本文係電容量測系統於100 kHz ~ 1 MHz頻率範圍之電容標準不確定度評估，適用的電容標準器是四端點對標準電容器，電容標稱值範圍為1 pF ~ 1000 pF。

100 kHz以上至1 MHz之電容標準追溯，是以網路分析儀量測，並由電容器之等效電路，計算出四端點對標準電容器於高頻時，相對於100 kHz之電容值頻率特性。再由已追溯之100 kHz電容標準值，計算出四端點對標準電容器之高頻電容標準值。

待校件的校正則是以比較法量測四端點對標準電容器與待校件之差值，再由標準電容器之標準值計算待校件之校正值。

本系統當待校件為電容器及LCR表時，相對擴充不確定度如下：