因應半導體微影技術發展之潮流，國家度量衡標準實驗室近年來啟動發展極紫外(EUV)波段之光輻射量測技術。而EUV波段之光源與感測器，無疑是發展EUV相關技術不可或缺之設備元件。
國家度量衡標準實驗室特別於110.09.16(一)舉辦2021極紫外(EUV)光源與感測應用研討會，以線上直播方式進行，邀請到國內從事EUV設備元件開發之專家學者，亮紫科技黃旆齊執行長、國立清華大學電機工程學系/電子工程研究所金雅琴 教授，介紹最新之技術發展與產業應用; 國家度量衡標準實驗室莊宜蓁研究員則由計量標準的角度，介紹EUV波段量測技術之進展。期能使EUV相關技術引發更多的關注，並促進國內產、學、研界相關技術活動之交流與合作。
