技術簡介
本技術為非接觸式溫度量測系統，於產線上進行快速且非接觸式的溫度監控量測。量測機制包含一固定點黑體模擬器以提供系統即時線上校正功能。該溫度標準參考國際溫標ITS-90，可模擬溫度點 962 °C，其解析度可達0.5 °C，量測重現性在 ±1 °C內。
黑體模擬器相較於傳統黑體爐具有體積小、低耗電、極短的熱機時間、快速且穩定，可提供各類型輻射溫度計即時校正需求及精度壽命狀態。
應用場域
有助於半導體高溫長晶良率的關鍵溫度需求、電子廢棄物回收貴金屬的效率與成本，以及航空零組件熱處理溫度的品質要求等，達到節能減碳的目的。可提供產業服務的對象/領域包括：半導體檢測、 國防科技、3D金屬列印、面板產業等領域校驗。
技術服務窗口
柯心怡 電話：03-5743740； E-mail： Shelley_ko@itri.org.tw
張貼日期: 2022年8月