【D12】真圓度量測系統

服務之儀器  真圓度標準件 (圓球狀、半球狀、圓柱狀)  
校正範圍  直徑:≦ φ200 mm;失圓度:0.01 μm to 2 μm
不確定度  20 nm
校正點數說明  沿送校件中央線於 12 個不同方位各量測一次,分析計算輪廓相對於最小平方圓之偏移量
校正費用  9,300元/件 
送校件須知  1. 底座直徑須大於 30 mm 及小於 200 mm,且重量不超過 10 kg。
2. 量測面必須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象。
3. 保護蓋須完整無破損現象。
4. 送校之真圓度標準件應為送校單位之最高參考標準。

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等