【N10】奈米壓痕量測系統

服務之儀器  塊材(Bulk Material)、薄膜(Thin Film Specimen) 
校正範圍  位移:50 nm to 300 nm;力量:0.5 mN to 10 mN
不確定度 
壓痕硬度:2.7 % (相對)
減縮模數:3.1 % (相對)
校正點數說明  依上述施力範圍內,給一固定施力,重複測試5次 
校正費用  3,800元/件(5點)(每加1點加700元) 
送校件須知  1. 送件樣本表面須平整,無污損
2. 樣本夾持時可能會污染樣本背面,如有特別需求請另行告知
3. 送件樣本尺寸建議小於15 mm x 15 mm  

(圖說) 本實驗室提供校正/驗證系統之服務規格說明及送校件須知等