範圍內APMP.M.F-K2.a和APMP.M.F-K2.b關鍵比對的結果。此區域關鍵比對是在亞太計量組織（APMP）下進行的，以建立與全球CCM.F-K2關鍵比對結果的聯結。共有 13個實驗室參與了這一重要比對。 韓國標準與科學研究院（KRISS）擔任主辦實驗室。 日本國家計量研究所（NMIJ / AIST）和中國計量院（NIM）以及KRISS提供了與CCM.F-K2.a和CCM.F-K2.b關鍵比對的聯結管道。 兩對標稱範圍50 kN和100 kN的力量傳感器以星狀形式在參與者之間傳遞。最終結果顯示，有一間實驗室的50 kN標稱力量和另一間實驗室的100 kN標稱力量可能與CCM.F-K2關鍵比對參考值不同。

Metrologia

20190114

7

利用農業廢棄物製備二維多孔生物碳材並應用於能源儲存

農廢再生之化學活化技術可將咖啡渣、甘蔗渣或玉米穗皮轉化成高比表面積及高孔隙度之二維農廢衍生生物碳，並應用於電能儲存。製備所得之三種生物碳均顯示sp2石墨晶面結構，且高度微孔/中孔比可對應其優異的孔洞結構與比表面積（高達3064 m2 g-1），同時兼具良好的電雙層電容行為，其高能量與高功率密度突顯了此材料的開發價值。再者，優良的導電性更可做為如高效能吸附劑、電容去離子電極材料或其它能源儲存材等，是傑出的多功能碳材。

材料世界網

20190201

8

熱管探針熱導率儀的熱傳特性測試與評估

隨著防災型電纜地下化的推動，不僅可美化市容，更能減少極端氣候影響之颱風停電所造成的災情損失。然而，在電纜線地下化後若不適時地將電纜線產生的熱量導出，將導致絕緣的破壞而引起電線走火。因此，如何精確地利用熱探針法評估周遭的土壤及電纜管路填充材料的熱導率對散熱效能影響甚大。
本文將藉由熱管探針技術取代傳統熱探針精確度差、機械強度不足與發熱不均的問題。實驗結果顯示，熱管探針可進一步將其誤差降至2 ％以內，較傳統熱探針的10 ％以上更為精確，從而擴大其他地質工程與填充塑料的適用性。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190301

9

國家實驗室溫度量測能量之比較

為瞭解我國和亞太地區及歐美幾個帶表性先進國家，其國家計量實驗室(NMI)在溫度領域的量測能量發展現況，並審視我國國家度量衡標準實驗室(NML)之溫度實驗室與國際NMI同儕之校正量測能力等同程度(degrees of equivalence)，以確保NML校正服務能量具備國際競爭力，並一窺國際發展趨勢、掌握和國際同儕間的優缺點，做為未來發展之參考。所以本文參考國際度量局(BIPM)之關鍵比對資料庫(KCDB)的校正與量測能量(CMC)登錄數據檔案，依據溫度量測領域，從登錄項目、量測方法、溫度範圍，與擴充不確定度(expanded uncertainty)等參數進行分析。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190301

10

X射線計量技術用於半導體薄膜厚度檢測

準確且可靠的監控不同薄膜厚度對於先進微電子元件中的芯片是非常重要。由於X射線反射率對表面與界面之粗糙度非常敏感，且提供薄膜密度的資訊，因此，本團隊利用長波長X射線開發X光反射儀以檢測奈米級薄膜厚度。文中提即使用波長X光可提高X光之入射角度，與商用XRR相比，減少薄膜表面上的測量面積降至50x50 mm2。因此，非破壞性長波長XRR方法可以作為快速且準確的線上計量設備。

International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics

20190402

11

以飛秒雷射激發Si(222)量測相位之動態變化

透過飛秒雷射激發可改變共價電子之密度分布，量到弱反射Si(222)的相位動態變化。以鈦-藍寶石雷射激發，並以能量7.82keV量測矽(222)/(131)三光繞射，在雷射激發後100 ps可偵測到三光相位變化的改變量為4度，且在數個奈秒(ns)之後共價電子之分布漸漸回到激發前之狀態。

Journal of synchrotron radiation

20190412

12

物聯網於智慧水量計管理之應用

隨著物聯網(internet of things, IoT)、大數據(big data)、雲服務等數位轉型(digital
transformation) 技術的快速發展，以及國內NB-IoT (narrowband IoT) 的建置，可望將民生家用
三表（水表、電表、瓦斯表）智慧化。因為水資源的不可取代性，有效的調配與管理不僅可
以減少水資源浪費，亦可降低旱澇對經濟與民生的困擾。建構完整而有效的水資源物聯網，
必須有作為感知層的計量儀器提供必要的資訊內容。所以，本文將針對智慧水量計如何應用
於物聯網管理，及其加值服務與預期效益進行闡述。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190422

13

表面增強拉曼技術-活化機材具有收集放大效果做為農藥微量分析之設計

由於農產品具有微量的農藥殘留，因此暴露於農產品中的微量農藥殘留對健康構成威脅。 表面增強
拉曼散射（SERS）的應用可作為一種檢測技術，它是一種快速且靈敏的方法，只需少量樣品即可量測。因此，做為農藥殘留之微量檢測，未來具有相當大潛力。

Nanomaterials

20190427

14

基本單位之定義與實現的沿革及思維

本文首先說明單位定義與實現的概念，其次簡述單位與物理常數的關係以及SI基本單位新定義的發展，最後就單位實現的歷史沿革及其思維作一介紹。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190501

15

特殊氣體中粒子粒徑量測技術之建立

特殊氣體廣泛用於半導體的蝕刻及清洗製程。隨著關鍵線寬不斷地縮小，若製程過程或原物料中含有極微量的污染 (如粒子、過渡金屬或是重金屬等)，都可能會造成元件的缺陷。然而，由於特殊氣體大部分是腐蝕性或是反應性氣體，因此現行分析方法多採用間接分析而無法得到完整的粒徑分佈圖。為解決上述議題，本研究開發了一種能量測特殊氣體中的粒子量測技術，其主要是利用電移動度掃描分徑器搭配氣體交換裝置進行粒子的量
測，其中，氣體交換裝置能將待測樣品中的特殊氣體交換成粒子分析器所用之載氣，且同時維持粒子的高傳輸效率，以利後端分徑器進行各種粒子尺寸及濃度分佈的分析。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190501

16

同位素稀釋質譜技術之簡介

同位素稀釋質譜法 (isotope dilution mass spectrometry, IDMS) 已廣泛應用於參考物質開發、環境檢驗、地質研究、原物料純度分析、石化與半導體產業等領域。本文介紹其基本 原理、實施方法及其應用於元素分析的相關參考案例，幫助讀者更深入淺出的了解此量測 技術。同位素稀釋法的優點包含能提供高精密性與高準確性的量測結果、具有非常小的量 測不確定度、訊號不受基質之影響、進行樣品前處理時無須額外的回收率分析等。雖然同 位素稀釋法有諸多好處，但此方法有成本高、濃縮同位素取得不易以及技術門檻高等問 題，因此需要進一步解決問題，才能將此量測技術發揮最大用途。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190501

17

新溫度定義－以聲學氣體測溫法實現

熱力學溫度單位克耳文(kelvin)的新定義於2019 年國際計量日(5月20日)開始實施，正式實施後，溫度的單位克耳文係由固定數值的波茲曼常數所定義，將熱能kT轉換成熱力學溫度T。而且溫度單位重新定義以後，根據「 SI克耳文定義約定實現」，原級測溫法係使用公認物理系統的溫度計來執行。因應溫度單位重新定義，且建立重新定義後的溫度原級量測系統，國家度量衡標準實驗室(National Measurement Laboratory；NML)/工業技術研究院量測技術發展中心自2018年起和英國國家物理實驗室(National Physical Laboratory；NPL)合作，於低中溫溫度範圍，開始發展聲學氣體溫度計，裨以建立我國新最高溫度標準，與國際新標準接軌。本文除介紹這些變革，並從聲學氣體溫度計的基本原理出發，揭示實現克耳文重新定義後的原級溫度量測以決定熱力學溫度之方法內容。

標準與檢驗月刊

20190501

18

矽同位素比例量測技術實施方法簡介－樣品製備程序

量測技術發展中心以建立與維持國家量測標準為基礎，於2018 年爭取國家預算建立同位素比例量測技術，以實現莫耳質量的量測技術。針對實現亞佛加厥常數中的莫耳質量而言，其中矽晶體莫耳質量可藉由量測矽晶體中各同位素比例而得。此技術中最為重要的是樣品在前處理過程中的污染控制，其內容包含操作環境與使用材料，因此本文旨在說明矽樣品製備的相關過程。另外也針對本技術所建立的環境設施與未來應用性說明。而未來將會另文更深入說明同位素稀釋法(isotope dilution) 於莫耳質量量測與不確定度評估的應用。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190501

19

二氧化碳同位素分析於環境變遷監測之應用

本文分別從二氧化碳同位素的組成關係，二氧化碳在地球環境中生物圈、岩石圈、土壤圈、水圈及大氣中的循環途徑、質譜法與光譜法二氧化碳同位素量測方法原理與比較，二氧化碳同位素標準物質的性質與種類（包含固體型式與氣體型式），以及二氧化碳同位素比例與氣候變遷間可能的關係等方面進行簡要說明，讓讀者可以在簡短的文章中瞭解二氧化碳同位素的相關知識。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190501

20

新公斤定義-以X光晶體密度法實現

新版國際單位制(The International System of Units, SI)單位定義已於2018 國際度量衡大會(The General Conference on Weights and Measures, CGPM)會議宣告通過，並將於2019年5月20日正式實施，屆時，質量單位公斤、溫度單位克耳文、電流單位安培與物質量單位莫耳，將分別由普朗克常數、波茲曼常數、基本電荷與亞佛加厥常數所定義。根據新公斤定義，一公斤由普朗克常數所定義，此常數數值以單位J s(亦等於kg m2 s-1)表示時為6.626 070 15 ´ 10-34，其中長度單位m與時間單位s分別由光速與銫原子超精細躍遷頻率所定義。本文介紹新公斤定義原級實現方法之一，亦為我國所採用之X光晶體密度法，又稱之為矽晶球法(X-Ray Crystal Density Method, XRCD法)，包含基本原理與國家度量衡標準實驗室(National Measurement Laboratory, NML)所規劃的相關技術建置。最後，本文也將介紹國際間最新之公斤標準施行與傳遞的3階段規劃草案。

標準、檢驗與計量

20190501

21

氣狀污染物自動分析儀性能評估方法開發與測試應用

目前歐盟，美國，日本針對氣狀污染物分析儀多數建立儀器性能評估技術規範，國內環保署環境檢驗所（以下簡稱環檢所）亦針對二氧化硫，氮氧化物，臭氧等分析儀建立與公告標準檢測方法。本團隊利用國家度量衡標準實驗室（NML）所配製之高濃度ppm等級二氧化硫及一氧化氮標準氣體搭配氣體濃度稀釋裝置建立市售器裝污染物分析儀性能評估方法（NML所配製之標準氣體均經採購至國外國家實驗室所生產之標準氣體進行比對執行確效驗證）。
性能評估主要參考環檢所訂定之準則，並同時參考歐盟與美國環保署於相關技術規範所訂定之執行方法與計算公式進行定量評估。評估項目包含：雜訊、偵測極限、干擾當量、零點漂移、全幅漂移、遲滯時間、上升時間、下降時間、精密度、線性（斜率、截距、相關係數）等。其中有關干擾當量主要測試物種為水氣，評估水氣含量對於儀器零點漂移的影響。
為確認所開發方法可有效運用於市售分析儀的性能評估，計畫團隊透過環保署環境監測及資訊處的委辦計畫，邀請廠商提供市售機台進行測試，目前完成評估的分析儀包含：四廠牌之二氧化硫（SO2）自動分析儀與四廠牌之氮氧化物（NOX）自動分析儀。其量測原理均符合相關NIEA公告方法要求。
依據目前測試結果，可總結出以下結論：（一）部分分析儀會有評估結果與其產品型錄不符合之現象，尤其在零點漂移與全幅漂移兩項，推測為原廠評估方法與參數計算方式與我方不同所致。（二）其中一廠牌之SO2分析儀有顯著受水氣影響情形。（三）其中一廠牌於數據處理方式較為不同，造成其反應時間曲線明顯與典型曲線不同。（四）雖有前三點之現象，但除了其中一廠牌之NOX分析儀於全幅漂移有超過環檢所需求規格，其他SO2、NOX分析儀於各評估項目上皆可優於環檢所公告方法之需求規格。
經由此次的性能評估工作，除能更了解目前市售氣狀污染物分析儀性能，也發現各廠牌於性能評估工作上會使用不同的分析程序、分析方法與不同的參數定義、參數計算公式，這可能造成我們無法僅透過原廠型錄規格對不同廠牌分析儀進行公平的性能比較。由此凸顯於國內執行儀器性能評估方法開發的重要性，未來若可具體實施，可讓各廠牌分析儀在國內依照相同且一致的評估方式進行性能比較，提供各界進行儀器採購前後性能評估或測試驗收之參考。

中華民國環境分析年會

20190516

22

評估三種不同進樣系統對於單一粒子感應耦合電漿質譜應用之影響

本研究主要探討三種不同進樣系統對於spICP-MS應用之影響，三種進樣系統包含︰(1) MicroMist與旋風式霧化室(Cyclonic spray chamber)，此為傳統ICP-MS進樣系統(conventional)；(2) 高效能同軸式霧化器(high performance concentric nebulizer, HPCN)搭配自製同軸式圓柱霧化室，簡稱全進樣系統(Total consumption, TC)；(3) HPCN與加熱旋流式霧化室及三階段式珀爾帖冷卻去溶劑系統(heated cyclonic spray chamber and three-stage Peltier-cooled desolvation system)，簡稱HPCN-APEX。在傳輸效率評估方面，使用70 nm鉑奈米粒子進行各進樣系統傳輸效率之量測，所獲得的傳輸效率分別為10.6 ％ (Conventional)、99.4 ％ (TC)及103.6 ％ (HPCN-APEX)。之後評估各進樣系統量測不同尺寸及不同顆粒濃度之鉑奈米粒子效能，並求得粒徑及顆粒濃度偵測極限，由實驗結果可知，HPCN-APEX的效能最好，相較於其他二種進樣系統，其粒徑及顆粒濃度偵測極限分別下降2倍及5倍。本研究亦將HPCN-APEX應用於不同基質(超純水、自來水及7.25 ％氨水)，結果顯示在不同基質情況下，HPCN-APEX之傳輸效率皆維持在100 ％，且感度不受基質影響，證明HPCN-APEX可應用於各式複雜基質之量測。

日本質譜年會

20190516

23

利用單一顆粒感應耦合電漿質譜儀搭配電透析儀量測家用淨水器濾材中銀離子與銀奈米粒子之研究

銀離子與奈米顆粒因具有良好的抗菌效果，已被應用於家用淨水器的濾材中。然而，銀奈米顆粒的釋放可能會導致人體攝入後不良的健康影響，並且隨著使用時間的拉長而使濾材失活。從健康和生態風險的角度來看，開發用於監測銀離子與銀奈米顆粒釋放的分析方法是有其必要性的。單一顆粒感應耦合電漿質譜儀是一種新興的技術，其可以提供粒徑大小、粒徑分佈、數量濃度和元素組成的信息。然而，當分析的顆粒溶液中含有溶解的離子時，會導致顆粒訊號的偏差。為了解決離子所造成的量測問題，本研究即開發了一種線上電透析儀搭配單一顆粒感應耦合電漿質譜儀之技術，並應用於家用淨水器濾材中銀奈米顆粒釋放的量測。在本研究中銀奈米顆粒通過電透析儀時的傳輸效率可以達到100 ％，代表顆粒在系統中並不會損失。除了分析系統的評估外，本研究將其應用於三種含銀奈米顆粒濾材的釋放實驗。實驗結果顯示，這三款濾材皆會有銀離子和銀奈米顆粒的釋放，然而，利用電透析儀搭配單一顆粒感應耦合電漿質譜儀可精確測量銀奈米顆粒的尺寸及顆粒濃度。

環境分析化學研討會

20190516

24

研究用於銀/銅固定點量測的絕對校正輻射測溫計

根據1990年國際溫標，溫度高於銀的凝固點的輻射測溫，是根據普朗克輻射定律，以金，銀或銅的凝固點溫度進行外推。
或者，直接通過使用普朗克定律，可以利用其光譜響應度以絕對值校正的輻射偵測器來確定熱力學溫度。 CMS研究絕對校正的輻射溫度計，以實現和傳遞銀點以上的熱力學溫度。 本篇文章中，CMS / ITRI進行主要輻射溫度計量測，將採用由NPL製造的溫度計-ATK，以及由CHINO製造的銀固定點和銅固定點。研究重點是提供主要輻射溫度計的測溫結果和與其能力。ATK的濾波器，中心波長為715nm，半峰全寬（FWHM）為76 nm。 ATK的光電流訊號輸出是BNC或 RS232，輻射溫度根據校正係數和儀器的內部狀態來計算。在本文中，我們描述了分析的步驟，量測銀和銅定點黑體輻射的光譜輻射的方法和結果，以及不確定度的評估。

TEMPMEKO

20190611

25

一種用於臨床紅外線耳溫計的標準傳遞黑體

量測中心開發了一種傳遞標準用黑體，使用於紅外耳溫度計標準之國際實驗室比對。黑體設計為便攜式腔體，模擬耳道中的鼓膜。黑體具有10毫米直徑的開孔，內腔直徑為20毫米，具有120毫米深的長腔，利於高放射率之性能。，溫度範圍在35.5℃至41.5℃之間之黑體腔的有效放射率保持在0.999。具有好的溫度均勻性，連續測試105小時均勻性為0.007 ℃，。黑體溫度的均勻性是腔體底部和中心之間的差異。黑體被加熱器包圍，黑體壁提供良好的熱傳導。為了讓使用者研究黑體的溫度性能，另外增設一個檢查井。檢查井的孔徑為6.5毫米，深度為65毫米，可以使用接觸式溫度計（如PRT）監測黑體的溫度。該標準黑體系統的擴充不確定度(k=2)，不含待校件（DUT），在35.5 ℃和41.5 ℃分別為0.05 K和0.06 K，此溫度標準可追溯到ITS -90 國際溫標。

TEMPMEKO

20190611

26

基於風機噪音特徵之葉片狀態巡檢裝置設計

風機零部件之保養與維修是風力發電產業在營運過程的重要工作項目之一，因台灣氣候相較於歐美國家較為潮濕炎熱，且夏季常有颱風侵蝕，風機葉片在複雜的氣候條件下長期運轉會逐漸剝落與破裂，需定期巡檢，視情況停機進行保養維護。目前台灣風場營運單位仍依賴現場維護人員的視覺與聽覺經驗評估葉片健康狀況，傳統的主觀檢測方法準確率仰賴人員的經驗且效率不高。本研究提出利用風機在運轉過程產生的葉片噪音進行損壞檢測方法，開發攜帶式巡檢裝置進行風場快速巡檢。此裝置的優點在於能夠於風機正常運行的狀態下檢查葉片，透過定期的巡檢作業，掌握葉片健康狀態的變化趨勢，事先安排維修時程，降低停機造成的發電損失。預計未來將有效提升台灣風力發電電產業的營運效率。

International Congress and Exhibition on Noise Control Engineering

20190618

27

攜帶式風機葉片健康狀態巡檢裝置開發與應用

風機零部件之保養與維修是風力發電產業在營運過程的重要工作項目之一，因台灣氣候相較於歐美國家較為潮濕炎熱，且夏季常有颱風侵襲，風機葉片在複雜的氣候條件下長期運轉表面會逐漸剝落與破裂，需定期進行葉片狀態之巡檢，且視損傷情況停機進行保養維護。目前台灣風場營運單位仍依賴現場維護人員的視覺與聽覺經驗評估葉片健康狀況，此種傳統的主觀檢測方法仰賴人員的經驗且效率不高。本研究提出利用風機在運轉過程產生的葉片噪音進行損壞檢測方法，開發攜帶式巡檢裝置進行風場快速巡檢。此裝置的優點在於能夠於風機正常運行的狀態下檢查葉片，透過定期的巡檢作業，掌握葉片健康狀態的變化趨勢，事先安排維修時程，降低停機造成的發電損失。預計未來將有效提升台灣風力發電電產業的營運效率。

中華民國振動噪音工程學會暨學術研討會

20190618

28

評估三種不同進樣系統對於單一粒子感應耦合電漿質譜技術之影響

為了實現單一粒子感應耦合電漿質譜技術( single-particle inductively coupled plasma mass spectrometry, spICP-MS)之~ 100％之傳輸效率及高通量粒子樣品分析，本研究評估了三種不同進樣系統對於spICP-MS之效能影響。三種進樣系統包含︰(1) MicroMist與旋風式霧化室(Cyclonic spray chamber)，此為傳統ICP-MS進樣系統(conventional)；(2) 高效能同軸式霧化器(high performance concentric nebulizer, HPCN)搭配自製同軸式圓柱霧化室，簡稱全進樣系統(Total consumption, TC)；(3) HPCN與加熱旋流式霧化室及三階段式珀爾帖冷卻去溶劑系統(heated cyclonic spray chamber and three-stage Peltier-cooled desolvation system)，簡稱HPCN-APEX。在傳輸效率方面，HPCN-APEX及TC皆可達到近100 ％，然而傳統進樣系統僅有 10 ％。由於HPCN-APEX具有乾燥氣膠的功能，因此可大幅降低尺寸及顆粒濃度的偵測極限，證明HPCN-APEX可應用於各式複雜基質之量測。

Journal of Analytical Atomic Spectrometry

20190618

29

光污染管理及陳情案處理之研究

本研究選定臺北市4處地點實地驗證並進行廣告招牌戶外量測方法之調查，並研析全臺光污染源陳情案件處理程序，實驗結果與分析發現重點如下：
1. 戶外量測包含4廣告招牌×3時段×8量測項目(最大亮度、最大垂直照度、平均垂直照度、最小垂直照度、最大水平照度、平均水平照度、最小水平照度、90th閃爍頻率強度)，實驗總次數為96次。
最大亮度可作為評估光源眩光之影響程度，最小垂直照度可作為評估量測地點之背景垂直照度，90th閃爍頻率強度可作為評估LED看板閃爍之影響程度，其餘參數(平均垂直照度、最大水平照度、平均水平照度、最小水平照度)可列入評估環境光之參考。
2. 完成修訂廣告招牌及路燈之光污染量測方式，分別為亮度、垂直照度、眩光亮度、LED多媒體閃爍、LED組合燈閃爍等5種量測方式，其中垂直照度為路燈之光侵擾評估方式。
3. 陳情案件處理程序建議如下 : 處理受理案件時登錄陳情人資訊，紀錄陳情內容，時間地點(並包含光源影響的主要時段)。然後派員至陳情光源處勘查，並拍照紀錄。如未發現陳情光源，則需聯絡或發函給請陳情人請其詳細說明光源所在地點，然後另行安排勘查，或說明光源已不在現場，結案。如有發現陳情光源，而光源屬於管理單位之管轄，則發函給光源管理單位，由該單位處理後續事宜。如有發現陳情光源，可以當場或發函給被陳情人，建請被陳情人改善光污染影響。必要時，可以採取會勘的方式並將會勘情形建請被陳情人改善光污染影響，或是可透過村里代表進行協調。

環境科技論壇

20190618

30

以車載系統進行道路照明量測

以一新型車載量測技術進行長程道路的快速光度量測，照度與亮度的量測範圍分別為1 ~ 1000 lx 及0.1 ~ 100 cd/m2，車載量測系統的長度解析度為0.3 m，其取樣距離小於2 m。本技術的照度分布量測結果與傳統量測方法相近，確認其可行性。

Proceedings of CIE

20190618

31

動態道路照明於雨霧之辨識度研究

本研究為在道路照明實驗場域進行道路照明於雨霧時，針對交通指示牌、黃色雨衣及黃色安全帽之辨識度研究。我們使用影像式亮度量測儀量測亮度影像，並藉由對比度與雨霧的程度進行實驗分析，實驗物體在雨霧之辨識度，可分別在高壓鈉燈及LED照明被分析出。

Proceedings of CIE

20190619

32

軌道列車不同行駛條件之車外噪音量測

本文首先研析國際標準化組織ISO 3095軌道車輛散播噪音源之量測、行政院環保署「陸上運輸系統噪音量測方法」及「陸上運輸系統噪音管制標準」等三項標準規範。再依循上述標準之原則、方法及要求，考量測試標的之營運場域、行駛條件及其他相關測試參數，制定測試程序與量測方法，並實際挑選國內日常運轉中之捷運車輛完成車外噪音量測。而在文末分別探討該捷運車輛在空車靜止無行駛、營運速度行駛以及加速減速行駛狀態下之噪音成因，最後依據「陸上運輸系統噪音管制標準」內規範之軌道系統平均最大音量(L_(max,mean))，和不同行駛條件之量測結果進行比對，確保噪音值之合理性。

中華民國振動與噪音工程學術研討會

20190622

33

亞太計量組織低頻加速規國際比對結果

台灣地處活動頻繁的地震帶，並擁有全球商務電子及半導體精密加工等多項高階技術，對於地震監測需求度高。為確保低頻振動量測值準確，ITRI CMS參加並主導亞太計量組織振動技術領域(APMP.AUV.V-K3.1)低頻加速規之國際比對作業。參與比對的實驗室包含台灣ITRI-CMS、中國大陸NIM、印度CSIR-NPLI、泰國NIMT、韓國KRISS、南非NMISA等。本次比對頻率範圍為0.1 Hz至40 Hz的線性振動校正能量，此比對結果，經由核准後，將作為國際度量衡委員會相互承認協議計量機構的校正和量測能力登錄的依據。此低頻計量相關技術應用將帶動台灣於地震監測預警、軌道及橋梁結構安全監控、核能電廠及精密半導體製造廠房等低頻振動監測。ITRI CMS將依照國際標準規範，持續與國際計量組織互動，在低頻振動監測技術發展會有更好的表現。

中華民國振動與噪音工程學術研討會

20190622

34

流量原級標準之管式校正器建置與驗證

本文介紹了活塞式汞密封管式校正器的建立和驗證，管式校正器通常用於低壓氣體流量校正。校正氣體可以是乾燥空氣，氮氣，氬氣，氦氣，氧氣和二氧化碳。新管式校正器系統能量範圍為0.002 L/min 至 40 L/min，23°C、101.325 kPa，其質量流量測量的相對擴展不確定度在95％置信水平下小於0.08％。
我們還成功地改良了新管式校正器的溫度量測位置與方法，使系統量測不確定度降低，且各標準玻璃管之間的差異小於0.01％。對CMS兩套新建置的管式校正器和原有CMC提交的管式校正器進行雙邊比較，其En值小於0.4。結果表明，新管式校正器的測量能力符合預期。

The International Flow Measurement Conference

20190626

35

厭氧消化槽二相流之計算流體力學模擬

近年來透過厭氧消化產生生質沼氣作為可再生能源之相關研究已成為一項重要課題，生質沼氣可降低溫室氣體的排放量以及加強固體廢棄物的使用。生質沼氣的產量受到許多因子影響，包含溫度、混合度、PH值以及水力滯留時間等。在本研究中藉由紊流、氣液二相流於厭氧消化槽中之計算流體力學模擬計算，探討不同因子對於槽中流體之速度場、黏滯度和最佳混和方式所產生之影響。

International Conference on Fluid Mechanics and Industrial Applications

20190629

36

新世代免液氦量化霍爾電阻系統之量測技術

免液氦量化霍爾電阻量測技術是全球各先進國家計量院所積極投入研發的標的之一。國家度量衡標準實驗室為使我國電阻原級標準計量技術達到與國際同步的目標，亦積極投入相當的資源進行量化霍爾電阻系統改良，現已完成新世代免液氦量化霍爾電阻系統的建置，並於2019年4月完成系統量測不確定度的評估。本文將介紹免液氦量化霍爾電阻系統之操作原理、量測架構與原理以及系統量測不確定度。
量化霍爾電阻系統之量測方法係基於量化霍爾電阻元件在低溫強磁場環境下所產生之量化電阻值，經由直流電流比較器電橋並配合統計方法，可由該量化電阻值求得待校電阻器之阻值及量測不確定度。經評估以免液氦量化霍爾電阻系統針對1 kΩ直流標準電阻器執行校正量測之相對擴充不確定度為0.06 μΩ/Ω (k=2，信賴水準約為95 ％)。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190701

37

相對原級輻射溫度計介紹

原級熱力學溫度計-絕對輻射熱力學測溫法(absolute primary radiation thermodynamic thermometry)，以普朗克輻射定律以及波茲曼常數定義熱力學溫度。而相對原級溫度測量(relative primary thermometry)則使用指定的狀態方程，間接測量熱力學溫度，利用一個或多個黑體溫度定點源作為參考值。本文敘述相對原級輻射溫度計之量測原理與共晶點之介紹。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190701

38

使用單一顆粒感應耦合電漿質譜儀分析四甲基氫氧化銨中微量金屬顆粒

四甲基氫氧化銨（TMAH）廣泛用作為液晶顯示器（LCD）和半導體製程中的基礎溶劑。TMAH中存在的金屬雜質會對最終產品產生不利影響，因此必須嚴格控制其含量。通常，TMAH中的金屬雜質通過感應耦合電漿質譜儀進行測定，提供ppt水平的離子信息。隨著單粒子電漿感應耦合質譜儀（spICP-MS）的發展，可以檢測金屬粒子雜質。 spICP-MS是一種新興的分析方法，可以提供粒徑，粒度分佈，數量濃度和組成的信息。
在這項研究中，我們開發了一種分析方法，並通過spICP-MS驗證了TMAH中奈米顆粒的尺寸和定量。通過使用Au NP驗證該方法在真實性方面表現出良好的性能（尺寸為95-110％，濃度為90-110％），重複性（尺寸＜3％，濃度＜10％）和再現性（＜濃度為10％）。 Au NP的大小和數量檢測限分別為＜10 nm和134 NPs/ mL。此外，還評估了包括Na，Mg，Al，K，Ca，Ti，Cr，Fe，Co，Ni，Cu，Zn，Ag，Cd和Pb在內的15種元素的尺寸檢測限。還測試了不同品牌的TMAH。結果表明，某品牌的TMAH含有很高的離子雜質，但顆粒雜質非常少，而另一個品牌則表現出相反的趨勢。本研究的結果清楚地證明了spICP-MS分析半導體級試劑中顆粒雜質的可行性。

台灣質譜年會暨學術研討會

20190704

39

發展長波長X光反射技術量測半導體產業薄膜厚度

在尺寸窄縮下，應用High-k材料於金屬氧化物半導體(MOS)元件以減低閘極漏電流，但未來厚度將僅數奈米甚至到次奈米等級，遠遠超過傳統光學量測解析極限。同時考量增加晶圓元件可製作的面積，未來將捨去測試元件(Test Key)而直接在製程元件上量測膜厚，待測區域將因此縮小至50 μm x 50 μm。傳統商用X光反射儀雖可量測奈米等級膜厚，但波長為0.154 nm，當以低角度方式入射薄膜表面進行量測時，入射投影光斑為cm2等級，將遠大於待測尺寸，故無法應用於線上即時檢測。本計畫擬以長波長X光源，其波長為0.834 nm，利用此波段量測元件薄膜之反射光譜訊號，藉由光路設定，提供更高之光通量，可量到1奈米甚至以下之單層薄膜厚度，同時波長大於傳統X光，將有效提升入射角度，進而縮小入射投影光斑至50 x 50 μm2，以符合線上待測區域尺寸，提供線上單一元件(Die)的單層/多層薄膜厚度檢測。

International Conference on Metrology ＆ Properties of Surfaces

20190705

40

直流電壓 10 V 與 1.018 V 之 APMP 關鍵比對報告

直流電壓 10 V 與 1.018 V 之 APMP 關鍵比對於 2013 年至 2014 年期間由日本 NMIJ、台灣 CMS 與韓國 KRISS 三個國家標準實驗室共同參與執行。該直流電壓比對是採用固態電壓標準器 (Zener Reference) 作為傳遞標準件，並以可編輯式約瑟夫森電壓標準 (PJVS) 系統執行量測。從比對結果可知，各國的量測結果與比對參考值之間的誤差皆小於 1 x 10^-7 (針對 10 V 量測) 與 2 x 10^-7 (針對 1.018 V 量測)，這也表示各國 PJVS 系統的量測結果具相當的一致性。

Metrologia

20190729

41

二氧化鈦輔助預濃縮/現場蒸汽產生晶片串聯感應耦合電漿質譜儀進行尿樣中的汞離子線上測定分析方法

本研究串聯二氧化鈦輔助就地預濃縮蒸氣產生晶片與感應耦合電漿質譜儀技術，提供一種新型自動分析法並應用於汞離子的線上偵測。其中，塗佈在晶片通道表面的二氧化鈦奈米粒子不僅可作為預濃縮的吸附劑，也可作為光催化輔助蒸氣產生晶片的催化劑。在最佳操作條件下，本研究利用認證參考物質SeronormTM Trace Elements Urine L-2 (冷凍乾燥人類尿液)來驗證方法的可行性。由實驗結果可知，此分析方法因為大大減少了人為實際操作和消除過程中的有害物質 (例如硼氫化納與氯化亞錫)，因此，在尿液樣品中對汞離子的偵測極限可達到 0.75 ng·L-1。據我們所知，本研究是第一篇利用二氧化鈦塗佈的微流道來做線上樣品預濃縮與就地蒸氣產生，並串聯感應耦合電漿質譜儀技術的創始方法。

Analytica Chimica Acta

20190731

42

市售環境監測儀器性能評估

市售環境監測儀器性能評估

Workshop of Focus Group of Climate Change and Clean Air

20190805

43

二氧化硫氣體驗證參考物質研製

氣狀汙染物自動分析儀性能評估用低濃度二氧化硫氣體驗證參考物質研製

APMP/TCQM Gas Analysis Workshop

20190806

44

計量領域量測品保 ─ 管制圖之更新準則

根據ISO/IEC 17025:2017 7.7.1章節，實驗室應有程序以監控結果的有效性，且管制圖之建構是實驗室在監控系統穩定性時最常使用的統計工具，而管制圖中的管制界限會影響監控的有效性，因此定期更新管制圖有其必要性。本文重點主要在探討更新管制圖之時機與建立一套管制圖更新之判定準則，同時以實際案例說明如何利用統計檢定來做最後的決策。

National Conference of Standards Laboratories, International(NCSLI)

20190827

45

電磁場強度計的校正與場地特性評估

本文介紹電磁場強度標準系統的量測原理及標準場地特性的量測方法及結果。量測目的在評估所使用校正場地的電磁場分布變異，以瞭解標準場地的特性，並將其列入系統不確定度評估中的影響因子之一。國家度量衡標準實驗室所維持的電磁場強度量測標準系統目前正持續進行能量擴充，將標準電磁場的強度提高至200 V/m，以滿足業界對相關計量之校正追溯需求。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190901

46

新型非接觸式高壓架空線核相檢測法

本研究提出一新型非接觸式高壓架空線核相法，結合單軸電場感測技術，實現在遠距離的工作環境下，即可進行兩架空線系統併接前的相位檢測。新型核相法採兩組單軸電場感測器陣列，並分別放置於兩待測架空線下方的地平面上。新型核相法以無線同步觸發兩組電場感測器陣列進行空間電場量測，然後接收兩組電場波形，並進行1)正/負相序檢測及2)定相檢測，最後新型核相法可判斷兩架空線的三相電壓相位是否一致，此結果將可用於兩系統併接前的參考用。此外，為確保電場感測陣列可同步量測電場，各電場感測器設計內建GPS，利用GPS同步時間技術可更進一步提升同步量測的準確度。本研究先以有限元素技術模擬架空線電場分布及設計電場感測器於地平面的擺放方式。最終，本研究架構一等比例縮小的兩架空線量測系統，量測結果驗證新型核相檢測法可準確判斷兩空線系統的相位，此技術將可用於兩系統併接前參考用。

台電工程月刊

20190901

47

三軸直流磁場監控模組製作及校正介紹

半導體廠製程機台運作時之環境磁場需即時監控以確保操作人員不會暴露於過大磁場
並可監測儀器設備之穩定性。此三軸直流磁場警報及訊號輸出系統共有3 個三軸向直流磁
場感測模組，可提供即時量測及顯示磁場的範圍為 ±15 G (高斯)，同時也將磁場量測值，
轉換成對應4 mA 至20 mA 類比訊號傳送至控制中心。本文說明實際用於廠區三軸磁場監
控之模組其工作原理、規劃設計、製作架設及校正。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20190901

48

計算機流體力學(CFD)應用於水處理產業鏈之探討

計算流體力學（Computational Fluid Dynamics, CFD）是使用數值方法在計算機中對流體力學的控制方程式進行求解，從而可預測流場的流動與熱傳導等有關的物理狀態進行分析。CFD成為普遍存在的建模工具，利用數值模擬軟體計算水處理產業鏈中研究議題逐漸成熟，從前端關鍵元件(如濾膜、管材等)的製程到後端廢水處理及場域設計規劃，都可以使用CFD進行模擬，以數值分析得到流場內的各位置基本物理量分佈及時序變化狀態。除此之外，CFD比傳統的廢水處理建模方法更受歡迎，它是一種高精度技術，可用於評估工程系統效能，包含實驗室規模、中試規模或實場設置條件。故CFD輔助建模可用作新建設施設計或優化現有系統的工具，從而提高設施性能和操作程序優化，進而節省時間，經濟成本和人力。有鑑於此，本文將探討以CFD模擬過濾膜的壓力效應、層流、湍流和過渡流動等流體現象進行分析，並針對未來研究或可衍生應用進行探討。

水利工程研討會

20190926

49

X射線計量技術用於半導體薄膜厚度檢測

半導體工業中，高k金屬光柵的厚度將縮小到幾奈米，而量測面積也將被限制在幾十微米。對於處於此厚度範圍的薄膜，光學測量無法再提供足夠的解析度，X射線反射率（XRR）已被廣泛用於滿足這一需求，通常使用Parratt算法從XRR得出薄膜厚度和密度深度分佈。一般的XRR測量，Cu陽極的1.54A短波長通常是首選。典型的測量角度範圍通常在0～4 度之間。而其入射角非常小，入射光束的覆蓋區可能在cm範圍內，而半導體應用中遇到的可用面積通常為幾十微米。此外，厚度為幾奈米的樣品的特徵反射峰位於反射率光譜強度上較低的q區域，通常在10-7以下。這種低反射率加上極小的樣本面積將使XRR測量非常具有挑戰性。這項工作的目的是通過使用長波長X射線源的新型XRR儀器解決上述挑戰。我們將證明，這種新型軟X射線儀可以充分解決覆蓋區和信號強度問題，同時還可以將δq/ q的q分辨率保持在合理水平。

當前工作是選擇配備點聚焦光學器件的長波長X射線源。通過增加X射線波長，XRR的角度範圍將增加，從而導致入射光束的足跡尺寸減小。通過在XRR測量中調用較大的角度範圍，既可以增加入射光束和反射光束的發散角，又可以將分辨率δq/ q保持在理想值。大的發散角有助於增強XRR訊號。

NanoScale

20191015

50

由內部稽核談ISO/IEC 17025:2017實驗室管理系統之運作– 一般要求、架構要求與資源要求之查證重點

經過良好規劃並落實執行之內部稽核，是實驗室確保管理系統有效實施與維持，以及持續改進的重要關鍵。本文以實務觀點探討符合ISO/IEC 17025:2017要求之實驗室內部稽核，透過解析新版要求之新增與重大改變條文，列出實驗室執行品質內部稽核之運作查證重點，讓校正與測試實驗室的相關人員，對內部稽核活動與實務運作具有更清楚的概念。藉由介紹內部稽核於一般要求、架構要求，以及資源要求之查證重點，協助實驗室自我檢視並確認品質系統運作符合新版標準之要求。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20191101

51

1000 kg質量量測系統改良介紹

國家度量衡標準實驗室（National Measurement Laboratory, NML）之1000 kg質量量測系統為我國產業界之大質量量測的追溯標準，諸如法定度量衡業務、高速公路局地磅執行業務、航太相關重量檢測業務以及相關重工業產業等。NML原1000 kg質量量測系統因老舊故障暫停服務，且量測操作不易，造成安全上有極高的風險，因此於108年進行系統改良。本文即描述重新建置1000 kg質量量測系統與系統架構改良的過程，以及介紹依據OIML R111-1國際規範建立的校正與導引量測模式。本系統的改良規劃朝向量測操作動線優化及降低量測震動干擾，目的使量測過程更安全、儀器使用更穩固，減少誤差及提高量測穩定性，系統改良後之量測標準差管制上限由3.1 g降為1.9 g。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20191101

52

交流電力原級系統之電力訊號數位取樣技術研究

為完備我國電力計量標準的自我追溯管道，國家度量衡標準實驗室已著手建立電力訊號數位取樣技術，其核心內容包含電壓訊號與電流訊號的同步數位取樣技術建立、LabVIEW量測平台之各種電力量的演算法建置。從量測結果可知，交流電力原級系統採用數位取樣技術在電壓/電流諧波的量測準確度優於傳統的電力標準表；在電功率量測方面，其相對誤差則略大，約120 uW/VA與150 uvar/VA，未來全面導入各量測設備之誤差補償後，系統量測準確度應可優於電力標準表。

量測資訊

20191101

53

公斤新定義之實際實現與標準傳遞

2018年11月國際度量衡大會(General Conference on Weights and Measures；CGPM)第26屆會議上引介一種新的觀點來闡明單位的定義，包括普朗克常數、波茲曼常數和光速等自然基本常數。本文主要在於說明SI基本單位公斤(或千克)的新定義和簡述其如何在實際中實現，接著論及質量單位公斤的傳遞，最後敘述新定義前後的連續性。

量測資訊雙月刊（量測中心）

20191101

54

奈米粒子分析-奈米粒徑輔助比對

此項輔助比對量測範圍涵蓋10 nm 至 300 nm三種不同材料之奈米粒徑，包括10 nm 金粒子、20 nm銀粒子，以及30 nm、100 nm、300 nm的聚苯乙烯標準粒子。選用之奈米粒子符合不同量測方法的要求，量測方法包括原子力顯微鏡(AFM)、穿透式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、動態光散射儀(DLS) 、微分電移動度分析儀(DMA)，以及小角度X光散射儀(SAXS)。

Metrologia

20191108

55

機器學習建立電功率轉換水井抽水量的計量模式

本文探討發展智慧水管理的地下水抽用量，其時空分布的掌握是水資源調度重要的關鍵因子之一，現行多以裝設電子水表進行地下水抽用量的量測，並透過無線傳輸即時傳送資料，進而掌握區域地下水抽用量；但電子式水表的價格昂貴，不利於廣域布建。本文利用抽用地下水的電動泵浦的電功率耗用，推估水井抽水量，並以雙向調控智慧學習，成為技術最可行、低費用可廣域布建的最佳方案。

台閩計量技術研討會

20191114

56

高溫熱電偶溫度計校正技術於電子廢棄物中回收貴金屬的運用

本文主要介紹高溫熱電偶溫度計於電子廢棄物中回收貴金屬的重要性，並說明比較校正與定點校正之差異。同時，介紹金屬-碳共晶點鈷碳合金（Co-C；1324 ℃）與鈀碳合金（Pd-C；1492 ℃）校正技術的建立，將能有效控制高溫火法冶金之溫度量測不確定度在1 ℃內，改善提煉效果並減少不必要的能量損耗，達到真正永續環境之發展。

台閩計量技術研討會

20191114

57

非接觸式軌道不平順量測裝置設計

為了確保火車能安全地行走於軌道上，軌道線形是必需被周期性地量測，軌道線形包含五種參數，分別為軌距、水平不整、高低不整、超高與扭轉。傳統的量測方式為接觸式，硬體通常複雜且難以維護，本文提出非接觸方式，具簡單安裝與易維護優點，實驗規劃乃針對接觸與非接觸式兩者進行比較，接觸式感測元件為線性差動元件(LVDT)，非接觸式感測元件使用傾斜計，實驗結果顯示，非接觸式量測方式能幫助結構更輕量化外，亦有響應快及無接觸感測元件因磨擦造成訊號不穩定等優點。

International Multi-Conference on Engineering and Technology Innovation

20191116

58

結合X光反射技術與螢光技術發展薄膜量測系統

在半導體工業中，薄膜厚度、密度和組成是製程良率和可靠性的關鍵。因此，我們結合掠入射X射線螢光（GIXRF）和掠入射X射線反射率（GIXRR）開發薄膜厚度系統。在這項研究中，我們獲得了GIXRR-GIXRF數據和算法，以優化軟體解決次奈米膜厚度（0.9～2）nm的準確測量。此外，我們設計了用於GIXRF測量系統的光學器件，並分析薄膜縱深之元素分佈，以此方式，幫助我們建立一個更好的GIXRR測量模型。在這項研究中，我們通過使用TiN薄膜（厚度為2 nm）獲得XRF信號。從XRF信號，我們可以定義XRR的擬合模型以改善模擬結果。因此，結合了GIXRR技術的GIXRF成為了最精確的厚度測量系統。將來，我們將展示越來越多的結果，並且還將評估此新的技術用於線上量測工具之性能。

International Multi-Conference on Engineering and Technology Innovation

20191117

59

整合式XRF XPS表層質量分析系統建置報告

第26屆國際度量衡大會(CGPM)，發布國際單位制(International System of units, SI)基本單位重新定義，其中質量(kg)以普朗克常數(Planck constant) h=6.626 070 15*10^-34 J s 來定義，其一之實現方法為X光晶體密度法(XRCD method)，又稱為矽晶球法，該球的質量是透過計數球體內矽原子的數量來決定，並加入表層氧化層的質量加以修正。
進行表層氧化物之元素定量與分析可以透過整合式XRF XPS表層質量量測系統進行，矽晶球表層由矽氧化層，碳化汙染層與水層組成。以XRF可以量測氧的螢光強度，並與SiO2校正試片做比對，得到每單位面積之氧沉積量(ng/cm2)，又XPS光電子頻譜可分析氧，矽，碳三者之原子數比例，透過上述兩種方法之結合可以進行矽晶球表層質量的定量。
國家標準實驗室在今年完成的各系統的組裝與整合，之後將開始光路系統調整與量測，由於矽晶球表層的量測環境真空度為10^-9 mbar，因此量測完成後，將與標準法碼在真空中進行質量比較，後續須考慮吸附效應已修正真空至大氣的質量變化。

Asia Pacific Measurement Forum on Mechanical Quantities

20191117

60

CFD應用於生質沼氣厭氧消化槽設計規劃

厭氧消化常被用於化工環保領域處理農畜廢棄物等最廣泛採用的技術之一，透過厭氧消化槽內發酵產生的沼氣被歸納為可利用的再生能源。一般厭氧消化反應槽內混合的方式主要機械混合及流體混合。機械混合的攪拌方式，主要設計使用葉輪的旋轉以達到流體攪拌混合，消化槽內葉輪設計和攪拌操作效率常會影響沼氣的生產質量與成本。本文中所探討的迴流式攪拌主要還是會受限於鼓風機的進氣量，其攪拌效能雖然有限，但仍可達到翻攪的效果。國內外應用計算流體力學(Computational Fluid Dynamics, CFD)於廢水及厭氧消化系統建模方法的研究也與日俱增，因其本身的高精度技術，可用於評估工程系統效能，包含實驗室規模、中試規模或實場設置條件。

中華民國環境工程學會年會暨各專門學術研討會

20191122

61

鐘形校正器系統改良-氣體溫度控制及量測方法改善

鐘形校正器為國家度量衡標準實驗室(NML)低壓氣體流量之原級標準系統，在校正過程中，鐘罩內部氣體之密度須透過量測鐘罩內部氣體之壓力及溫度決定，本研究重點為如何精準量測鐘罩內部具有代表性之溫度。此系統經過重新設計環境溫控與增設熱交換散熱鰭片，以及使用創新之溫度量測方法後，鐘罩內部溫度因氣溫分層所造成之量測誤差全區間由原先的0.20 ℃下降至0.08 ℃，質量流率之相對擴充不確定度由0.11 ％下降至0.10 ％。

中國機械工程學會年會暨全國學術研討會

20191207