| 服務之儀器 |
(1)線距標準片 (Pitch Standard)（使用原子力顯微鏡，AFM)
(2)線距標準片 (Pitch Standard)（使用雷射繞射儀）
(3)線寬標準片 (Line Width Standard)（使用原子力顯微鏡，AFM）
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| 校正範圍 |
(1) 50 nm to 25 µm
(2) 280 nm to 10 μm
(3) 50 nm to 1000 nm
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| 不確定度 |
(1) 0.14 nm to 2.9 nm
(2) 0.008 nm to 6.4 nm (3) 3.6 nm to 20 nm
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| 校正點數說明 |
(1) 量測值為原子力顯微鏡對送校件在單一掃描影像量測 5 個不同位置所得之平均值
(2) 量測值為雷射繞儀對送校件重複量測 3 次所得之平均值
(3) 量測值為原子力顯微鏡對送校件在單一掃描影像量測 5 個不同位置所得之平均值
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| 校正費用 |
(1) 16,000 元／點
(2) 8,900 元／點 (3) 20,000 元／點
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| 送校件須知 |
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(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等