【F12】低壓氣體流量校正系統 (壓力容積溫度時間校正器)

(1) PVTt法：音速噴嘴、層流式流量計、差壓式流量計

(2) 標準流量計法：音速噴嘴、熱質式流量計、層流式流量計、差壓式流量計、

   可變面積式流量計、正位式流量計

(1) 0.10 %

(2) 體積流率：0.12 % to 0.13 %

     質量流率：0.11 % to 0.13 %

(1) 基本費︰19,900元／件，實際校正費用依下列流率範圍增加
當100 cm³/min ≦ 流率 ≦ 300 L/min，每加一點加2,000元
當50 cm³/min ≦ 流率 < 100 cm³/min，每加一點加3,500元
當10 cm³/min ≦ 流率 < 50 cm³/min，每加一點加5,500元
註：空氣以外之氣體另加計費用16,800元。

(2) 基本費︰9,300元／件，實際校正費用依下列流率範圍增加

當100 cm³/min ≦ 流率 ≦ 300 L/min，每加一點加1,000元

當50 cm³/min ≦ 流率 < 100 cm³/min，每加一點加1,500元

當10 cm³/min ≦ 流率 < 50 cm³/min，每加一點加2,000元

註：空氣以外之氣體另加計費用10,800元。