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德國聯邦物理研究院(PTB) 奈米量測專家Dr. Gaoliang Dai來訪

 

3月3日,德國聯邦物理技術研究院(Physikalisch-Technische Bundesanstalt, PTB)專家Dr. Gaoliang Dai(AG 5.23 "3D Nanometrology" 項目負責人)蒞臨本實驗室,並進行題為「Overview of AFM-based techniques for accurate and traceable surface and nanodimensional metrology」的演講。會後,Dr. Dai還參觀本實驗室的奈米計量、自動光學檢測、階高以及線軌多自由度量測技術等設備。

Dr. Dai在原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope, AFM)計量技術領域已有數十年的研究經驗。藉由演講,Dr. Dai分享利用原子力顯微鏡(AFM)進行空間分辨率量測的技術,並探討了精確且可追溯的表面形貌量測方法,以及測量材料表面粗糙度、摩擦力等奈米尺度特性的研究。本實驗室在半導體檢測與量測、工具機尺寸量測及奈米計量等領域提出了多項熱烈討論,並期待未來有更多合作的機會。

 

PTB 20250303

德國聯邦物理技術研究院專家Dr. Gaoliang Dai (圖左)參觀奈米量測實驗室