| 服務之儀器 | (1) 電容式真空計(Capacitance Diaphragm Gauge) (2) 中低真空度真空計(Vacuum Gauge) |
|---|---|
| 校正範圍 | 0.1 Pa to 100 kPa |
| 不確定度 | 1.8 % (相對) |
| 校正點數說明 | 原則上，每數量級校正3點，3個數量級共校正9點 |
| 校正費用 | (1) 15,000元／9點 (每加1點加2,000元) (2) 10,800元／9點 (每加1點加1,000元) |
| 送校件須知 | 1. 請於送校前事先通知，以便安裝工作 2. 請於送校前先將送校之感測頭清潔乾淨 3. 控制器和感測頭須同時送校 4. 附操作手冊 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等