| 服務之儀器 | (1) 離子真空計(Ionization Gauge) (2) 旋轉轉子黏滯式真空計(Spinning Rotor Viscosity Gauge) |
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| 校正範圍 | (1) 5×10-6 Pa to 0.008 Pa (2) 6×10-4 Pa to 1 Pa |
| 不確定度 | (1) 6.9 % to 7.4 % (相對) (2) 2.9 % (相對) |
| 校正點數說明 | 原則上，每數量級校正3點，3個數量級共校正9點 |
| 校正費用 | 15,000元／9點 (每加1點加2,000元) |
| 送校件須知 | 1. 請於送校前事先通知，以便安裝工作 2. 請於送校前先將送校之感測頭清潔乾淨 3. 控制器和感測頭須同時送校 4. 附操作手冊 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等