| 服務之儀器 | 表面粗度標準片(Surface Roughness Standard) |
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| 校正範圍 | Ra：0.01 μm to 20 μm |
| 不確定度 |
Ra、Rq：[52 + (13R)2]1/2 nm
Rmax、Rt、Rz：[202 + (13R)2]1/2 nm
R：各項參數，以 μm 為單位
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| 校正點數說明 | 每個標準面於 (4 ~ 8) 個位置各量測二次，經統計分析後，計算其量測值 |
| 校正費用 | 6,500元／件（單一量測面) 11,000元／件（量兩個量測面） |
| 送校件須知 | 1. 平板狀其長或寬度不能大於 200 mm。 2. 量測面必須無刮痕、腐蝕或銹斑等不良現象，且應能承受以 40 g 接觸力量測時不會產生變形或刮傷。 3. 送校之表面粗度，應為送校單位之最高參考標準。 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等