| 服務之儀器 |
(1) 雙成分參考混合氣
(2) 多成分參考混合氣 (CO + CO2 + C3H8) in N2
(3) 雙成分參考混合氣 (C2H5OH in N2、H2S in N2)
(4) VOCs in N2 (含Benzene、Toluene、Ethylbenzene、Xylenes)
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| 驗證範圍 |
(1) CO in N2：(0.001 ~ 100) mmol/mol
CO2 in N2：(0.1 ~ 160) mmol/mol
CH4 in N2：(0.1 ~ 100) mmol/mol
C3H8 in N2：(0.1 ~ 50) mmol/mol
SF6 in N2：(10 ~ 1000) μmol/mol
CF4 in N2：(100 ~ 3000) μmol/mol
NO in N2：(50 ~ 2000) μmol/mol
SO2 in N2：(50 ~ 2000) μmol/mol
O2 in N2：(1 ~ 10) μmol/mol、(1 ~ 14) mmol/mol
CH4 in Air：(1 ~ 20) mmol/mol
N2O in N2：(100 ~ 1000) µmol/mol
(2) (CO + CO2 + C3H8) in N2
CO：(5 ~ 40) mmol/mol
CO2：(50 ~ 160) mmol/mol
C3H8：(100 ~ 1600) μmol/mol
(3) C2H5OH in N2：(80 ~ 140) µmol/mol
H2S in N2：(10 ~ 100) µmol/mol
(4) VOC (含Benzene、Toluene、Ethylbenzene、Xylenes) in N2：1 µmol/mol
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| 不確定度 |
(1) CO in N2：0.1 % ~ 2.0 %
CO2 in N2：0.1 % ~ 1.5 %
CH4 in N2：0.1 % ~ 1.0 %
C3H8 in N2：0.2 % ~ 1.0 %
SF6 in N2：0.2 % ~ 1.5 %
CF4 in N2：0.1 % ~ 1.0 %
NO in N2：0.5 % ~ 2.0 %
SO2 in N2：0.5 % ~ 1.5 %
O2 in N2：(1 ~ 10) μmol/mol：1.5 % ~ 3.0 %、(1 ~ 14) mmol/mol：0.2 % ~ 1.5 %
CH4 in Air：0.1 % ~ 0.5 %
N2O in N2：0.5 % ~ 1.5 %
(2) (CO + CO2 + C3H8) in N2
CO：0.2 % ~ 0.8 %
CO2：0.1 % ~ 0.5 %
C3H8：0.5 % ~ 1.0 %
(3) C2H5OH in N2：2 % ~ 5 %
H2S in N2：1.5 % ~ 5.0 %
(4) VOC in N2 (含Benzene、Toluene、Ethylbenzene、Xylenes)：5 % ~ 10 %
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| 驗證點數說明 |
1. 利用本系統配製之驗證參考混合氣，進行待測鋼瓶氣體濃度驗證。
2. 以質量法高壓混合氣體供應及驗證設備，進行驗證參考混合氣供應服務。
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| 驗證費用 |
(1) 雙成分參考混合氣
參考混合氣驗證：11,000 元（以每1成分收費）
參考混合氣供應及驗證：55,000 元（以每1成分收費）
(2) 多成分參考混合氣供應及驗證：70,000元
(3) 雙成分參考混合氣供應及驗證：70,000元（以每1成分收費）
(4) VOC供應及驗證：100,000元
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| 送校件須知 | 1.送驗鋼瓶必須完整無損，並請註明氣體成份及前次分析濃度。2.由客戶自備之空鋼瓶，須由系統人員確認空鋼瓶可符合配製品質要求後方能適用。3.請先填寫預約單，預約混合氣供應或驗證成分及濃度。 |
(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等